激光晶化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种激光晶化装置，根据本发明专利技术的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的多束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，将入射的光分割及混合；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括至少一个四分之一波长板。

Laser Crystallization Device

The present invention relates to a laser crystallization device according to an embodiment of the present invention, which includes: a light source unit that generates multiple input beams in the form of a laser beam; an optical system that converts the input light received from the light source unit into at least one output beam; and a mesa that is mounted with an object substrate and irradiated with the output light. The combined part divides and mixes the incident light; the first polarizing modulation part is arranged between the light source part and the mixing part on the light path; the processing part is arranged behind the mixing part on the light path and forms the output light; and the second polarizing modulation part is arranged between the processing part and the mixing part on the light path, and comprises the following parts: At least one quarter wavelength plate.

【技术实现步骤摘要】
激光晶化装置
本专利技术涉及一种激光晶化装置，尤其涉及一种提高了激光束的稳定性的激光晶化装置。
技术介绍
通常，显示装置等电气电子元件通过薄膜晶体管来被驱动。为了将具有高的移动度等优点的晶体硅用作薄膜晶体管的活性层，需要进行一种将非晶质多晶薄膜，例如，非晶硅薄膜晶化的过程。为了将非晶硅薄膜晶化为晶体硅薄膜，需要以预定的能量照射激光。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种提高激光束的稳定性的激光晶化装置。根据本专利技术的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光晶化装置，其中，包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被所述输出光照射，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分延迟λ/4的至少一个四...

【技术特征摘要】
2017.10.17 KR 10-2017-01347991.一种激光晶化装置，其中，包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被所述输出光照射，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板。2.如权利要求1所述的激光晶化装置，其中，所述第一偏光调制部将入射的线偏振光状态的光转换为圆偏振光状态，所述第二偏光调制部将入射的圆偏振光状态的光转换为线偏振光状态。3.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，所述输入光是固体激光。4.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，所述光学系统还包括：第三偏光调制部，在所述光路径上布置于所述第二偏光调制部及所述加工部之间，并改变从...

【专利技术属性】
技术研发人员：三宫晓史，吴元熙，李京在，崔银善，韩圭完，柳济吉，曹永根，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR