下载一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法的技术资料

文档序号:20913771

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本发明提供一种大行程超精密二维运动平台位置精度补偿的方法,通过将大区域划分成若干个小区域,再对小区域进行拟合处理得到各个小区域的系统误差,然后再对各个小区域进行数据拼接处理,进而实现大区域平台的位置精度补偿,克服已有大行程超精密二维运动平台...
该专利属于安徽工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过安徽工程大学授权不得商用。

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