提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法及光伏电池技术

本发明专利技术涉及太阳能技术领域，具体而言，涉及一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法及光伏电池。提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，包括以下步骤：S1，对背电极层的表面进行处理，以使所述背电极层表面原子活性提高；S2，在所述背电极层上，通过沉积工艺形成吸收层。以解决现有技术中铜铟镓硒膜层在钼层表面附着力较低，导致铜铟镓硒膜层与钼层的界面性能降低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法及光伏电池
本专利技术涉及太阳能
，具体而言，涉及一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法及光伏电池。
技术介绍
铜铟镓硒薄膜太阳能组件结构中，综合考虑热膨胀系数、晶格常数匹配以及接触电阻等因素，钼金属层被普遍用作铜铟镓硒薄膜的沉积衬底和组件的背电极。钼层通常是利用真空磁控溅射沉积镀膜的方法得到，然后在钼层表面进行铜铟镓硒膜层制备。铜铟镓硒吸收层作为铜铟镓硒薄膜太阳能组件的核心层，其与钼层的界面性质会对整个薄膜太阳能组件性能产生影响。作为制备高质量铜铟镓硒薄膜的主流方法之一，共蒸发沉积方法被广泛应用于铜铟镓硒薄膜太阳能组件的研究和生产中。共蒸发沉积方法是指利用电阻加热的方式将铜、铟、镓、硒四种材料熔化，在高真空环境下，以一定的角度和距离向加热的基底表面进行蒸发，蒸发的粒子在钼层表面进行沉积生长，形成铜铟镓硒薄膜。共蒸发沉积方法具有沉积速率快、重复性好和过程控制性强等优点。但是，利用共蒸发沉积方法，在钼层表面沉积生长铜铟镓硒薄膜。由于加热蒸发出来的铜、铟、镓、硒的粒子能量不高，使得铜铟镓硒膜层在钼层表面的接触方式是平面式接触，附着力并不强。这可能会影响铜铟镓硒膜层与钼层的界面性能，影响铜铟镓硒薄膜太阳能组件生产的后续工艺以及最终的组件性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其能够提高背电极层表面和太阳能吸收层之间的附着力，以解决现有技术中铜铟镓硒膜层在钼层表面附着力较低，导致铜铟镓硒膜层与钼层的界面性能降低的技术问题。本专利技术的实施例是这样实现的：一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，包括以下步骤：S1，对背电极层的表面进行处理，以使所述背电极层表面原子活性提高；S2，在所述背电极层上，通过沉积工艺形成吸收层。进一步地，在步骤S1中，对所述背电极层的表面进行干法刻蚀或湿法刻蚀。进一步地，所述干法刻蚀包括以下的步骤：将背电极层放置在刻蚀设备中；在刻蚀设备内通入气体，气体在刻蚀设备中生成等离子体；所述等离子体对背电极层表面进行干法刻蚀。进一步地，所述气体为氢气、氩气、氧气、四氟化碳、四氯化碳中的任一种；和/或，所述气体的流量为10-100sccm，所述干法刻蚀的时间为1-2min。进一步地，所述湿法刻蚀包括以下的步骤：用去离子水对背电极层表面进行冲洗；对背电极层表面进行干燥；使用氢氟酸对背电极层表面进行刻蚀。进一步地，所述氢氟酸的质量浓度为7％～9％。进一步地，在步骤S1之后，还包括以下步骤；在背电极层的表面形成有凹槽或凸起。进一步地，在步骤S1之后，还包括以下步骤；对背电极层的表面上通过真空磁控溅射有可用于所述吸收层沉积的过渡层。进一步地，所述过渡层的材料为银、铜、铟、镓和硒中的任意一种单质，或铜、铟、镓和硒中至少两种以上的合金或化合物。一种光伏电池，所述光伏电池由上所述提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法制得。本专利技术提供的一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，包括以下步骤：S1，对背电极层的表面进行处理，以使所述背电极层表面原子活性提高；S2，在所述背电极层上，通过沉积工艺形成吸收层。采用上述的方案，对背电极层的表面进行处理，从而能够提高背电极层表面的原子活性，在背电极层的表面沉积吸收层时，吸收层与背电极层表面通过化学键合的作用连接，以增强吸收层在背电极层表面的附着力。以解决现有技术中铜铟镓硒膜层在钼层表面之间附着力较低，导致铜铟镓硒膜层与钼层的界面性能降低的技术问题。本专利技术提供的一种光伏电池，所述光伏电池由上所述提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法制得。采用上述的方案，光伏电池包括有背电极层和吸收层，吸收层附着在背电极层的表面，由于，背电极层的表面经过处理，吸收层通过共蒸发沉积方法形成在背电极层的表面，能够使吸收层附着在背电极层上的附着力较强，以使光伏电池的吸光效果更佳。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例得一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法的流程图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面结合附图，对本专利技术的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。图1为本专利技术实施例一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法的流程图。如图1所示，本专利技术提供的一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，包括以下步骤：S1，对背电极层的表面进行处理，以使所述背电极层表面原子活性提高。在步骤S1中，对所述背电极层的表面进行干法刻蚀或湿法刻蚀。其中，干法刻蚀可为等离子体刻蚀。采用干法刻蚀或者是湿法刻蚀的方法对背电极层的表面进行处理，以使背电极层的表面的原子活性提高。可用射频磁控溅射在基底的表面生成金属钼背电极层。其中，所述干法刻蚀包括以下的步骤：将背电极层放置在刻蚀设备中；在刻蚀设备内通入气体，气体在刻蚀设备中生成等离子体；所述等离子体对背电极层表面进行干法刻蚀。进一步地，所述气体为氢气、氩气、氧气、四氟化碳、四氯化碳中的任一种；和或，所述气体的流量为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，对背电极层的表面进行处理，以使所述背电极层表面原子活性提高；S2，在所述背电极层上，通过沉积工艺形成吸收层。

【技术特征摘要】
1.一种提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，对背电极层的表面进行处理，以使所述背电极层表面原子活性提高；S2，在所述背电极层上，通过沉积工艺形成吸收层。2.根据权利要求1所述提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其特征在于，在步骤S1中，对所述背电极层的表面进行干法刻蚀或湿法刻蚀。3.根据权利要求2所述提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其特征在于，所述干法刻蚀包括以下的步骤：将背电极层放置在刻蚀设备中；在刻蚀设备内通入气体，气体在刻蚀设备中生成等离子体；所述等离子体对背电极层表面进行干法刻蚀。4.根据权利要求3所述提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其特征在于，所述气体为氢气、氩气、氧气、四氟化碳、四氯化碳中的任一种；和/或，所述气体的流量为10-100sccm，所述干法刻蚀的时间为1-2min。5.根据权利要求2所述提高光伏电池背电极与吸收层附着力的方法，其特征在于，所述湿法...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵树利，杨立红，王正安，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11