片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，前者包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置，连接板用于连接框架和驱动传动装置，框架用于盛装片盒，挡板通过竖直转轴设置于框架上且能够在驱动传动装置的驱动下改变对框架内的片盒的夹压状态；后者包括前者。本发明专利技术提供的片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置具有取放片盒效率高、操作简便、结构简单的优点。

Tapping and Placing Mechanism of Sheet Box and Dithering Device of Semiconductor Wet Process Soaking Tank

The invention relates to a disc box take-and-place mechanism and a semi-conductor wet process immersion tank dithering device. The former includes a connecting plate, a frame, a baffle and a driving device. The connecting plate is used to connect a frame and a driving device. The frame is used to hold the disc box. The baffle is arranged on the frame through a vertical rotating shaft and can change the clamp of the disc box in the frame under the drive of the driving device. Pressure state; the latter includes the former. The device has the advantages of high efficiency, simple operation and simple structure.

【技术实现步骤摘要】
片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置
本专利技术涉及半导体湿法制备装置
，尤其是涉及一种片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置。
技术介绍
随着半导体进入微纳米时代，对半导体制造工艺提出了更大的挑战，在传统的半导体湿法腐蚀制备工艺过程中，为了满足半导体片的腐蚀均匀性等其他工艺的要求，需要将盛装有半导体片和反应液的片盒进行一定的有序的机械振动，以保证腐蚀均匀性和反应速率。但现有技术中的半导体湿法腐蚀工艺设备结构一般较为复杂，尤其是取放片盒的过程较为麻烦，往往需要将设备中的片盒夹固机构进行人工解锁或人工上锁，严重影响工艺效率。公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本专利技术总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置。该片盒取放机构能够在放置未反应的片盒前及片盒振动反应后处于解锁打开的状态，方便取放片盒；在对片盒进行振动时处于锁闭的状态，对片盒进行夹固限位；具有结构简单、使用效率高、操作简便的优点。该半导体湿法工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种片盒取放机构，应用于半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，其特征在于：所述片盒取放机构包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置，以所述连接板的板面为水平面，所述框架包括水平设置于所述连接板的下方的上框板、水平设置于所述上框板的下方的下框板以及竖直固定于所述上框板和所述下框板之间的支柱；所述上框板的一侧具有凹口，在所述凹口的内部铰接有沿水平面延伸的水平转轴，所述连接板与所述上框板之间通过连接柱连接，且所述连接柱的一端与所述水平转轴的周面固定连接，所述连接柱的另一端与所述连接板固定连接；在所述上框板与所述下框板之间还铰接有沿竖直方向延伸的竖直转轴，所述挡板的一侧固定于所述竖直转轴的周面上；所述驱动传...

【技术特征摘要】
1.一种片盒取放机构，应用于半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，其特征在于：所述片盒取放机构包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置，以所述连接板的板面为水平面，所述框架包括水平设置于所述连接板的下方的上框板、水平设置于所述上框板的下方的下框板以及竖直固定于所述上框板和所述下框板之间的支柱；所述上框板的一侧具有凹口，在所述凹口的内部铰接有沿水平面延伸的水平转轴，所述连接板与所述上框板之间通过连接柱连接，且所述连接柱的一端与所述水平转轴的周面固定连接，所述连接柱的另一端与所述连接板固定连接；在所述上框板与所述下框板之间还铰接有沿竖直方向延伸的竖直转轴，所述挡板的一侧固定于所述竖直转轴的周面上；所述驱动传动装置包括导杆、滑块、倾斜杆、水平转动臂以及能够驱动所述倾斜杆升降的升降装置；所述导杆的两端分别通过固定板固定于所述上框板的上表面上；所述滑块套设于所述导杆上，且所述滑块能够沿所述导杆滑动；所述倾斜杆的下端穿过所述连接板后与所述滑块铰接；所述水平转动臂的一端与所述滑块固定连接；所述竖直转轴的上端穿过所述上框板后与所述水平转动臂的另一端固定连接；所述升降装置配置成能够驱动所述倾斜杆升降以带动所述滑块沿所述导杆滑动从而带动所述水平转动臂驱动所述竖直转轴转动进而使所述挡板转动。2.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：所述水平转动臂包括水平设置的挡板推杆、倾斜连接臂以及挡板转臂，所述挡板推杆的一端与所述滑块固定连接，所述倾斜连接臂的一端与所述挡板推杆的另一端铰接，所述倾斜连接臂的另一端与所述挡板转臂的一端铰接，所述挡板转臂的另一端与所述竖直转轴的上端固定连接。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李元升，黄鑫亮，夏楠君，吴娖，王勇威，张伟锋，吴光庆，陈苏伟，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11