一种双光路调试合束方法技术

本发明专利技术涉及一种双光路调试合束方法，解决现有激光合束方式无法实现两路光线精准合束的问题。该方法包括以下步骤：1)调节光路一；1.1)调节光路一光斑居中；1.2)粗调光路一水平度及垂直度；1.3)精调光路一水平度及垂直度；2)调节光路二；2.1)调节光路二光斑居中；2.2)粗调光路二水平度及垂直度；2.3)精调光路二水平度及垂直度；3)合束及检测；3.1)将光路一和光路二合束；3.2)合束检测。

A Method and System of Double Optical Path Debugging and Combining

The invention relates to a method and system for adjusting and combining two light paths, which solves the problem that the existing laser beam combining method can not achieve precise combining of two light paths. The method includes the following steps: 1) adjusting the optical path 1; 1.1) adjusting the optical path 1 spot to center; 1.2) adjusting the horizontal and vertical degree of the coarse dimming path; 1.3) adjusting the horizontal and vertical degree of the fine dimming path; 2) adjusting the optical path 2; 2.1) adjusting the optical path 2 spot to center; 2.2) adjusting the horizontal and vertical degree of the coarse dimming path 2.3) adjusting the horizontal and vertical degree of the fine dimming path 2.3) combining and detecting the optical path 1) combining the optical path 1. Optical two-bundle; 3.2) bundle detection.

【技术实现步骤摘要】
一种双光路调试合束方法及系统
本专利技术涉及激光加工领域，具体涉及一种双光路调试合束方法及系统。
技术介绍
激光精细加工由于具有超精细、环保绿色、可实现柔性加工等优势，在国内外已经成为主流加工方式之一。而中国作为世界第一的制造业大国，目前处于制造产业结构优化升级的关键时期，激光加工技术取代传统制造加工方式成为发展的必然趋势。目前，激光精细加工、激光表面制造、激光打孔、激光切割等技术正以每年30％的增速占领市场，因此研究激光精细加工过程中的各项调试技术尤为必要。激光光路调试精度代表激光加工精度，因此激光光路调试是装备调试的关键技术之一。双光路合束技术可以广泛应用于所有需要双光路加工的激光精细制造中，由于制造的材料、技术指标各有不同，该技术可保证一套装备可以同时满足不同制造材料、技术指标各异的加工。目前激光加工中，存在很多双光路设计，类似纳秒激光光路与飞秒激光光路合束、皮秒激光光路与飞秒激光光路合束等情况。其中，双光路合束的精度代表两个切换刀头位置的偏移，在需要切换两路光才能实现加工的状况下，刀头的切换精度直接影响激光构件的加工精度。在激光设备需要双光路布局时，理论设计中两者可以精准合束本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双光路调试合束方法，其特征在于，包括以下步骤：1)调节光路一；1.1)调节光路一光斑居中，使光斑在光路中的任一光学元件表面均是从其中心入射及出射；1.2)粗调光路一水平度及垂直度，调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路一的水平度、垂直度的调节；1.3)精调光路一水平度及垂直度，采用高精度观察仪器观察，调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路一的水平度、垂直度的调节；2)调节光路二；2.1)调节光路二光斑居中，使光斑在光路中的任一光学元件表面均是从其中心入射及出射；2.2)粗调光路二水平度及垂直度，调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路...

【技术特征摘要】
1.一种双光路调试合束方法，其特征在于，包括以下步骤：1)调节光路一；1.1)调节光路一光斑居中，使光斑在光路中的任一光学元件表面均是从其中心入射及出射；1.2)粗调光路一水平度及垂直度，调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路一的水平度、垂直度的调节；1.3)精调光路一水平度及垂直度，采用高精度观察仪器观察，调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路一的水平度、垂直度的调节；2)调节光路二；2.1)调节光路二光斑居中，使光斑在光路中的任一光学元件表面均是从其中心入射及出射；2.2)粗调光路二水平度及垂直度，调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路二的水平度、垂直度的调节；2.3)精调光路二水平度及垂直度，采用高精度观察仪器观察，通过调整光路中其中之几或全部元器件的三维空间姿态，实现对光路二的水平度、垂直度的调节；3)合束及检测；3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李珣，李明，刘红军，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61