下载激光晶化装置的技术资料

文档序号:20967579

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本发明涉及一种激光晶化装置,根据本发明的实施例的激光晶化装置包括:光源部,产生激光束形态的多束输入光;光学系统,将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光;以及台面,安置有对象基板,并且被照射所述输出光,所述光学系统包括:混合部,将...
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