一种提高激光图案化加工均匀性的方法技术

本发明专利技术涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法，属于激光应用技术领域。本发明专利技术通过采用隔行拆分的方法，将待加工图案拆解成一系列的子图案，依据傅里叶迭代算法计算每张子图案的相位图，而后通过将相位图依次载入空间光调制器获得整形光场，利用整形光场在材料上加工出各个整形光场所对应的子图案，这些子图案最终组合成完整的加工图案。以此解决采用单张相位图进行激光空间光场整形加工时，由于光场的斑点噪声所带来的能量沉积不均的问题，从而达到提高激光图案化加工均匀性的目的。该方法原理简单，显著提高了加工结果的均匀性，具有很强的实用性，通过隔行拆分待加工图案来提高能量沉积均匀性的方法能够在基于空间光调制器的激光空间光场整形图案化加工中起到重要作用。

【技术实现步骤摘要】
一种提高激光图案化加工均匀性的方法
本专利技术涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法，属于激光应用
技术背景相位型液晶空间光调制器作为一种光场整形元件被广泛运用于激光图案化加工中。利用相位型液晶空间光调制器对激光光束进行整形的前提是通过迭代算法计算整形光场的全息相位图。但是由于在计算生成的相位图中，邻近像素点间的相位往往不连续，使得实际整形光场的邻近光点间由于相位不同而发生无规则干涉。在发生干涉相消处，整形光场将出现暗点(光强较弱的点)，形成斑点噪声。斑点噪声的存在降低了整形光场的光强均匀性和完整性，进而影响加工材料上的激光能量沉积，使得整形激光加工的图案内部存在许多材料残留，严重制约了整形激光在复杂微细图案加工中的应用。目前减少斑点噪声的方法主要是采取基于同一目标整形光场，通过设定不同的初始相位多次计算(AmakoJ,MiuraH,SoneharaT.Speckle-noisereductiononkinoformreconstructionusingaphase-onlyspatiallightmodulator[J].AppliedOptics,1995,34(17本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高激光图案化加工均匀性的方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、根据加工精度的需求或者图案的复杂程度，将目标整形光场，即待加工图案，像素化成矩阵A

【技术特征摘要】
1.一种提高激光图案化加工均匀性的方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、根据加工精度的需求或者图案的复杂程度，将目标整形光场，即待加工图案，像素化成矩阵A0，所述矩阵A0由M×M个元素构成，A0中的元素由表示；其中光强为零的点对应的矩阵元素取值为0；然后根据加工均匀度的需求选取间隔数N，对目标整形光场采用隔行取值拆分的方式，将目标整形光场拆分成N2个子光场Ap,q(p＝1,2…N；q＝1,2…N)，每个子光场矩阵Ap,q同样由M×M个元素构成，子光场Ap,q中的元素取值为:其中，p,q为子光场矩阵Ap,q中第一个取值来自目标光场矩阵的元素所对应的行、列序号；k、l为整数，r、s分别为k、l的最大值，满足p+N×r≤M、q+N×s≤M；子光场Ap,...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜澜，李晓炜，王志鹏，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京,11