P型PERC电池结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种P型PERC电池结构，包括硅片层(1)以及依次设于硅片层(1)正面的氧化硅层(2)、氮化硅层(3)和正电极(4)，其特征在于所述硅片层(1)的背面依次设有背氧化铝层(5)、第一背氧化硅层(6)、背氮化硅层(7)、第二背氧化硅层(8)和背电极(9)；通孔(10)贯穿第二背氧化硅层(8)、背氮化硅层(7)、第一背氧化硅层(6)和背氧化铝层(5)并延伸至硅片层(1)中；通孔(10)中填充背电极(9)。第一背氧化硅层SiOx、背氮化硅层SiNx和第二背氧化硅层SiOx组成ONO叠层膜，ONO的氮化硅层居SiNx中可阻挡缺陷延展，三层膜互补，降低背表面复合速率。

Structure of P-type PERC battery

The utility model discloses a P-type PERC battery structure, which comprises a silicon wafer layer (1), a silicon oxide layer (2), a silicon nitride layer (3) and a positive electrode (4) arranged on the front side of the silicon wafer layer (1), and is characterized in that the back side of the silicon wafer layer (1) is successively provided with a back alumina layer (5), a first back silicon oxide layer (6), a back silicon nitride layer (7), a second back silicon oxide layer (8) and a back electrode (9). The back silicon oxide layer (8), the back silicon nitride layer (7), the first back silicon oxide layer (6) and the back alumina layer (5) extend to the silicon wafer layer (1), and the back electrode (9) is filled in the through hole (10). The first SiOx layer, the back SiNx layer and the second SiOx layer make up the ONO laminated film. The silicon nitride layer of ONO inhibits the defect extension in SiNx, and the three layers complement each other to reduce the back surface recombination rate.

【技术实现步骤摘要】
P型PERC电池结构
本技术主要涉及太阳能电池行业，主要是P型PERC电池。
技术介绍
P型PERC工艺越加成熟，传统工艺路线为制绒、P扩散、刻蚀、退火、PECVD背氧化铝、背氮化硅镀膜、PECVD正氮化硅镀膜、激光、二次印刷、烧结成型，传统PERC电池的膜层结构如图1所示，量产效率可达到21.5％，市场需求更加高效电池。
技术实现思路
本技术为提供一种高效电池以满足市场需求，提出了一种改进的P型PERC电池结构。技术方案：一种P型PERC电池结构，包括硅片层以及依次设于硅片层正面的氧化硅层、氮化硅层和正电极，所述硅片层的背面依次设有背氧化铝层、第一背氧化硅层、背氮化硅层、第二背氧化硅层和背电极；通孔贯穿第二背氧化硅层、背氮化硅层、第一背氧化硅层和背氧化铝层并延伸至硅片层中；通孔中填充背电极。具体的，所述背氧化铝层的厚度为6nm。具体的，所述第一背氧化硅层的厚度为10nm。具体的，所述背氮化硅层的厚度为40nm。具体的，所述第二背氧化硅层的厚度为20nm。具体的，所述通孔的直径为28um。所述第二背氧化硅层是经过H钝化后的SiOx膜。本技术的有益效果第一背氧化硅层SiOx、背氮化硅层SiNx本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种P型PERC电池结构，包括硅片层(1)以及依次设于硅片层(1)正面的氧化硅层(2)、氮化硅层(3)和正电极(4)，其特征在于所述硅片层(1)的背面依次设有背氧化铝层(5)、第一背氧化硅层(6)、背氮化硅层(7)、第二背氧化硅层(8)和背电极(9)；通孔(10)贯穿第二背氧化硅层(8)、背氮化硅层(7)、第一背氧化硅层(6)和背氧化铝层(5)并延伸至硅片层(1)中；通孔(10)中填充背电极(9)。

【技术特征摘要】
1.一种P型PERC电池结构，包括硅片层(1)以及依次设于硅片层(1)正面的氧化硅层(2)、氮化硅层(3)和正电极(4)，其特征在于所述硅片层(1)的背面依次设有背氧化铝层(5)、第一背氧化硅层(6)、背氮化硅层(7)、第二背氧化硅层(8)和背电极(9)；通孔(10)贯穿第二背氧化硅层(8)、背氮化硅层(7)、第一背氧化硅层(6)和背氧化铝层(5)并延伸至硅片层(1)中；通孔(10)中填充背电极(9)。2.根据权利要求1所述的P型PERC电池结构，其特征在于所述背氧化铝层(5)的厚度为6...

【专利技术属性】
技术研发人员：王圣，徐硕贤，金佳源，宋剑，董超，袁占强，陈景，张双玉，
申请(专利权)人：江苏林洋光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32