一种旋涂仪真空吸盘装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及旋涂设备技术领域，尤其是一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩，所述真空外罩上贯穿设有电机轴，电机轴的轴线上设有气孔，所述电机轴的一端固定连接在电机的输出端上，另一端固定连接有密封圈，密封圈上吸固有样品，所述真空外罩的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置，另一侧通孔连接有抽气口。本发配备真空压力监测装置，当真空吸力不足时自动报警并切断电机旋转信号，采用全新的真空吸盘气路连接方式及真空压力监测，可有效解决旋涂仪在工作中发生甩片的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种旋涂仪真空吸盘装置
本专利技术涉及旋涂设备
，尤其涉及一种旋涂仪真空吸盘装置。
技术介绍
旋涂技术是旋转涂抹法的简称，是有机发光二极管中常用的制备方法，主要有设备为旋涂仪。工作过程包括:配料，高速旋转，挥发成膜三个步骤，通过控制旋涂的时间，转速，滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。目前大多数厂家均采用真空吸盘固定样品进行旋涂，但经常会因为种种原因导致甩片并使胶料被真空泵吸入，从而损害真空泵。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种旋涂仪真空吸盘装置。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：设计一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩，所述真空外罩上贯穿设有电机轴，电机轴的轴线上设有气孔，所述电机轴的一端固定连接在电机的输出端上，另一端固定连接有密封圈，密封圈上吸固有样品，所述真空外罩的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置，另一侧通孔连接有抽气口，抽气口连接有真空泵，真空泵与抽气口之间设有外置阀门，真空压力监测装置的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。优选的，所述电机轴对应密封圈的一端设有与密封圈相匹配的燕本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩(5)，其特征在于，所述真空外罩(5)上贯穿设有电机轴(2)，电机轴(2)的轴线上设有气孔(21)，所述电机轴(2)的一端固定连接在电机(1)的输出端上，另一端固定连接有密封圈(6)，密封圈(6)上吸固有样品(7)，所述真空外罩(5)的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置(4)，另一侧通孔连接有抽气口(8)，抽气口(8)连接有真空泵，真空泵与抽气口(8)之间设有外置阀门，真空压力监测装置(4)的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。

【技术特征摘要】
1.一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩(5)，其特征在于，所述真空外罩(5)上贯穿设有电机轴(2)，电机轴(2)的轴线上设有气孔(21)，所述电机轴(2)的一端固定连接在电机(1)的输出端上，另一端固定连接有密封圈(6)，密封圈(6)上吸固有样品(7)，所述真空外罩(5)的两侧分别设有通孔，其中一侧通孔固定连接有真空压力监测装置(4)，另一侧通孔连接有抽气口(8)，抽气口(8)连接有真空泵，真空泵与抽气口(8)之间设有外置阀门，真空压力监测装置(4)的控制输出端与电机(1)和外置阀门相连。2.根据权利要求1所述的一种旋涂仪真空吸盘装置，其特征在于，所述电机轴(2)对应密封圈(6)的一端设有与密封圈(6)相匹配的燕尾槽，密封圈(6)固定在燕尾槽内，确保密封圈6放置后不会脱落。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：周焱文，
申请(专利权)人：武汉普迪真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42