有机发光器件及其制作方法技术

本揭示提供了有机发光器件及其制作方法。有机发光器件包括衬底基板、平坦层、阳极结构、堤层和接触孔。堤层和接触孔设置在平坦层上。接触孔露出阳极结构的侧壁、阳极结构的部分上表面和平坦层的部分上表面。本揭示能减少有机发光器件的电压衰退，进而改善有机发光器件的发光性能。

Organic light-emitting devices and their fabrication methods

This revelation provides organic light-emitting devices and their fabrication methods. Organic light-emitting devices include substrate, flat layer, anode structure, dike layer and contact hole. The levee layer and the contact hole are arranged on the flat layer. The contact hole exposes the side wall of the anode structure, the upper surface of the part of the anode structure and the upper surface of the flat layer. This study reveals that the voltage degradation of organic light-emitting devices can be reduced and the luminescent performance of organic light-emitting devices can be improved.

【技术实现步骤摘要】
有机发光器件及其制作方法
本揭示涉及显示
，特别涉及一种有机发光器件及其制作方法。
技术介绍
现有有机发光器件的接触孔结构中，由于辅助阴极与面阴极之间有一层导电性较差的电子传输层，往往需要利用高电压对电子传输层进行烧屏(burnin)操作，然而，这种烧屏操作的过程繁琐且效果并不明显。故，有需要提供一种有机发光器件及其制作方法，以解决现有技术存在的问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本揭示的一目的在于提供有机发光器件及其制作方法，其能减少有机发光器件的电压衰退，进而改善有机发光器件的发光性能。为达成上述目的，本揭示提供一有机发光器件的制作方法，包括:提供衬底基板；在所述衬底基板上在相同的层上形成源极、漏极和辅助阴极；在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上形成第一绝缘层和平坦层；在所述第一绝缘层和所述平坦层上形成多个第一孔；在所述平坦层上形成阳极结构，所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触；以及在所述平坦层上形成堤层和接触孔，其中所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。于本揭示其中的一实施例中，所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触，所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。于本揭示其中的一实施例中，所述阳极结构通过二个第一孔与所述辅助阴极接触，所述接触孔露出所述阳极结构的二个侧壁，且所述接触孔位于所述阳极结构的所述二个侧壁之间。于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括在所述堤层上形成阴极结构，所述阴极结构通过所述接触孔与所述阳极结构的所述侧壁接触。于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括在所述阳极结构及所述堤层上依序形成电洞注入层、电洞传输层、发光层、电子传输层和所述阴极结构。于本揭示其中的一实施例中，提供所述衬底基板的步骤包括：提供基板；在所述基板上依序形成栅极电极、第二绝缘层、半导体层及第三绝缘层；以及在所述第三绝缘层上形成多个第二孔，其中所述源极和所述漏极通过所述第二孔接触所述半导体层。本揭示还提供有机发光器件，包括衬底基板、源极、漏极、辅助阴极、第一绝缘层、平坦层、多个第一孔、阳极结构、堤层和接触孔。所述源极、所述漏极和所述辅助阴极设置在所述衬底基板上的相同的层上。所述第一绝缘层和所述平坦层设置在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上。所述第一孔设置在所述第一绝缘层和所述平坦层上。所述阳极结构设置在所述平坦层上。所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触。所述堤层和所述接触孔设置在所述平坦层上。所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。于本揭示其中的一实施例中，所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触，所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。于本揭示其中的一实施例中，所述阳极结构通过二个第一孔与所述辅助阴极接触，所述接触孔露出所述阳极结构的二个侧壁，且所述接触孔位于所述阳极结构的所述二个侧壁之间。于本揭示其中的一实施例中，所述有机发光器件还包括设置在所述堤层上的阴极结构，所述阴极结构通过所述接触孔与所述阳极结构的所述侧壁接触。由于本揭示的实施例中的所述接触孔露出所述阳极结构的所述侧壁、所述阳极结构的所述部分上表面和所述平坦层的所述部分上表面。本揭示的实施例能减少所述有机发光器件的电压衰退，进而改善所述有机发光器件的发光性能。为让本揭示的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：【附图说明】图1显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的流程图；图2显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图3显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图4A显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图4B显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图5A显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图5B显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图6A显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图6B显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图7A显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图7B显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图8显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图9显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的制作方法的示意图；图10A显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的结构示意图；图10B显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的结构示意图；以及图11显示根据本揭示的一实施例的有机发光器件的接触孔的俯视图。【具体实施方式】为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。再者，本揭示所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧层、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。参照图1，本揭示的一实施例提供有机发光器件的制作方法，包括如下步骤。参照图1及图2，步骤1、提供衬底基板110。具体地，衬底基板110例如是柔性基板。参照图1及图3，步骤2、在衬底基板110上在相同的层上形成源极122、漏极124和辅助阴极126。具体地，源极122、漏极124或辅助阴极126的材料为氮化硅Mo、Al、或二者的组合。参照图1及图4A-4B，步骤3、在衬底基板110、源极122、漏极124和辅助阴极126上形成第一绝缘层130和平坦层140。参照图1及图4A-4B，步骤4、在第一绝缘层130和平坦层140上形成多个第一孔150。具体地，第一绝缘层130的材料例如为氧化硅(SiOx)，平坦层140的材料例如为聚酰亚胺(polyimides，PI)。通过曝光、显影、蚀刻的制程对第一绝缘层130和平坦层140进行挖孔，以形成第一孔150。参照图1及图5A-5B，步骤5、在平坦层140上形成阳极结构160，阳极结构160通过第一孔150与源极122及辅助阴极126接触。具体地，通过曝光、显影、蚀刻及图案化的制程形成阳极结构160。阳极结构160为ITO层，例如为ITO/Ag/ITO多层薄膜。参照图1及图6A-6B，步骤6、在平坦层140上形成堤层170和接触孔180，其中接触孔180露出阳极结构160的侧壁162、阳极结构160的部分上表面164和平坦层140的部分上表面144。具体地，堤层170的材料例如为聚酰亚胺(polyimides，PI)。通过曝光、显影的制程形成相应的堤层170和接触孔180。具体地，阳极结构160通过一个第一孔150与辅助阴极160接触，接触孔180露出阳极结构160的一个侧壁162(如图6A)。具体地，阳极结构160通过二个第一孔150与辅助阴极160接触，接触孔180露出阳极结构160的二个侧壁162，且接触孔180位于阳极结构160的二个侧壁162之间(如图6B)。参照图7A-7B，有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光器件的制作方法，其特征在于，包括:提供衬底基板；在所述衬底基板上在相同的层上形成源极、漏极和辅助阴极；在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上形成第一绝缘层和平坦层；在所述第一绝缘层和所述平坦层上形成多个第一孔；在所述平坦层上形成阳极结构，所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触；以及在所述平坦层上形成堤层和接触孔，其中所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光器件的制作方法，其特征在于，包括:提供衬底基板；在所述衬底基板上在相同的层上形成源极、漏极和辅助阴极；在所述衬底基板、所述源极、所述漏极和所述辅助阴极上形成第一绝缘层和平坦层；在所述第一绝缘层和所述平坦层上形成多个第一孔；在所述平坦层上形成阳极结构，所述阳极结构通过所述第一孔与所述源极及所述辅助阴极接触；以及在所述平坦层上形成堤层和接触孔，其中所述接触孔露出所述阳极结构的侧壁、所述阳极结构的部分上表面和所述平坦层的部分上表面。2.如权利要求1所述的有机发光器件的制作方法，其特征在于，所述阳极结构通过一个第一孔与所述辅助阴极接触，所述接触孔露出所述阳极结构的一个侧壁。3.如权利要求1所述的有机发光器件的制作方法，其特征在于，所述阳极结构通过二个第一孔与所述辅助阴极接触，所述接触孔露出所述阳极结构的二个侧壁，且所述接触孔位于所述阳极结构的所述二个侧壁之间。4.如权利要求1所述的有机发光器件的制作方法，其特征在于，还包括在所述堤层上形成阴极结构，所述阴极结构通过所述接触孔与所述阳极结构的所述侧壁接触。5.如权利要求4所述的有机发光器件的制作方法，其特征在于，还包括在所述阳极结构及所述堤层上依序形成电洞注入层、电洞传输层、发光层、电子传输层和所述阴极结构。6.如权利要求1所述的有机发光...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘凌翔，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44