一种组合式铸铁研磨盘制造技术

本发明专利技术提供一种组合式铸铁研磨盘，包括研磨盘安装座、若干研磨盘块以及若干螺丝，若干研磨盘块安装在研磨盘安装座上，研磨盘安装座呈圆盘状结构，研磨盘安装座上分布有若干通孔，研磨盘块每块呈扇形结构，若干块研磨盘块紧密环绕围绕成圆环体结构，研磨盘块的下表面设有若干固定孔，螺丝穿过研磨盘安装座上的通孔与研磨盘块上的固定孔固定连接。本发明专利技术摒弃传统的一体式研磨盘，研发一种新型组合式研磨盘，将若干研磨盘块固定在研磨盘安装座上，形成组合式铸铁研磨盘，减少铸件尺寸，使得铸造难度大幅降低，同时在生产过程中，如发现有缺陷的研磨盘块，只需更换有缺陷的研磨盘块，无需更换整个研磨盘，便于后期维护，降低维护成本。

A Combined Cast Iron Grinding Disk

The invention provides a combined cast iron grinding disc, which comprises a grinding disc mounting seat, a number of grinding disc blocks and a number of screws. Several grinding disc blocks are mounted on the grinding disc mounting seat. The grinding disc mounting seat has a disc-like structure. Several through holes are distributed on the grinding disc mounting seat. Each grinding disc block has a fan-shaped structure. Several grinding disc blocks are closely surrounded by a circular structure. The lower surface of the grinding disc block is provided with several fixed holes. The screw passes through the through hole on the grinding disc mounting seat and is fixed to connect with the fixed hole on the grinding disc block. The invention abandons the traditional one-in-one grinding disc, develops a new type of combined grinding disc, fixes several grinding disc blocks on the installation seat of the grinding disc, forms a combined cast iron grinding disc, reduces the size of castings, and greatly reduces the casting difficulty. At the same time, in the production process, if defective grinding disc blocks are found, only defective grinding disc blocks need to be replaced, without replacing the whole grinding disc block. Abrasive disc, easy to maintain later, reduce maintenance costs.

【技术实现步骤摘要】
一种组合式铸铁研磨盘
本专利技术涉及半导体
，具体地讲，本专利技术涉及一种组合式铸铁研磨盘。
技术介绍
在半导体晶片双面研磨加工工艺中，需要使用铸铁研磨盘对半导体晶片进行研磨加工，如图1所示，传统的铸铁研磨盘是一体式的铸铁研磨盘。在实际生产加工过程中，现有的一体式的铸铁研磨盘存在如下缺陷：1、为了避免和减少研磨过程中对半导体晶片表面造成的划伤，铸铁研磨盘不能有夹砂、气孔、硬度不均匀等缺陷；然而，由于铸铁产品加工制造工艺的特殊性，尺寸越大的铸铁件其缺陷控制难度越大，以至其制造门槛较高；2、一体式的铸铁研磨盘由于成品率低下从而导致了一体式铸铁研磨盘成本较高；3、一体式铸铁研磨盘在有效使用层使用完毕后，残留部分将不能使用，导致较大浪费，直接影响半导体晶片制造成本。为解决上述问题，本专利技术提供了一种组合式铸铁研磨盘，摒弃传统的一体式研磨盘，研发一种新型组合式研磨盘，降低铸造工艺的难度和铸造成本。
技术实现思路
为了解决现有技术的问题，本专利技术提供了一种组合式铸铁研磨盘，摒弃传统的一体式研磨盘，研发一种新型组合式研磨盘，降低铸造工艺的难度和铸造成本。本专利技术专利提供了一种组合式铸铁研磨盘，包括研磨盘安装座、若干研磨盘块以及若干螺丝，若干研磨盘块安装在所述研磨盘安装座上，所述研磨盘安装座呈圆盘状结构，所述研磨盘安装座上分布有若干通孔，所述研磨盘块每块呈扇形结构，若干块研磨盘块紧密环绕围绕成圆环体结构，所述研磨盘块的下表面设有若干固定孔，所述螺丝穿过所述研磨盘安装座上的通孔与所述研磨盘块上的固定孔固定连接。优选的，各所述研磨盘块形状均为扇形结构，各所述研磨盘块的大小一致。优选的，所述研磨盘块的下表面设有六个固定孔。优选的，所述研磨盘安装座上分布有六个相应位置的通孔。优选的，所述固定孔的内壁上分布有与所述螺丝外螺纹相配合的内螺纹。优选的，各所述研磨盘块上分布有若干环形沟槽。本专利技术提供的技术方案带来的有益效果是：1、本专利技术提供的组合式铸铁研磨盘，摒弃传统的一体式研磨盘，研发一种新型组合式研磨盘，将若干研磨盘块固定在研磨盘安装座上，形成组合式铸铁研磨盘；2、本专利技术在控制铸件品质时，只需控制各个研磨盘块的铸件品质，大幅减少铸件尺寸，使得铸造难度大幅降低，降低加工门槛；3、在生产过程中，如发现有缺陷的研磨盘块，只需更换有缺陷的研磨盘块，无需更换整个研磨盘，便于后期维护，降低维护成本，同时研磨盘安装座可循环使用，减少材料浪费，有利于控制成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术专利中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是现有的一体式铸铁研磨盘的结构示意图；图2是本专利技术中研磨盘块的结构示意图；图3是本专利技术中研磨盘安装座的结构示意图；图4是本专利技术中组合式铸铁研磨盘的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容作进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。其次，本专利技术利用示意图进行了详细的表述，在详述本专利技术实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本专利技术的限定。上述及其它技术特征和有益效果，将结合实施例及附图对本专利技术的组合式铸铁研磨盘进行详细说明。如图所示，图2是本专利技术中研磨盘块的结构示意图；图3是本专利技术中研磨盘安装座的结构示意图；图4是本专利技术中组合式铸铁研磨盘的结构示意图。如图2-4所示，本专利技术提供一种组合式铸铁研磨盘，包括研磨盘安装座20、若干研磨盘块10以及若干螺丝30，若干研磨盘块10安装在研磨盘安装座20上。本专利技术提供的组合式铸铁研磨盘，摒弃传统的一体式研磨盘，研发一种新型组合式研磨盘，将若干研磨盘块固定在研磨盘安装座上，形成组合式铸铁研磨盘。如图2所示，各研磨盘块10均为扇形体结构，各研磨盘块10的大小一致，每块呈扇形体结构，若干块研磨盘块10紧密环绕围绕成圆环体结构，研磨盘块10的下表面设有六个固定孔；其中，固定孔的深度占研磨盘块10厚度的二分之一；此外，本实施例中的各研磨盘块10上分布有若干环形沟槽。如图3所示，研磨盘安装座20呈圆盘状结构，研磨盘安装座20上分布有若干通孔，研磨盘安装座20上分布有六个相应位置的通孔，通孔的内壁上分布有与螺丝30外螺纹相配合的内螺纹。如图4所示，本实施例中，螺丝30穿过研磨盘安装座20上的通孔与研磨盘块10上的固定孔固定连接；其中，固定孔的内壁上分布有与螺丝外螺纹相配合的内螺纹。综上所述，本专利技术在控制铸件品质时，只需控制各个研磨盘块的铸件品质，大幅减少铸件尺寸，使得铸造难度大幅降低，降低加工门槛；此外，在生产过程中，如发现有缺陷的研磨盘块，只需更换有缺陷的研磨盘块，无需更换整个研磨盘，便于后期维护，降低维护成本，同时研磨盘安装座可循环使用，减少材料浪费，有利于控制成本。虽然本专利技术主要描述了以上实施例，但是只是作为实例来加以描述，而本专利技术并不限于此。本领域普通技术人员能做出多种变型和应用而不脱离实施例的实质特性。例如，对实施例详示的每个部件都可以修改和运行，与所述变型和应用相关的差异可认为包括在所附权利要求所限定的本专利技术的保护范围内。本说明书中所涉及的实施例，其含义是结合该实施例描述的特地特征、结构或特性包括在本专利技术的至少一个实施例中。说明书中出现于各处的这些术语不一定都涉及同一实施例。此外，当结合任一实施例描述特定特征、结构或特性时，都认为其落入本领域普通技术人员结合其他实施例就可以实现的这些特定特征、结构或特性的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种组合式铸铁研磨盘，其特征在于，包括研磨盘安装座、若干研磨盘块以及若干螺丝，若干研磨盘块安装在所述研磨盘安装座上，所述研磨盘安装座呈圆盘状结构，所述研磨盘安装座上分布有若干通孔，所述研磨盘块每块呈扇形结构，若干块研磨盘块紧密环绕围绕成圆环体结构，所述研磨盘块的下表面设有若干固定孔，所述螺丝穿过所述研磨盘安装座上的通孔与所述研磨盘块上的固定孔固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种组合式铸铁研磨盘，其特征在于，包括研磨盘安装座、若干研磨盘块以及若干螺丝，若干研磨盘块安装在所述研磨盘安装座上，所述研磨盘安装座呈圆盘状结构，所述研磨盘安装座上分布有若干通孔，所述研磨盘块每块呈扇形结构，若干块研磨盘块紧密环绕围绕成圆环体结构，所述研磨盘块的下表面设有若干固定孔，所述螺丝穿过所述研磨盘安装座上的通孔与所述研磨盘块上的固定孔固定连接。2.根据权利要求1所述的组合式铸铁研磨盘，其特征在于，各所述研磨盘块...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永成，
申请(专利权)人：上海致领半导体科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31