The invention provides a method for position accuracy compensation of large-range ultra-precision two-dimensional motion platform. By dividing large-range into several small areas, then fitting small areas to obtain the systematic errors of each small area, and then data mosaic processing for each small area, thereby realizing position accuracy compensation of large-range ultra-precision two-dimensional motion platform and overcoming existing large-range ultra-precision two-dimensional motion platform. The inadequacy of position accuracy compensation method for moving platform has the advantages of low cost, high accuracy and simple operation.
【技术实现步骤摘要】
一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法
本专利技术涉及超精密加工和视觉测量
，尤其涉及一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法。
技术介绍
随着半导体产业的迅猛发展，直写光刻设备对于市场的需求量也是越来越大。其中，超精密运动平台作为直写光刻设备的核心部件，对其关键指标位置精度的提高和改善是至关重要的。目前，对于大行程的超精密二维平台来说，虽然利用高精度的激光干涉仪可以很好的实现位置精度的优化和改善，但是往往受限于干涉仪设备成本、工作环境，且在整机上也不方便操作，通常也只能离线进行。针对上述问题和存在的不足之处，CCD相机数据采集系统被应用到超精密二维运动平台的位置精度补偿中。在一般小行程的超精密运动平台中，通常通过标准的标定掩模版就可以一次性完成对单区域测量数据的采集和拟合，最终便可得到所需区域的误差补偿值。但是对于大行程的超精密运动平台，目前市场上很难找到大幅面高精度的标定掩模版。即便有生产能力的厂家，该掩模版的制作成本也是翻几十番，远远超出实际的成本预算。鉴于此，有必要提供一种新的大行程超精密运动平台补偿方法来解决以上不足之处。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法，其特征在于：包括以下步骤步骤一：根据大行程超精密二维运动平台的行程范围将待标定的大区域划分成若干个标定小区域，并相应的进行有序编号；步骤二：选择标准的石英标定掩模版，按编号1所在区域进行标定掩模版的放置，该标定掩模版在水平和垂直方向等间距分布有相同的中心对称标定图形；步骤三：结合CCD相机数据采集系统来获得中心对称标定图形的中心在运动平台上的实际坐标数据；步骤四：将理想坐标数据和实际坐标数据进行数据拟合处理得到拟合坐标数据，再与理想坐标数据求差，得到各个中心对称图形中心位置的补偿数据；步骤五：剩下编号区域分别重复以上步骤，...
【技术特征摘要】
1.一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法，其特征在于：包括以下步骤步骤一：根据大行程超精密二维运动平台的行程范围将待标定的大区域划分成若干个标定小区域，并相应的进行有序编号；步骤二：选择标准的石英标定掩模版，按编号1所在区域进行标定掩模版的放置，该标定掩模版在水平和垂直方向等间距分布有相同的中心对称标定图形；步骤三：结合CCD相机数据采集系统来获得中心对称标定图形的中心在运动平台上的实际坐标数据；步骤四：将理想坐标数据和实际坐标数据进行数据拟合处理得到拟合坐标数据，再与理想坐标数据求差，得到各个中心对称图形中心位置的补偿数据；步骤五：剩下编号区域分别重复以上步骤，最终可得到各个小区域的补偿数据；步骤六：将编号1区域作为其它编号区域的数据处理基准，分别对其它编号区域的补偿数值进行处理，最终可得到运动平台整个大区域范围的补偿数据；步骤七：根据平台控制器的补偿原则，将误差补偿表加载到超精密运动平台控制器中，完成全部工作。2.如权利要求1所述的一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法，其特征在于：所述步骤二中石英标定掩模板表面是进行镀铬处理的，在其水平和垂直方向等间距均匀刻蚀有相同的圆形图案或其它对称...
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