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本发明公开了一种冗余压力传感器,包括弹性元件和引压元件,弹性元件的背面设有压力腔,压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片;压力腔正对的弹性元件的正面制备有多个相互独立的应变电桥;弹性元件的背面周侧与引压元件密封连接,引压元件上设置有与压力腔...该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种冗余压力传感器,包括弹性元件和引压元件,弹性元件的背面设有压力腔,压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片;压力腔正对的弹性元件的正面制备有多个相互独立的应变电桥;弹性元件的背面周侧与引压元件密封连接,引压元件上设置有与压力腔...