一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；第一蒸发线源的喷嘴和第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；第一蒸发线源和第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，第一蒸发线源的待蒸镀区和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小。本发明专利技术以实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板
本专利技术实施例涉及显示技术，尤其涉及一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板。
技术介绍
有机发光显示面板(OrganicLight-EmittingDisplay，简称OLED)具有主动发光、轻薄、视角大、响应速度快、节能、温度耐受范围大、可实现柔性显示和透明显示等优点。有机发光显示面板为平面光源，不需要导光板或扩散板；驱动电压低，散热量较小；有机发光显示面板较容易实现透明和柔性显示，可应用于特殊场合并开拓出新的照明市场，因此被视为下一代最具潜力的新型平板显示技术。在有机发光显示面板中，由于不同功能层的材料的能级不同，载流子在传输过程中在不同功能层的材料界面存在势垒跳变，这将会导致有机发光显示面板的驱动电压上升。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，以形成包括两种不同材料且两种不同材料呈梯度变化的混合层，从而实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。第一方面，本专利技术实施例提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。可选地，所述第一蒸发线源还包括第一坩埚、第一角度板和第二角度板；所述第一坩埚用于放置所述第一材料；所述第一角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴远离所述第二蒸发线源的一侧；所述第二角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴邻近所述第二蒸发线源的一侧；所述第一角度板的一端与所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；所述第二角度板的一端和所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角；所述第二蒸发线源还包括第二坩埚、第三角度板和第四角度板；所述第二坩埚用于放置所述第二材料；所述第三角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴远离所述第一蒸发线源的一侧；所述第四角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴邻近所述第一蒸发线源的一侧；所述第三角度板的一端与所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；所述第四角度板的一端和所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角。可选地，所述第一材料为空穴传输材料，所述第二材料为空穴注入材料。可选地，所述预设值的取值范围为20cm-100cm。第二方面，本专利技术实施例提供一种蒸镀方法，由蒸镀装置执行，所述蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源；所述第一蒸发线源用于蒸镀第一材料；所述第二蒸发线源用于蒸镀第二材料；所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；所述蒸镀方法包括：控制所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源共同蒸镀；控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面。可选地，所述蒸镀装置还包括基板承载台；所述待蒸镀的基板固定于所述基板承载台上，且所述基板承载台固定；控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，包括：控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向移动。第三方面，本专利技术实施例提供一种混合层，所述混合层包括第一材料和第二材料；沿所述混合层的厚度方向上，所述第一材料的体积浓度逐渐增加，所述第二材料的体积浓度逐渐减小；或者，沿所述混合层的厚度方向上，所述第一材料的体积浓度逐渐减小，所述第二材料的体积浓度逐渐增加。第四方面，本专利技术实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括叠层设置的衬底基板、阳极、空穴注入与传输混合层、发光材料层、电子传输层、电子注入层和阴极；所述空穴注入与传输混合层包括空穴注入材料和空穴传输材料；所述空穴注入与传输混合层中，所述空穴注入材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐减小，所述空穴传输材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐增加。第五方面，本专利技术实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括叠层设置的衬底基板、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光材料层、电子注入与传输层混合层和阴极；所述电子注入与传输层混合层包括电子注入材料和电子传输材料；所述电子注入与传输层混合层中，所述电子注入材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐增大，所述电子传输材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐减小。本专利技术实施例中，蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源，第一蒸发线源和第二蒸发线源之间的水平距离大于预设值，也就是说，第一蒸发线源中的第一坩埚和第二蒸发线源中的第二坩埚间隔开一定的距离。隔开一定距离的第一蒸发线源与第二蒸发线源在待蒸镀的基板不同位置处的蒸镀速率发生了变化。第一蒸发线源沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，第二蒸发线源沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。蒸发到基板上一点的速率越小，该点处的蒸发材料的体积浓度越小；蒸发到基板上一点的速率越大，该点处的蒸发材料的体积浓度越大。本专利技术实施例中还设置第一蒸发线源和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠，从而形成包括第一材料和第二材料这两种不同材料的混合层，且由于第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板平行于X轴正方向运动，使第一蒸发线源和第二蒸发线源通过扫描沉积的方式形成的第一材料和第二材料的体积浓度均沿远离基板方向上呈梯度变化。能级在混合层中缓慢变化，不存在现有技术中空穴注入层和空穴传输层的交界面处存在能级跳变的情况，本专利技术实施例实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种蒸镀示意图；图3为对比例中提供的一种有机发光显示面板的能级图；图4为本专利技术实施例提供的一种有机发光显示面板的能级图；图5为本专利技术实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；图6为本专利技术实施例提供的另一种蒸镀示意图；图7为本专利技术实施例提供的另一种蒸镀示意图；图8为本专利技术实施例提供的另一种蒸镀示意图；图9为本专利技术实施例提供的一种蒸镀方法的流程图；图10为本专利技术实施例提供的一种混合层的结构示意图；图11为本专利技术实施例提供的一种有机发光显示面板的结构示意图；图12为本专利技术实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图；图13为本专利技术实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸发线源还包括第一坩埚、第一角度板和第二角度板；所述第一坩埚用于放置所述第一材料；所述第一角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴远离所述第二蒸发线源的一侧；所述第二角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴邻近所述第二蒸发线源的一侧；所述第一角度板的一端与所述第一蒸发线源的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；所述第二角度板的一端和所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角；所述第二蒸发线源还包括第二坩埚、第三角度板和第四角度板；所述第二坩埚用于放置所述第二材料；所述第三角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴远离所述第一蒸发线源的一侧；所述第四角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴邻近所述第一蒸发线源的一侧；所述第三角度板的一端与所述第二蒸发线源的喷嘴一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；所述第四角度板的一端和所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角。3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一材料为空穴传输材料，所述第二材料为空穴注入材料。4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述预设值的取值范围为20cm-100cm。5.一种蒸镀方法，其特征在于，蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源；所述第一蒸发线源用于蒸镀第一材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘彬，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13