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一种提高激光图案化加工均匀性的方法技术
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文档序号:20806765
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本发明涉及一种提高激光图案化加工均匀性的方法,属于激光应用技术领域。本发明通过采用隔行拆分的方法,将待加工图案拆解成一系列的子图案,依据傅里叶迭代算法计算每张子图案的相位图,而后通过将相位图依次载入空间光调制器获得整形光场,利用整形光场在材...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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