The invention discloses an aluminium evaporation process for the output screen of an intensifier, which includes vacuum aluminium evaporation process and roasting removal of organic film process. The vacuum aluminium evaporation process is carried out in two steps. The first step of vacuum aluminium evaporation is before roasting removal of organic film process, and the second step of vacuum aluminium evaporation is after roasting removal of organic film process. The size B of the output screen of the intensifier is set quantitatively, and the evaporated aluminium material evaporates completely, and the thickness of the final aluminium layer is 0.2-0.4 um. The number of heaters N used in the vacuum evaporation process and its position relationship with the output screen of the intensifier are set according to the size B of the output screen of the intensifier. The difference between the thickness of the central position and the corner position of the final aluminium layer is not more than 0.02 um. The process of the invention is simple and reasonable, improves the luminous efficiency and brightness uniformity of the output screen of the intensifier, prolongs the service life of the heater coil, and saves the production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种增强器输出屏用蒸铝工艺
本专利技术涉及增强器输出屏的制备领域,尤其涉及一种增强器输出屏用蒸铝工艺。
技术介绍
计算机X射线摄影(CR)技术由于具有低成本、操作方便和良好的兼容性等优点,在医学诊断和疾病治疗中有着广泛的应用前景。影像增强器作为X射线摄影系统中必不可少的组件,是由光电转换屏、光电阴极组件、电子光学聚焦系统和增强器输出屏组成,物体的X射线影像通过转换屏转变成可见光图像,再通过光电阴极转变成电子图像,经电子光学系统成像并加速到增强器输出屏上,形成可见的图像。在增强器输出屏的制造过程中,为了提高屏幕亮度、对比度和延长荧光粉的使用寿命,增强器输出屏的基片经涂敷荧光粉和有机膜后,需在有机膜上蒸镀铝层,之后高温焙烧掉有机膜,要求形成是铝层表面光洁度好,一般采用真空蒸发法制备铝层,即在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质铝,使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片的有机膜层上沉积形成固态薄膜的方法。目前,由于现有的蒸铝工艺存在以下问题:(1)所蒸镀铝层不够致密,存在鼓包或针孔,导致铝化后增强器输出屏的发光效率和分辨率下降。主要是因为现有技术中,在铝层蒸镀完成后焙烧 ...
【技术保护点】
1.一种增强器输出屏用蒸铝工艺,包括在涂敷好荧光粉层和有机膜层后的增强器输出屏基片上,进行真空蒸镀铝层工序和焙烧去除有机膜工序,其特征在于,所述真空蒸镀铝层工序分两步进行,分别为真空蒸铝第一步和真空蒸铝第二步,所述真空蒸铝第一步在所述焙烧去除有机膜工序之前,铝层直接蒸镀到所述有机膜层上,所述真空蒸铝第二步在所述焙烧去除有机膜工序之后;所述真空蒸镀铝层工序所用蒸镀铝料的重量M根据所述增强器输出屏的尺寸B及个数n定量设置,所述蒸镀铝料完全蒸发,最终蒸镀铝层厚度为0.2~0.4μm;所述真空蒸镀铝层工序所用的加热子数量N以及所述加热子与放置所述增强器输出屏的蒸铝支架的位置关系,根 ...
【技术特征摘要】
1.一种增强器输出屏用蒸铝工艺,包括在涂敷好荧光粉层和有机膜层后的增强器输出屏基片上,进行真空蒸镀铝层工序和焙烧去除有机膜工序,其特征在于,所述真空蒸镀铝层工序分两步进行,分别为真空蒸铝第一步和真空蒸铝第二步,所述真空蒸铝第一步在所述焙烧去除有机膜工序之前,铝层直接蒸镀到所述有机膜层上,所述真空蒸铝第二步在所述焙烧去除有机膜工序之后;所述真空蒸镀铝层工序所用蒸镀铝料的重量M根据所述增强器输出屏的尺寸B及个数n定量设置,所述蒸镀铝料完全蒸发,最终蒸镀铝层厚度为0.2~0.4μm;所述真空蒸镀铝层工序所用的加热子数量N以及所述加热子与放置所述增强器输出屏的蒸铝支架的位置关系,根据所述增强器输出屏的尺寸B和增个数n设置,最终蒸镀铝层的中心位置与边角位置的厚度差不大于0.02μm。2.如权利要求1所述的一种增强器输出屏用蒸铝工艺,其特征在于:所述M与B、n满足M=[(11.4~12.9)×B]×n,其中M单位为mg,B单位为英寸。3.如权利要求2所述的一种增强器输出屏用蒸铝工艺,其特征在于:所述真空蒸铝第一步所用的蒸镀铝料重量m1与所述真空蒸铝第二步所用的蒸镀铝料重量m2相同,均为M/2。4.如权利要求3所述的一种增强器输出屏用蒸铝工艺,其特征在于:所述真空蒸铝第一步所用蒸镀铝料为黑铝铝棒。5.如权利要求4所述的一种增强器输出屏用蒸铝工艺,其特征在于:所述真空蒸铝第一步与所述真空蒸铝第二步所用的蒸镀铝料均为两根长方体铝棒,所述铝棒的厚度为0.5mm,宽度为3.0mm,且所述铝棒的纯度不低于99.9%。6.如权利要求5所述的一种增强器输出屏用蒸铝工艺,其特征在于:所述真空蒸镀铝层工序是在真空蒸铝设备中进行,所述真空蒸铝设备包括蒸发室、真空排气系统、电源加热系统和铝膜测厚仪,所述蒸铝工艺的具体步骤包括:S01、真空蒸铝第一步S01-1、根据所述增强器输出屏的尺寸选用合适的真空蒸铝第一步的蒸镀铝料;S01-2、将真空蒸铝第一步所用的蒸镀铝料放置在所述加热子上;S01-3、将涂敷好荧光粉层和有机膜层的增强器输出屏基片放置于蒸铝支架上,并装在所述蒸发室中,所述有机膜层正对所述加热子,调整所述加热子的位置;S01-4、开启所述真空排气系统的低真空阀,对所述蒸发室预抽真空;S01-5、当所述蒸发室内的真空度达到10-2Pa数量级时,关闭所述低真空阀,开启所述真空排气系统的高真空阀,对所述蒸发室高真空抽气;S01-6、当所述蒸发室内的真空度达到10-5Pa数量级时,所述电源加热系统的控制触点自行闭合通电;S01-7、通过对所述电源加热系统的调节,分阶段控制通入所述加热子的电流大小和时间,使得所述真空蒸铝第一步...
【专利技术属性】
技术研发人员:袁博,
申请(专利权)人:潍坊华鼎电子技术有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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