一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及设备检测技术领域，具体涉及一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。其中，电磁式检测装置包括，用于承载被传送物体并具有导磁性的载具；在传输方向运送所述载具的传输装置；设置在所述传输装置的传输路径上的电磁线圈，并可供载具和所述被传送物体穿过；用于检测所述载具穿过电磁线圈时产生磁场强度的传感器；与磁场强度传感器连接的处理器，其用于根据所述磁场强度传感器检测到的磁场强度的大小确定所述载具的位置信息。采用磁场强度信号的方式来监测被检测部件的位置信号，相比较传统手段非常难被损坏，磁场强度式监测不易受镀膜腔室大量粉尘的影响，信号稳定，维护简单。

【技术实现步骤摘要】
一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统
本专利技术涉及设备检测
，具体涉及一种电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。
技术介绍
CIGS太阳能电池薄膜，由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶太阳能电池薄膜，其可采用共蒸发系统进行进行制备。其具有光吸收能力强，发电稳定性好、转化效率高，白天发电时间长、发电量高、生产成本低以及能源回收周期短等优点。现有的CIGS镀膜系统一般采用交替溅射的方法或者共蒸发法制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池预置层。在镀膜系统中为了获取待镀膜件(玻璃)的位置，现有技术中会采用光电传感器进行检测。而现有的光电传感器组件通过石英棒传输光电信号，其存在以下缺陷：1.石英棒在镀膜腔室内容易受杂质干扰，杂质附着在石英棒表面容易干扰对射信号，随着生产进行，石英棒末端逐渐被CIGS粉尘附着，透光率下降，造成信号不稳定甚至信号异常；2.光电信号在镀膜环境的影响，需要定期清理发生装置；3.石英结构容易受损，破碎后需要更换，产生大量备件。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中光电传感器组件的缺陷，从而提供电磁式检测装置、检测方法及镀膜系统。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案如下：本专利技术提供了一种电磁式检测装置，包括：载具，用于承载被传送物体；所述载具具有导磁性；传输装置，其在传输方向运送所述载具；电磁线圈，其设置在所述传输装置的传输路径上，并可供所述载具和所述被传送物体穿过；磁场强度传感器，用于检测所述载具穿过电磁线圈时产生的磁场强度；处理器，与所述磁场强度传感器连接，用于根据所述磁场强度传感器检测到的磁场强度的大小确定所述载具的位置信息。上述电磁式检测装置中，所述电磁线圈由一根线材螺旋盘绕而成，且所述线材的两端分别与直流电源连接。上述电磁式检测装置中，所述电磁线圈的中部设有传送通道，所述传送通道的方向与所述传输装置的传输方向一致，用于供所述载具和所述被传送物体穿过。上述电磁式检测装置中，所述磁场强度传感器为磁通量传感器。上述电磁式检测装置中，所述载具中设有导磁材料，且所述载具在沿所述载具的传输方向上的不同的位置处的导磁性能不同。上述电磁式检测装置中，所述载具包括：纵梁，所述纵梁的长度方向平行于所述载具的传输方向，且所述纵梁的数量为多根，多根所述纵梁沿垂直于所述载具的传输方向的方向间隔设置；横梁，所述横梁垂直于所述纵梁连接在多根所述纵梁之间，且所述导磁材料设于所述横梁内。进一步地，所述横梁的数量为多根，多根所述横梁沿所述载具的传输方向间隔设置，各根所述横梁内的导磁材料相同。作为优选，各根所述横量内的导磁材料的重量不同。本专利技术还提供一种镀膜系统，其特征在于，具有上述的电磁式检测装置。本专利技术还提供一种采用上述的电磁式检测装置的检测方法，包括，接收所述磁场强度传感器检测的磁场强度信息；根据预先存储的磁场强度信息与载具的位置信息的关系，确定所述载具的实时位置信息。本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的电磁式检测装置，采用磁场强度信号的方式来监测被检测部件的位置信号，采用电磁线圈替代了易碎的石英传导部件，相比较传统手段非常难被损坏。磁场强度式监测不易受镀膜腔室大量粉尘的影响，信号稳定，维护简单。2.本专利技术提供的电磁式检测装置，在载具的横梁内分别埋入金属芯，当载具的横梁经过通电螺线管时，线圈内部的“铁芯”截面积最大，对磁通量产生的影响也最大，可以在感应过程中区分出载具的特征部位，若在三处横梁分别埋入不同质量的铁芯，可更明显区分出三处的不同信号，从而可以确定出载具的具体通过位置。3.本专利技术提供的检测方法以及镀膜系统，采用电磁式检测装置，对电磁线圈通电，被检测部件朝向所述电磁线圈运动，引起磁通量状态变化，从而由磁场强度传感器检测磁场强度，并依此判断被检测部件所处的位置。从而在镀膜系统出现故障或需要获取载具位置时，可以随时定位载具位置。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例1中提供的电磁式检测装置的主视图；图2为本专利技术实施例1中提供的电磁式检测装置的俯视图；图3为本专利技术实施例1中提供的电磁式检测装置的右视图。附图标记说明：1-镀膜设备；2-传输装置；3-金属载具；11-内部空间；51-电磁线圈；52-直流电源；61-磁场强度传感器；62-处理器。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。实施例1如图1-3所示，本实施例提供了一种电磁式检测装置，包括：载具3，用于承载被传送物体；所述载具3具有导磁性；传输装置2，其在传输方向运送所述载具3；电磁线圈51，其设置在所述传输装置2的传输路径上，并可供所述载具3和所述被传送物体穿过；磁场强度传感器61，用于检测所述载具3穿过电磁线圈51时产生的磁场强度；处理器62，与所述磁场强度传感器61连接，用于根据所述磁场强度传感器61检测到的磁场强度的大小确定所述载具3的位置信息。本实施例提供的电磁式检测装置，承载着被传送物体的载具3由传输装置2在传输方向上进行输送。上述被传送物体可以是玻璃，然而并非限制本专利技术，该传送物体还可以是任意片材。上述承载着被传送物体的载具3穿过设置在传输路径上的电磁线圈51，因为载具具有导磁性，因此载具在穿过电磁线圈51的过程中，充当金属芯，能够起到整合磁感线和导通磁场的作用，并随着移动位置的变化，即随之会导致螺线圈周围的磁感应强度的变化。而本专利技术实施例中设置的磁场强度传感器，能够检测螺线圈周围的磁感应强度，即能够检测随载具位置的变化而产生的变化的磁感应强度数据，并能够将检测得到的磁感应强度数据传输给处理器62，进而处理器62可以根据磁感应强度的数据对应得到载具的位置。本实施例提供的电磁式检测装置，采用磁场强度信号的方式来监测被检测部件的位置信号，采用电磁线圈替代了易碎的石英传导部件，相比较传统手段非常难被损坏。磁场强度式监测不易受镀膜腔室大量粉尘的影响，信号稳定，维护简单。在本实施例中，所述电磁线圈51由一根线材螺旋盘绕而成，且所述线材的两端分别与直流电源52连接。在本实施例中，所述磁场强度传感器61为磁通量传感器。电磁线圈直流电源52，采用约100-500W额定功率的小型开关电源装置，该电源作为磁感线圈的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电磁式检测装置，其特征在于，包括：载具(3)，用于承载被传送物体；所述载具具有导磁性；传输装置(2)，其在传输方向运送所述载具(3)；电磁线圈(51)，其设置在所述传输装置(2)的传输路径上，并可供所述载具(3)和所述被传送物体穿过；磁场强度传感器(61)，用于检测所述载具(3)穿过电磁线圈(51)时产生的磁场强度；处理器(62)，与所述磁场强度传感器(61)连接，用于根据所述磁场强度传感器(61)检测到的磁场强度的大小确定所述载具(3)的位置信息。

【技术特征摘要】
1.一种电磁式检测装置，其特征在于，包括：载具(3)，用于承载被传送物体；所述载具具有导磁性；传输装置(2)，其在传输方向运送所述载具(3)；电磁线圈(51)，其设置在所述传输装置(2)的传输路径上，并可供所述载具(3)和所述被传送物体穿过；磁场强度传感器(61)，用于检测所述载具(3)穿过电磁线圈(51)时产生的磁场强度；处理器(62)，与所述磁场强度传感器(61)连接，用于根据所述磁场强度传感器(61)检测到的磁场强度的大小确定所述载具(3)的位置信息。2.根据权利要求1所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述电磁线圈(51)由一根线材螺旋盘绕而成，且所述线材的两端分别与直流电源(52)连接。3.根据权利要求2所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述电磁线圈的中部设有传送通道，所述传送通道的方向与所述传输装置的传输方向一致，用于供所述载具(3)和所述被传送物体穿过。4.根据权利要求2所述的电磁式检测装置，其特征在于，所述磁场强度传感器为磁通量传感器。5.根据权利要求2所述的电磁式检测装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐义，荆鸣翔，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11