一种便于蒸发源拆装的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种便于蒸发源拆装的装置，包括：底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。本发明专利技术中利用伸缩机构沿着蒸发源的安装方向运动，进而带动连接在伸缩机构上的蒸发源从安装法兰上分离，拆装简单便捷，不需要人工施力辅助拆装，省时省力。

A device for disassembling and assembling evaporation source

The invention provides a device for disassembling and assembling evaporation sources, including: chassis; telescopic mechanism, which is arranged on the chassis; the telescopic end of the telescopic mechanism can be disassembled and connected with the evaporation source, driving the evaporation source to be separated from the installation flange, or driving the evaporation source to be assembled on the installation flange; the telescopic direction of the telescopic mechanism is opposite to the disassembly direction of the installation flange of the evaporation source. Same. In the invention, the expansion mechanism moves along the installation direction of the evaporation source, and then drives the evaporation source connected to the expansion mechanism to separate from the installation flange. The disassembly and assembly is simple and convenient, and no manual force is needed to assist the disassembly and assembly, thus saving time and labor.

【技术实现步骤摘要】
一种便于蒸发源拆装的装置
本专利技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种便于蒸发源拆装的装置。
技术介绍
在真空镀膜技术中，蒸发使用的源材料消耗完毕时，需要对蒸发源进行拆卸更换。现有技术中的蒸发源固定在蒸发腔体的安装法兰上，且蒸发源与水平面间存在35度的倾斜角。目前蒸发源在拆装时主要通过人工利用支撑杆，通过水平方向和竖直方向的配合移动将蒸发源从安装法兰上拆下，因蒸发源本身较重，人工拆装时，移动的速度不易控制，容易磕碰到蒸发源上的加热器，拆装过程费时费力。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸发源拆装不便的问题，从而提供一种变故蒸发源拆装的装置。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种便于蒸发源拆装的装置，底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。进一步地，所述伸缩机构包括：伸缩轴；气缸安装座，设置在所述底盘上；气缸，一端连接在所述气缸安装座上，另一端连接所述伸缩轴，所述气缸带动所述伸缩轴作伸缩往复运动。进一步地，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于蒸发源拆装的装置，其特征在于，包括：底盘(1)；伸缩机构(3)，设置于所述底盘(1)上；所述伸缩机构(3)的伸缩端可拆卸的与蒸发源(4)连接，带动蒸发源(4)从安装法兰(5)上分离，或带动蒸发源(4)装配在安装法兰(5)上；所述伸缩机构(3)的伸缩方向与蒸发源(4)相对安装法兰(5)的拆装方向相同。

【技术特征摘要】
1.一种便于蒸发源拆装的装置，其特征在于，包括：底盘(1)；伸缩机构(3)，设置于所述底盘(1)上；所述伸缩机构(3)的伸缩端可拆卸的与蒸发源(4)连接，带动蒸发源(4)从安装法兰(5)上分离，或带动蒸发源(4)装配在安装法兰(5)上；所述伸缩机构(3)的伸缩方向与蒸发源(4)相对安装法兰(5)的拆装方向相同。2.根据权利要求1所述的便于蒸发源拆装的装置，其特征在于，所述伸缩机构(3)包括：伸缩轴(31)；气缸安装座(32)，设置在所述底盘(1)上；气缸(33)，一端连接在所述气缸安装座(32)上，另一端连接所述伸缩轴(31)，所述气缸(33)带动所述伸缩轴(31)作伸缩往复运动。3.根据权利要求2所述的便于蒸发源拆装的装置，其特征在于，所述蒸发源(4)的外表面设置吊孔(7)，所述伸缩轴(31)的一端伸入所述吊孔内，并锁付在所述吊孔(7)上。4.根据权利要求1所述的便于蒸发源拆装的装置，其特征在于，还包括导向支撑组件(6)，一端设置在所述底盘(1)上，另一端支撑所述蒸发源(4)。5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨振焘，廖明墙，刘智成，权玉婕，李明，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11