激光晶化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种激光晶化装置，根据本发明专利技术的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的多束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，将入射的光分割及混合；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括至少一个四分之一波长板。

Laser Crystallization Device

The present invention relates to a laser crystallization device according to an embodiment of the present invention, which includes: a light source unit that generates multiple input beams in the form of a laser beam; an optical system that converts the input light received from the light source unit into at least one output beam; and a mesa that is mounted with an object substrate and irradiated with the output light. The combined part divides and mixes the incident light; the first polarizing modulation part is arranged between the light source part and the mixing part on the light path; the processing part is arranged behind the mixing part on the light path and forms the output light; and the second polarizing modulation part is arranged between the processing part and the mixing part on the light path, and comprises the following parts: At least one quarter wavelength plate.

【技术实现步骤摘要】
激光晶化装置
本专利技术涉及一种激光晶化装置，尤其涉及一种提高了激光束的稳定性的激光晶化装置。
技术介绍
通常，显示装置等电气电子元件通过薄膜晶体管来被驱动。为了将具有高的移动度等优点的晶体硅用作薄膜晶体管的活性层，需要进行一种将非晶质多晶薄膜，例如，非晶硅薄膜晶化的过程。为了将非晶硅薄膜晶化为晶体硅薄膜，需要以预定的能量照射激光。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种提高激光束的稳定性的激光晶化装置。根据本专利技术的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板。所述第一偏光调制部将入射的线偏振光状态的光转换为圆偏振光状态，所述第二偏光调制部将入射的圆偏振光状态的光转换为线偏振光状态。所述输入光是固体激光。所述光学系统还包括：第三偏光调制部，在所述光路径上布置于所述第二偏光调制部及所述加工部之间，并改变从所述第二偏光调制部提供的光的偏光方向。所述第三偏光调制部包括至少一个半波长板。所述第三偏光调制部还包括：半波长驱动器，接收电信号而控制所述半波长板的光轴。所述光学系统还包括：第四偏光调制部，在所述光路径上布置于所述第一偏光调制部及所述光源部之间，并将从所述光源部提供的所述输入光转换为线偏振光状态。所述输入光是准分子激光。所述第四偏光调制部包括至少一个直线偏光器。定义为被所述第一偏光调制部转换为圆偏振光状态的光的先调制光入射到所述混合部，所述混合部包括：第一镜子，改变所述先调制光的方向；第一分束器，反射所述先调制光的一部分反射，并使其余的一部分投脱，从而将所述先调制光分割为多束混合光；以及第二镜子，改变由所述第一分束器分割的混合光中的至少一部分的方向。所述加工部将入射的多束光合成而形成所述至少一束输出光。所述加工部分别具有由多个透镜排列而成的板形状，并且包括：至少一个匀化器(Homogenizer)，用于使入射的光匀化；以及至少一个圆柱透镜(Cylindricallens)，调节通过所述匀化器的光的大小和焦点，从而形成线形态的光。所述光源部产生第一输入光至第n输入光，并且第一先调制光至第n先调制光入射到所述混合部，其中，所述第一先调制光至第n先调制光由所述第一输入光至所述第n输入光借助所述第一偏光调制部而分别转换为圆偏振光状态的光来定义，并且，所述混合部包括：多个分束器，将所述第一先调制光至所述第n先调制光分别分割成n束；以及多个镜子，改变所述第一先调制光至所述第n先调制光的方向，由调制光分割成n束的光与由除了所述一束调制光以外的n-1束调制光分别分割成n束的光以一对一地对应的方式混合，其中n为大于1的自然数。由从所述混合部射出的光定义的第一混合光至第n混合光相对于第一先调制光至第n先调制光具有相同的混合比。所述第一偏光调制部的所述多个四分之一波长板中的至少两个四分之一波长板的光轴彼此不平行。所述第二偏光调制部的所述多个四分之一波长板中的至少两个四分之一波长板的光轴彼此并不平行。所述多束输入光在彼此不同的时间进行震荡。激光晶化装置还包括在所述光路径上布置于所述加工部和所述台面之间的时间延迟部，并且所述时间延迟部包括：延迟分束器，使在所述加工部合成的光的一部分透过，并使其余的一部分反射；以及多个延迟镜子，增加在所述加工部合成的光中的被所述时间延迟分束器反射的光的光路径，输出光的半宽由于所述时间延迟部而增加。所述分束器使入射的光中的50％透过，并使其余的50％反射。根据本专利技术的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生线偏振光形态的多束激光束；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部的后方，并使从所述光源部接收的所述激光束转换为圆偏振光；混合部，在所述光路径上布置于所述第一偏光调制部的后方，并将转换为所述圆偏振光的所述激光束分割及混合；第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并使从所述混合部提供的所述激光束转换为线偏振光；加工部，在所述光路径上布置于所述第二偏光调制部的后方，将转换为所述线偏振光的所述激光束聚焦并混合，从而生成输出光；以及台面，在所述光路径上布置于所述加工部的后方，并且被照射所述输出光。根据本专利技术的实施例，能够提高激光束的稳定性。即，根据本专利技术的实施例的激光晶化装置可以输出提高了能量密度(EnergyDensity：ED)的均匀度的激光束。附图说明图1是根据本专利技术的实施例的激光晶化装置的示意性的模式图。图2是图示于图1的光学系统的示意性的模式图。图3是图示于图2的混合部的放大图。图4是图示于图2的加工部的放大图。图5是根据本专利技术的另一实施例的激光晶化装置的示意性的模式图。图6是根据本专利技术的另一实施例的激光晶化装置的示意性的模式图。图7是图示于图6的混合部的放大图。图8是根据本专利技术的另一实施例的激光晶化装置的示意性的模式图。图9是根据本专利技术的另一实施例的激光晶化装置的示意性的模式图。图10是图示于图9的时间延迟部的放大图。符号说明1000：激光晶化装置10：对象基板100：光源部200：光学系统300：台面210：第一偏光调制部220：混合部230：第二偏光调制部240：加工部250：第三偏光调制部260：第四偏光调制部270：时间延迟部具体实施方式参照附图以及下文中详细描述的实施例，可以更加明确本专利技术的优点、特征以及用于实现该优点及特征的方法。然而本专利技术并不局限于以下公开的实施例，其应当体现为彼此不同的多样的形态，提供该实施例的目的仅仅在于使本专利技术的公开更完整，并且使在本专利技术所属
中具有普通知识水平的技术人员完整地了解本专利技术的范围，而本专利技术应当通过权利要求书的范围来定义。在整个说明书中，相同的附图标号表示相同的构成要素。当元件(elements)或者层被描述为在另一个元件或者层“上(on)”或者“之上(on)”时，其不仅表示位于与另一元件或层紧邻的上部的情形，还包括中间夹设有其他层或元件的情形。相反，当元件被描述为在“直接上方(directlyon)”或者“紧邻的上方”时，其表示中间没有夹设其他元件或层的情形。“和/或”表示所提到的物项中的每一个或者一个以上的所有的组合。“下(below)”、“下方(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等空间上的相对术语可为了易于描述如图中示出的一个元件或构成要素与另一元件或构成要素之间的相关关系而使用。应当理解的是，除了附图中描绘的方向之外，空间上的相对的术语还包含元件在使用中或在操作中的不同方位。在整个说明书中，相同的附图标号表示相同的构成要素。尽管为了描述各种元件、构成要素和/或组件而使用第一、第二等术语，但显然这些元件、构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光晶化装置，其中，包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被所述输出光照射，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板。

【技术特征摘要】
2017.10.17 KR 10-2017-01347991.一种激光晶化装置，其中，包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被所述输出光照射，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板。2.如权利要求1所述的激光晶化装置，其中，所述第一偏光调制部将入射的线偏振光状态的光转换为圆偏振光状态，所述第二偏光调制部将入射的圆偏振光状态的光转换为线偏振光状态。3.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，所述输入光是固体激光。4.如权利要求2所述的激光晶化装置，其中，所述光学系统还包括：第三偏光调制部，在所述光路径上布置于所述第二偏光调制部及所述加工部之间，并改变从...

【专利技术属性】
技术研发人员：三宫晓史，吴元熙，李京在，崔银善，韩圭完，柳济吉，曹永根，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR