一种基于p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球的气体传感器制造技术

本发明专利技术一种基于p‑n异质结结构NiO‑In2O3复合纳米球的气体传感器及其制备方法，属于半导体金属氧化物的气体传感器领域。一种p‑n异质结结构NiO‑In2O3复合纳米球的制备方法，所述方法为将四水合三氯化铟、六水合硝酸镍、一水合柠檬酸和尿素按照摩尔比为1：0.1～0.2：2.5：15溶于乙二醇溶液中，磁力搅拌60min得混合溶液，所述混合溶液中四水合三氯化铟的浓度为1/30mol/L；将混合溶液置于160℃干燥箱中反应16h，洗涤干燥热处理得所述复合纳米球。本发明专利技术所述方法简单、成本低，制得的NO2传感器灵敏度高、选择性高、响应恢复性好。

【技术实现步骤摘要】
一种基于p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球的气体传感器
本专利技术属于半导体金属氧化物的气体传感器
，具体涉及一种基于p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球的气体传感器及其制备方法。
技术介绍
在过去的几十年里，随着世界人口的增长和工业化进程的加速，车辆使用和能源需求也随之增加，大量有害气体(如CO2，SOX，NOX，H2S，CO等)通过发电、供热、冶金、化工生产和机动车使用等方式排放到空气中，造成严重的大气污染，并严重威胁到人类的安全和健康，如温室效应、酸雨、光化学烟雾和其他环境灾难，而煤气中毒、燃气泄漏所导致的爆炸等威胁人们生命和财产安全的意外事故也屡屡发生。因此，在日常生活中必须利用气体传感器对环境中的毒害气体含量进行快速、精准的检测和监测。因此，开发出选择性好、灵敏度高、响应速度快、能耗低、稳定性好且价格低廉的气体传感器势在必行。目前，基于不同材料和方法已开发出多种类型的气体传感器。根据材料类型和作用方式可以分为催化燃烧、电化学、固体电解质、光谱吸收、高分子和金属氧化物半导体传感器等。虽然这些种类的气体传感器均可以使用，但金属氧化物半导体式气体传感器由于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种p‑n异质结结构NiO‑In2O3复合纳米球的制备方法，其特征在于，所述方法按照以下步骤进行：①将四水合三氯化铟、六水合硝酸镍、一水合柠檬酸和尿素按照摩尔比为1：0.1～0.2：2.5：15溶于乙二醇溶液中，磁力搅拌60min得混合溶液，所述乙二醇溶液中乙二醇与去离子水的体积比为1：1，所述混合溶液中四水合三氯化铟的浓度为1/30mol/L；②将上述混合溶液置于160℃干燥箱中反应16h，用去离子水和无水乙醇交替洗涤沉淀产物至上层液无色透明，将洗涤后的产物置于60℃的烘箱中干燥8h，加热至400℃热处理4h，得p‑n异质结结构NiO‑In2O3复合纳米球。

【技术特征摘要】
1.一种p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球的制备方法，其特征在于，所述方法按照以下步骤进行：①将四水合三氯化铟、六水合硝酸镍、一水合柠檬酸和尿素按照摩尔比为1：0.1～0.2：2.5：15溶于乙二醇溶液中，磁力搅拌60min得混合溶液，所述乙二醇溶液中乙二醇与去离子水的体积比为1：1，所述混合溶液中四水合三氯化铟的浓度为1/30mol/L；②将上述混合溶液置于160℃干燥箱中反应16h，用去离子水和无水乙醇交替洗涤沉淀产物至上层液无色透明，将洗涤后的产物置于60℃的烘箱中干燥8h，加热至400℃热处理4h，得p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球。2.权利要求1所述方法制得的p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球，其特征在于，所述NiO-In2O3复合纳米球直径为400～500nm，复合纳米球由粒径为5～10nm的NiO单晶颗粒和In2O3单晶颗粒聚集而成。3.一种基于p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳米球的NO2传感器，其特征在于，所述传感器由铂金导线、基座、加热丝、金电极、电极元件及气敏涂层组成；所述气敏涂层是以NiO-In2O3复合纳米球为气敏材料。4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述电极元件的形状为管状。5.权利要求3所述的基于p-n异质结结构NiO-In2O3复合纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈岩柏，毕洪山，赵思凯，韩聪，崔宝玉，魏德洲，张云海，魏可峰，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21