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设置铍铝合金膜的多层压电基片及其制备方法技术
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文档序号:20925384
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本发明提出一种设置铍铝合金膜的多层压电基片,包括依次设置的压电基体层、导电层,所述导电层为铍铝合金膜,本发明采用铍铝合金作为溅射膜,铍为六方晶系,易于与相同晶格结构的压电基体层结合,而合金中的铝则可以作为传声的材料,提高其传声效率,如此利用...
该专利属于北方民族大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方民族大学授权不得商用。
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