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一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板制造方法及图纸
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下载一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板的技术资料
文档序号:20887580
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本发明提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板,蒸镀装置包括:第一蒸发线源,用于蒸镀第一材料;第二蒸发线源,用于蒸镀第二材料;第一蒸发线源的喷嘴和第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板;第一蒸发线源和第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值...
该专利属于云谷(固安)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云谷(固安)科技有限公司授权不得商用。
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