【技术实现步骤摘要】
一种旋涂仪真空吸盘装置
本专利技术涉及旋涂设备
,尤其涉及一种旋涂仪真空吸盘装置。
技术介绍
旋涂技术是旋转涂抹法的简称,是有机发光二极管中常用的制备方法,主要有设备为旋涂仪。工作过程包括:配料,高速旋转,挥发成膜三个步骤,通过控制旋涂的时间,转速,滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。目前大多数厂家均采用真空吸盘固定样品进行旋涂,但经常会因为种种原因导致甩片并使胶料被真空泵吸入,从而损害真空泵。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种旋涂仪真空吸盘装置。为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:设计一种旋涂仪真空吸盘装置,包括真空外罩,所述真空外罩上贯穿设有电机轴,电机轴的轴线上设有气孔,所述电机轴的一端固定连接在电机的输出端上,另一端固定连接有密封圈,密封圈上吸固有样品,所述真空外罩的两侧分别设有通孔,其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置,另一侧通孔连接有抽气口,抽气口连接有真空泵,真空泵与抽气口之间设有外置阀门,真空压力监测装置的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。优选的,所述电机轴对应密封圈的一端设有与密封圈相匹配的燕尾槽,密封圈固定在燕尾槽内,确保密封圈放置后不会脱落。优选的,所述气孔为“十”字形结构,所述气孔的顶部与密封圈的内腔相连通,气孔的两侧与所述真空外罩相连通。优选的,所述电机轴位于真空外罩的上下的贯穿孔上均固定设有轴封,轴封确保真空外罩的气密性。优选的,所述电机采用高速无刷电机。优选的,所述真空压力监测装置内设有报警装置,真空压力监测装置监测真空外罩内的压力没达到所需压力时,吸力 ...
【技术保护点】
1.一种旋涂仪真空吸盘装置,包括真空外罩(5),其特征在于,所述真空外罩(5)上贯穿设有电机轴(2),电机轴(2)的轴线上设有气孔(21),所述电机轴(2)的一端固定连接在电机(1)的输出端上,另一端固定连接有密封圈(6),密封圈(6)上吸固有样品(7),所述真空外罩(5)的两侧分别设有通孔,其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置(4),另一侧通孔连接有抽气口(8),抽气口(8)连接有真空泵,真空泵与抽气口(8)之间设有外置阀门,真空压力监测装置(4)的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。
【技术特征摘要】
1.一种旋涂仪真空吸盘装置,包括真空外罩(5),其特征在于,所述真空外罩(5)上贯穿设有电机轴(2),电机轴(2)的轴线上设有气孔(21),所述电机轴(2)的一端固定连接在电机(1)的输出端上,另一端固定连接有密封圈(6),密封圈(6)上吸固有样品(7),所述真空外罩(5)的两侧分别设有通孔,其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置(4),另一侧通孔连接有抽气口(8),抽气口(8)连接有真空泵,真空泵与抽气口(8)之间设有外置阀门,真空压力监测装置(4)的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。2.根据权利要求1所述的一种旋涂仪真空吸盘装置,其特征在于,所述电机轴(2)对应密封圈(6)的一端设有与密封圈(6)相匹配的燕尾槽,密封圈(6)固定在燕尾槽内,确保密封圈6放置后不会脱落。3...
【专利技术属性】
技术研发人员:周焱文,
申请(专利权)人:武汉普迪真空科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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