改性成型品的制造方法、成型品、隔膜和隔膜阀技术

本发明专利技术提供一种用于制造改性成型品的制造方法，该改性成型品能够实现不容易产生粉粒的隔膜。一种改性成型品的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：将改性聚四氟乙烯成型来得到成型品的工序，该改性聚四氟乙烯包含四氟乙烯单元和基于能够与四氟乙烯共聚的改性单体的改性单体单元；以及在270℃～310℃对上述成型品照射30kGy以上且小于70kGy的放射线来得到改性成型品的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】改性成型品的制造方法、成型品、隔膜和隔膜阀
本专利技术涉及改性成型品的制造方法、成型品、隔膜和隔膜阀。
技术介绍
在半导体制造工厂中，在半导体制造中使用的腐蚀性高的化学药品等的供给中使用了隔膜阀。聚四氟乙烯(PTFE)和四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)由于具有优异的耐化学药品性、非粘合性等而被用作隔膜阀的构成材料。但其出现了从隔膜阀产生粉粒、使半导体制造的成品率降低等问题。在专利文献1中，现有的隔膜阀中的阀箱为PTFE制，但由于该阀箱通过切削加工而制成，因而会附着有毛刺等异物，据认为无法避免粉粒的产生。并且认为，通过至少使阀箱由PFA成型品构成，不会因切削加工而附着毛刺等异物，可避免粉粒的产生。在专利文献2中，在隔膜的硬度与阀座的硬度不同的情况下，在将隔膜压抵至阀座时，据认为硬度低的部件容易被刮掉。并且认为，通过使隔膜的硬度与阀座的硬度大致相等，能够抑制隔膜阀内的粉粒的产生。另外，作为其一例，记载了使隔膜的材质为改性PTFE、使阀座的材质为PFA的情况。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-37329号公报专利文献2：日本特开2012-26476号公报专利文献3：日本特开平01-33810号公报专利文献4：日本特开平10-316761号公报专利文献5：日本特开2000-159914号公报专利文献6：日本特开2013-27875号公报专利文献7：日本特开2014-44401号公报专利文献8：日本特开平09-278907号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，随着半导体电路的微细化，要求进一步降低粉粒的技术。鉴于上述现状，本专利技术的目的在于提供一种用于制造改性成型品的制造方法，该改性成型品能够实现不容易产生粉粒的隔膜。本专利技术的目的还在于提供不容易产生粉粒的成型品、隔膜和隔膜阀。用于解决课题的手段本专利技术人对用于解决上述课题的手段进行了深入研究，结果查明，在使隔膜的材质为改性聚四氟乙烯(改性PTFE)、使阀座的材质为四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)的情况下，尽管两者具有同等的硬度，但隔膜的磨耗仍大于阀座，产生了粉粒。专利技术人进一步进行了研究，结果发现，在特定条件下对改性PTFE进行放射线处理而得到的改性成型品即使在与PFA成型品反复抵接和分开的情况下，也不容易产生粉粒，从而完成了本专利技术。另外，如专利文献3～8所述，对PTFE和PFA照射放射线而对它们进行改性的技术是广为人知的。但是，专利技术人同时还发现，为了得到不容易产生粉粒的改性PTFE的改性成型品，需要在与以往不同的条件下照射放射线。即，本专利技术涉及一种改性成型品的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：将改性聚四氟乙烯成型来得到成型品的工序，该改性聚四氟乙烯包含四氟乙烯单元和基于能够与四氟乙烯共聚的改性单体的改性单体单元；以及在270℃～310℃对上述成型品照射30kGy以上且小于70kGy的放射线来得到改性成型品的工序。上述改性聚四氟乙烯中，上述改性单体单元相对于四氟乙烯单元和上述改性单体单元的合计优选为0.001质量％～1质量％。上述改性聚四氟乙烯的二次熔点优选为320℃～329℃。优选在得到上述成型品后进一步包括通过机械加工对上述成型品进行加工的工序。优选在得到上述改性成型品后进一步包括通过机械加工对上述改性成型品进行加工的工序。上述改性成型品优选为隔膜。本专利技术还涉及一种成型品，其是改性聚四氟乙烯的成型品，其特征在于，上述改性聚四氟乙烯包含四氟乙烯单元、基于能够与四氟乙烯共聚的改性单体的改性单体单元以及叔碳，上述叔碳相对于四氟乙烯单元和上述改性单体单元的合计为0.035摩尔％～0.100摩尔％。上述改性聚四氟乙烯中，上述改性单体单元相对于四氟乙烯单元和上述改性单体单元的合计优选为0.001质量％～1质量％。本专利技术还涉及一种隔膜，其特征在于，其由上述成型品形成。本专利技术还涉及一种隔膜，其特征在于，其是在270℃～310℃对改性聚四氟乙烯照射30kGy以上且小于70kGy的放射线而得到的。本专利技术还涉及一种隔膜阀，其特征在于，其具备阀座以及上述隔膜。上述阀座优选由四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物构成。专利技术效果本专利技术的制造方法能够制造出可实现不容易产生粉粒的隔膜的改性成型品。本专利技术的成型品不容易产生粉粒。本专利技术的隔膜和隔膜阀不容易产生粉粒。附图说明图1是示出本专利技术的隔膜和隔膜阀的一个实施方式的截面示意图。图2是用于说明粉粒产生试验的方法的示意图。图3是实验例1中实施的粉粒产生试验后的PFA片的照片。可知在PFA片上附着有析出物。具体实施方式以下具体说明本专利技术。本专利技术的制造方法包括将改性聚四氟乙烯(改性PTFE)成型来得到成型品的工序。在本说明书中，有时将该工序称为成型工序。作为上述成型的方法，可以采用用于将上述改性PTFE成型的公知方法，可以举出例如压塑成型法、柱塞挤出成型法、等静压成型等。还可以举出涂布上述改性PTFE的水性分散液后进行干燥和烧制的方法，但由于其不容易制造出要求耐挠曲性的隔膜等成型品，因而在本专利技术中不优选该方法。作为上述成型的方法，其中优选上述压塑成型法。即，上述成型工序优选包括下述工序：通过将上述改性PTFE的粉末填充到模具中并进行压缩来得到预成型品(preform)的工序；以及将上述预成型品加热至上述改性PTFE的一次熔点以上来得到上述成型品的工序。对上述成型品的形状没有特别限定，可以举出例如膜、片、板、棒、块、圆筒、容器、管、风箱、密封垫、垫片等。另外，上述成型品也可以是通过压塑成型法得到的成型品(也称为块)。另外还可以通过成型为隔膜的形状而得到具有隔膜形状的成型品。上述制造方法还优选在通过上述成型工序得到上述成型品后，进一步包括通过机械加工将上述成型品加工成所期望的形状的工序。上述改性PTFE即使加热至熔点以上，熔融粘度也非常高，不可能进行通常的用于热塑性树脂的挤出成型、注射成型。因此不容易由上述改性PTFE的粉末直接得到隔膜等具有复杂且微细的形状的成型品。但是，通过对预先成型的成型品进行机械加工，还能够容易地得到具有复杂且微细的形状的成型品。作为上述机械加工的方法，可以举出切削加工。例如，在得到上述改性PTFE的块之后，可以通过切削加工从上述块削出膜，通过切削加工将上述膜加工成所期望的形状。该加工工序中，还优选通过上述机械加工(优选通过上述切削加工)加工成隔膜的形状。上述改性PTFE包含四氟乙烯(TFE)单元和基于能够与TFE共聚的改性单体的改性单体单元。与仅由TFE单元形成的均聚PTFE相比，上述改性PTFE具有耐蠕变性优异的优点，因此，上述制造方法可制造出能够适用于隔膜的改性成型品。上述改性PTFE中，上述改性单体单元的含量相对于TFE单元和上述改性单体单元的合计为0.001～1质量％、更优选为0.01～1质量％、进一步优选为0.02～0.20质量％。上述改性单体单元的含量若过少，则耐蠕变性降低；该含量若过多，则拉伸强度、抗裂性降低，并且与大量使用昂贵的全氟乙烯基醚相比，耐蠕变性的改善效果小，在经济上不利。在本说明书中，上述改性单体单元是指改性PTFE的分子结构的一部分且是来自改性单体的部分。上述改性单体单元的含量可以通过日本专利第3177983号公报所记载的傅利叶转换型红外分光法(FT-IR)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改性成型品的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：将改性聚四氟乙烯成型来得到成型品的工序，该改性聚四氟乙烯包含四氟乙烯单元和基于能够与四氟乙烯共聚的改性单体的改性单体单元；以及在270℃～310℃对所述成型品照射30kGy以上且小于70kGy的放射线来得到改性成型品的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.30 JP 2016-1682491.一种改性成型品的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：将改性聚四氟乙烯成型来得到成型品的工序，该改性聚四氟乙烯包含四氟乙烯单元和基于能够与四氟乙烯共聚的改性单体的改性单体单元；以及在270℃～310℃对所述成型品照射30kGy以上且小于70kGy的放射线来得到改性成型品的工序。2.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述改性聚四氟乙烯中，所述改性单体单元相对于四氟乙烯单元和所述改性单体单元的合计为0.001质量％～1质量％。3.如权利要求1或2所述的制造方法，其中，所述改性聚四氟乙烯的二次熔点为320℃～329℃。4.如权利要求1、2或3所述的制造方法，其中，在得到所述成型品后，该制造方法进一步包括通过机械加工对所述成型品进行加工的工序。5.如权利要求1、2或3所述的制造方法，其中，在得到所述改性成型品后，该制造方法进一步包括通...

【专利技术属性】
技术研发人员：今村均，舩冈达也，下野武司，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP