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本发明涉及旋涂设备技术领域，尤其是一种旋涂仪真空吸盘装置，包括真空外罩，所述真空外罩上贯穿设有电机轴，电机轴的轴线上设有气孔，所述电机轴的一端固定连接在电机的输出端上，另一端固定连接有密封圈，密封圈上吸固有样品，所述真空外罩的两侧分别设有通...
该专利属于武汉普迪真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉普迪真空科技有限公司授权不得商用。

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