【技术实现步骤摘要】
一种声质点振速传感器的制备方法
本专利技术涉及传感器领域,尤其涉及一种声质点振速传感器的制备方法。
技术介绍
声音是空气媒介的质点振动传播,一般使用声压、声质点振速和声阻抗三个物理量描述声场特性。就目前而言,测量声压比较容易实现,相关传感器也日趋成熟,所以声压已成为人们最为普遍采用的描述声波性质的物理量。但是,由于声质点振速物理量的测量手段缺乏,声学测量能力受限。对微米尺度的两根平行金属丝通以电流加热周围空气,声波引起的空气质点振动导致细丝温度的周期性变化,进而可以检测空气声质点振动,将这种热线式的风速传感器制作成微纳米尺度器件,能够作为声波传感器使用。但是,声波具有一定的频率,其扰动方向和大小随时间快速变化。目前制备这样的器件均采用传统半导体加工手段,在硅基底上通过镀膜光刻以及刻蚀等手段制备出两条悬空的金属线,金属线受到较厚的氮化硅支撑,连接于两侧硅基。对于利用这种工艺制备得到的传感器,一方面,较厚的氮化硅带来的热容使得传感器灵敏度随频率升高而衰减,另一方面,两侧的硅基的冷边界条件也影响了传感器的性能。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种声质点振速传感器的制备方法,该方法更加简单高效。为达上述目的,本专利技术采用的技术方案如下:一种声质点振速传感器的制备方法,包括如下步骤:(1)配制金属溶液,将金属溶液吸入吸液管中;(2)将吸液管固定在纳米位移平台上,吸液管针头的下方放置基底;(3)纳米位移平台控制吸液管以恒定速度垂直向上抬起一定距离,停留一段时间,在基底表面形成金属液滴;(4)纳米位移平台继续控制吸液管水平运动,形成直径为纳米尺度的金属细丝;位移平台 ...
【技术保护点】
1.一种声质点振速传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)配制金属溶液,将金属溶液吸入吸液管中;(2)将吸液管固定在纳米位移平台上,吸液管针头的下方放置基底;(3)纳米位移平台控制吸液管以恒定速度垂直向上抬起一定距离,停留一段时间,在基底表面形成金属液滴;(4)纳米位移平台继续控制吸液管水平运动,形成直径为纳米尺度的金属细丝;位移平台停止后在基底表面形成第二个金属液滴,所述金属细线悬空在两个金属液滴之间;(5)将基底与吸液管脱离,再重复步骤(3)至(4)制备另外一条平行的悬空金属细丝,最后进行高温处理。
【技术特征摘要】
1.一种声质点振速传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)配制金属溶液,将金属溶液吸入吸液管中;(2)将吸液管固定在纳米位移平台上,吸液管针头的下方放置基底;(3)纳米位移平台控制吸液管以恒定速度垂直向上抬起一定距离,停留一段时间,在基底表面形成金属液滴;(4)纳米位移平台继续控制吸液管水平运动,形成直径为纳米尺度的金属细丝;位移平台停止后在基底表面形成第二个金属液滴,所述金属细线悬空在两个金属液滴之间;(5)将基底与吸液管脱离,再重复步骤(...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙娜,许相园,鲍明,卢明辉,
申请(专利权)人:南京粒子声学科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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