用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法制造方法及图纸

为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，保证较高的装调精度，本发明专利技术提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组；光学平台置于激光器上方；转台位于光学平台上方；第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上，中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架，第一五棱镜调节架固定设置在转台上；装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架，第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上；参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架，第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。

Light Source Device for Vertical Assembly and Adjustment System of X-ray Focusing Mirror and Its Construction Method

In order to meet the requirement of light source in the vertical alignment system of focusing mirror and ensure high alignment accuracy, the present invention provides a light source device for the vertical alignment system of X-ray focusing mirror and its construction method. The device includes a laser, a laser adjuster, an optical platform, a turntable, a first displacement adjuster, a second displacement adjuster, a central pentaprism group, a set of adjustable pentaprisms and a reference pentaprism group; an optical platform is above the laser; a turntable is above the optical platform; a first displacement adjuster and a second displacement adjuster are fixed on the turntable, and a central pentaprism group includes a center. Five prisms and the first five prisms adjusting frame are fixed on the turntable; the first five prisms adjusting frame includes five prisms and the second five prisms adjusting frame, the second five prisms adjusting frame is set on the first displacement adjusting frame; the reference five prisms group includes the reference five prisms and the third five prisms adjusting frame is set on the second displacement adjusting frame.

【技术实现步骤摘要】
用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法
本专利技术涉及X射线光学领域，具体涉及一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法。
技术介绍
X射线聚焦镜是一种基于X射线掠入射原理，采用多层嵌套式结构对X射线光子进行聚焦并探测的一种光学器件，其超薄、超光滑镜片的精密装调一直是X射线聚焦镜制造领域的瓶颈。X射线垂直装调系统因能有效减少这种超薄、超光滑镜片在装调过程中变形，减少聚焦镜角分辨率与有效面积损失而受到重视。近年，从X射线聚焦镜总体发展趋势来看，大口径、多层数已经成为X射线聚焦镜下一阶段的主要发展方向，随之而来的难题是光源问题，在垂直装调系统中，口径的聚焦镜则需要的平行光源，但因平行光管只能水平放置，所以需要用大口径的平面反射镜将水平平行光转换成垂直平行光。但是，因制造成本高、制造周期长等特点，大口径平行光管与大口径平面反射镜已成为聚焦镜垂直装调系统最大的限制因素之一。
技术实现思路
为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，并保证较高的装调精度，本专利技术提出了一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置及其搭建方法。本专利技术的技术方案是：一种用于X射线聚焦镜垂直装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器调节架(2)、光学平台(3)、转台(4)、第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)、中心五棱镜组(6)、装调五棱镜组(7)和参考五棱镜组(8)；所述激光器(1)固定于激光器调节架(2)上，其出射光垂直向上；所述光学平台(3)置于激光器(1)上方，且光学平台(3)上设有中间开孔；所述转台(4)位于光学平台(3)上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)均固定设置在转台(4)上；所述中心五棱镜组(6)包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架(65)，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架(65...

【技术特征摘要】
1.一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器调节架(2)、光学平台(3)、转台(4)、第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)、中心五棱镜组(6)、装调五棱镜组(7)和参考五棱镜组(8)；所述激光器(1)固定于激光器调节架(2)上，其出射光垂直向上；所述光学平台(3)置于激光器(1)上方，且光学平台(3)上设有中间开孔；所述转台(4)位于光学平台(3)上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)均固定设置在转台(4)上；所述中心五棱镜组(6)包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架(65)，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架(65)上，所述第一五棱镜调节架(65)固定设置在转台(4)上；所述装调五棱镜组(7)包括装调五棱镜(71)和第二五棱镜调节架(72)，所述装调五棱镜(71)设置在第二五棱镜调节架(72)上，所述第二五棱镜调节架(72)设置在第一位移调节架(5)上；所述参考五棱镜组(8)包括参考五棱镜(81)和第三五棱镜调节架(82)，所述参考五棱镜(81)设置在第三五棱镜调节架(82)上，所述第三五棱镜调节架(82)设置在第二位移调节架(10)上；所述激光器(1)的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜(71)转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜(81)转换为垂直光。2.根据权利要求1所述的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：所述中心五棱镜包括由上至下依次设置的第一补偿镜(63)、第一五棱镜(64)、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：强鹏飞，盛立志，闫永清，李林森，刘哲，周晓红，刘永安，赵宝升，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61