The invention provides a cleaning device and a spraying device adopting the cleaning device. The advantages of the invention are that the nozzle of the spraying device is cleaned by the cleaning device, which can effectively remove the residual light resistance and avoid the blockage of the nozzle.
【技术实现步骤摘要】
清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置
本专利技术涉及显示装置制备领域，尤其涉及一种清洁装置及采用该清洁装置的喷淋装置。
技术介绍
近来，随着社会步入信息导向社会，处理和显示大量信息的显示领域正在迅速发展，并且相应地，各种平板显示(FPD)装置已经研发出并且吸引了大量注意。FPD装置的示例包括LCD装置、等离子体显示面板(PDP)装置、场发射显示(FED)装置、电致发光显示(ELD)装置、有机发光二极管(OLED)显示装置等。FPD装置具有例如薄、轻、低功耗等优良性能，因此，FPD装置的应用领域不断扩大。特别是在大多数电子装置或移动装置中，FPD装置被用作一种用户接口。在各种平板显示(FPD)装置的制备过程中，通常需要通过光阻曝光、显影的方法制备基本结构。举例说明，基板经涂布前清洗及干燥后被传送至涂布装置处进行光阻涂布；涂布完成后，涂布有光阻的基板被传送至曝光装置处进行曝光，曝光后的基板再被传送至显影装置处进行显影，在基板上形成掩膜。其中在显影工艺中，显影液与曝光过的光阻进行化学反应，进而将所述光阻洗掉。由于显影液(TMAH)成本较高，为保证显影液能够重复利用，目前是...
【技术保护点】
1.一种清洁装置，其特征在于，包括一支架、一驱动件及一滑片，所述驱动件固定在所述支架上，所述滑片能够延伸进入一欲清洁的装置的内部，所述驱动件与所述滑片连接，以驱动所述滑片在所述欲清洁的装置内移动。
【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，其特征在于，包括一支架、一驱动件及一滑片，所述驱动件固定在所述支架上，所述滑片能够延伸进入一欲清洁的装置的内部，所述驱动件与所述滑片连接，以驱动所述滑片在所述欲清洁的装置内移动。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括一滑轨及一滑块，所述滑轨与所述支架连接或者与所述欲清洁的装置连接，所述滑轨沿所述滑片的移动方向延伸，所述滑块与所述滑片连接，且所述滑块沿所述滑轨移动以带动所述滑片沿所述滑轨移动。3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支架为一可升降支架。4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括一限位装置，其设置在所述滑片滑行的起始端及终端，以限定所述滑片的移动位置。5.一种喷淋装置，其特征在于，包括一喷嘴及一如权利要求1所述的清洁装置，所述滑片插入所述喷嘴内，且在所述喷嘴内，所述滑片能够沿所述喷嘴的长度方向移动。6.根据权利要求5所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏凡，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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