The invention provides a multilayer piezoelectric substrate with beryllium-aluminium alloy film, which includes piezoelectric base layer and conductive layer arranged in turn. The conductive layer is beryllium-aluminium alloy film. The present invention adopts beryllium-aluminium alloy as sputtering film and beryllium as hexagonal crystal system, which is easy to combine with piezoelectric base layer with the same lattice structure, while the aluminium in the alloy can be used as sound transmission material to improve its sound transmission efficiency. In this way, beryllium is used to solve the problem of poor bonding between aluminium film and piezoelectric substrate due to the different lattice structure; moreover, the alloy film and aluminium film are both metal films, which depend on metal bonds to bond well and not easy to fall off.
【技术实现步骤摘要】
设置铍铝合金膜的多层压电基片及其制备方法
本专利技术涉及滤波器用基片制备
，尤其涉及一种设置铍铝合金膜的多层压电基片及其制备方法。
技术介绍
在声表面波器件中，铝膜由于有比较低的声阻，是生产声表面波的最适合的材料。但铝膜在生长过程中，由于和基体压电材料晶格不匹配，生长的铝膜晶格严格扭曲，铝膜应力较大，在声表面波应用中，由于高频、高功率的声电作用下，很容易产生因铝膜与基体材料分离而导致电极脱落的现象。而在声表面波滤波器的蜂窝无线应用中，要求器件能承受大至1W的发射或接受功率。然而在大电流作用下，由于铝原子的迁移效应，电极处很容易断路或短路,高功率给基片表面带来的高温使器件很易失效。
技术实现思路
有必要提出一种设置铍铝合金膜的多层压电基片。还有必要提出一种设置铍铝合金膜的多层压电基片的制备方法。一种设置铍铝合金膜的多层压电基片，包括依次设置的压电基体层、导电层，所述导电层为铍铝合金膜。一种制备所述设置铍铝合金膜的多层压电基片的方法，包括以下步骤：步骤1、将压电基体层置于混合酸溶液中浸泡，使基片表面处于疏水状态，有利于金属原子在上面的附着；步骤2、利用磁控溅射在压电...
【技术保护点】
1.一种设置铍铝合金膜的多层压电基片，其特征在于：包括依次设置的压电基体层、导电层，所述导电层为铍铝合金膜。
【技术特征摘要】
1.一种设置铍铝合金膜的多层压电基片，其特征在于：包括依次设置的压电基体层、导电层，所述导电层为铍铝合金膜。2.如权利要求1所述的设置铍铝合金膜的多层压电基片，其特征在于：所述铍铝合金膜中铍含量与铝含量的比例为20%～40%：80%～60%。3.如权利要求1所述的设置铍铝合金膜的多层压电基片，其特征在于：所述压电基体层的材料为铌酸锂、钽酸锂、石英、硅酸镓镧之一。4.一种制备如权利要求1-3之一所述的多层压电基片的方法，其特征在于包括以下步骤：步...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖学峰，张学锋，雷顺京，张欢，韦海成，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：发明
国别省市：宁夏,64
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