用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统。该系统包括传输线、喷淋槽、喷淋组件、清洗槽、第一超声波组件、乳酸脱胶槽、第二超声波组件、过滤组件以及控制系统。上述系统中，硅片通过传输线可依次进入喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽。喷淋槽和清洗槽可通过喷淋组件和超声波组件将硅片上大量的硅粉等污染物清除。乳酸脱胶槽用于将硅片上的残留胶去除。过滤组件可将使用后的废水回收利用。上述系统结构简单，使用的槽体数量少，有利于降低耗水量。而且，在去除硅片上的残留胶的同时，还可回收利用废水。上述各方面因素使得该系统耗水量较低。

Degumming system for boiling glue on silicon wafer

The utility model relates to a degumming system for boiling glue on silicon wafer. The system includes transmission line, spray tank, spray module, cleaning tank, first ultrasonic module, lactic acid degumming tank, second ultrasonic module, filter module and control system. In the above system, the silicon wafer can enter the spray tank, the cleaning tank and the lactic acid degumming tank in turn through the transmission line. The spray tank and the cleaning tank can remove a large amount of silicon powder and other pollutants on the silicon wafer through the spray module and the ultrasonic module. Lactic acid degumming tank is used to remove residual glue from silicon wafer. The filter assembly can recycle the used wastewater. The system has the advantages of simple structure, small number of troughs used, and is conducive to reducing water consumption. Moreover, the waste water can be recycled while removing the residual glue on the silicon wafer. All these factors make the water consumption of the system low.

【技术实现步骤摘要】
用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统
本技术涉及硅片制造领域，特别是涉及用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统。
技术介绍
目前，光伏切片环节普遍使用金刚线来切割晶硅棒。在使用金刚线进行切割前，需要将晶硅棒通过胶水粘在树脂板上，以使硅棒的位置固定。切割后需要将硅片与胶水分离。传统的胶水与硅片分离时比较困难。为此，现一般改用水煮胶来将晶硅棒粘在树脂板上。但现有的脱胶系统不太适合对水煮胶进行脱胶，且脱胶过程耗水量较大。
技术实现思路
基于此，有必要针对脱胶过程耗水量较大的问题，提供一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统。一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统，包括：传输线；喷淋槽，所述喷淋槽设于所述传输线上；喷淋组件，所述喷淋组件设置在喷淋槽内部；清洗槽，所述清洗槽设于所述传输线上；第一超声波组件，所述第一超声波组件设于所述清洗槽，用于使所述清洗槽内的液体产生振动；乳酸脱胶槽，所述乳酸脱胶槽设于所述传输线上；第二超声波组件，所述第二超声波组件设于所述乳酸脱胶槽，用于使乳酸脱胶槽内的液体产生振动；过滤组件，所述过滤组件用于对喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽流出的液体进行过滤；控制系统，所述控制系统用于控制所述传输线、喷林组件、第一超声波组件、第二超声波组件和过滤组件的运转。上述系统中，硅片通过传输线可依次进入喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽。喷淋槽和清洗槽主要是将硅片上大量的硅粉等污染物清除。乳酸脱胶槽主要是用于将硅片上的残留胶去除。过滤组件可将使用后的废水回收利用。上述系统结构简单，使用的槽体数量少，有利于降低耗水量。而且，在去除硅片上的残留胶的同时，还可回收利用废水。上述各方面因素使得该系统耗水量较低。在其中一个实施例中，所述过滤组件包括：第一过滤组件，所述第一过滤组件包括第一废水管网和布袋式过滤器，所述第一废水管网的入口端分别与所述喷淋槽和所述清洗槽相连，所述布袋式过滤器与所述废水管网的出口端相连；第二过滤组件，所述第二过滤组件包括第二废水管网和陶瓷膜过滤器，所述第二废水管网的入口端与所述乳酸脱胶槽相连，所述陶瓷膜过滤器与所述第二废水管网的出口端相连。在其中一个实施例中，所述第二过滤组件还包括水泵，所述水泵设置在所述陶瓷膜过滤器和所述乳酸脱胶槽之间，用于将所述陶瓷膜过滤器过滤后的水输送给所述乳酸脱胶槽。在其中一个实施例中，所述第一超声波组件包括：振动板，所述振动板设于所述清洗槽；超声波发生器，所述超声波发生器与所述振动板电连接。在其中一个实施例中，所述清洗槽的侧壁以及底板上分别设置有所述振动板。在其中一个实施例中，所述第二超声波组件包括：振动板，所述振动板设于所述乳酸脱胶槽；超声波发生器，所述超声波发生器与所述振动板电连接。在其中一个实施例中，所述乳酸脱胶槽的侧壁以及底板上分别设置有所述振动板。在其中一个实施例中，所述乳酸脱胶槽的数量为两个。在其中一个实施例中，所述喷淋组件包括：喷淋管，所述喷淋管设于所述喷淋槽的侧壁，所述喷淋管上设置有若干喷孔。在其中一个实施例中，所述喷淋组件还包括：旋转组件，所述旋转组件与所述喷淋管相连，所述旋转组件用于驱动所述喷淋管以喷淋管的轴向为转动轴向进行转动。附图说明图1为本技术的实施例的用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统的结构示意图；图2为本技术的实施例的喷淋槽的俯视图；图3为本技术的实施例的清洗槽的结构示意图；图4为本技术的实施例的乳酸脱胶槽的结构示意图。其中：100、用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统110、传输线120、喷淋槽130、清洗槽140、吊篮150、过滤组件151、第一过滤组件151a、第一废水管网151b、布袋式过滤器152、第二过滤组件152a、水泵152b、第二废水管网152c、陶瓷膜过滤器160、乳酸脱胶槽170旋转组件180、喷淋组件190a、第一超声波组件190b、第二超声波组件具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1至图4所示，本技术的实施例的用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统100包括传输线110、喷淋槽120、喷淋组件180、清洗槽130、第一超声波组件190a、乳酸脱胶槽160、第二超声波组件190b、过滤组件150以及控制系统。上述系统中，硅片通过传输线110可依次进入喷淋槽120、清洗槽130和乳酸脱胶槽160。喷淋槽120和清洗槽130可通过喷淋组件180和超声波组件将硅片上大量的硅粉等污染物清除。乳酸脱胶槽160用于将硅片上的残留胶去除。过滤组件150可将使用后的废水回收利用。上述系统结构简单，使用的槽体数量少，有利于降低耗水量。而且，在去除硅片上的残留胶的同时，还可回收利用废水。上述各方面因素使得该系统耗水量较低。本实施例中，传输线110可以是机械手或带有升降机构的运输车等。例如，传输线110为三轴机械手，其可设置在各个槽体的上方。上述三轴机械手可包括x方向移动机构、y方向移动机构和z方向移动机构。这样，三轴机械手可实现在立体空间三个方向上的移动。各个移动机构可以是滑轨式移动机构或同步带式移动机构等。移动机构的驱动件可以是电机或气缸等。电机可以是伺服电机等。上述机械手设置有拾取机构。拾取机构可为机械夹爪等机构。上述机械夹爪可通过气缸等机构驱动。上述机械夹爪可夹取吊篮140。吊篮140里可放置硅片。这样，通过x方向移动机构和y方向移动机构可实现硅片在平面内的移动。通过z方向移动机构可实现硅片在竖直方向上的移动。上述这种设置方式有利于灵活调整硅片在各个槽体内的位置。本实施例中，喷淋槽120可以为一个槽体。其可包括侧壁和底板。具体尺寸可根据实际需要的处理能力进行设定。在槽体上可设置出水口。出水口用于将槽体内的污水排出。喷淋槽120内对硅片喷射的水可为热水。上述热水可通过辅助槽供给。具体为，在喷淋槽120的一侧设置一个辅助槽，辅助槽上设置加热装置和控温装置。且辅助槽设置有进水口和出水口。这样，辅助槽内恒温的热水可供给喷淋槽120内的喷淋组件180使用。本实施例中，喷淋组件180的实施方式有多种。例如，喷淋组件180可为喷淋管，喷淋管上设置有多个喷孔。可以理解的是，在喷淋管上也可以设置多个喷嘴。使用时，喷淋管可外接水源。例如，喷淋管的一端可通过水泵外接上述辅助槽。水泵可将辅助槽内的水注入喷淋管，进而通过喷孔可喷射出水柱。通过水柱可对硅片表面进行清洗。具体的，喷淋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统，其特征在于，包括：传输线；喷淋槽，所述喷淋槽设于所述传输线上；喷淋组件，所述喷淋组件设置在所述喷淋槽内部；清洗槽，所述清洗槽设于所述传输线上；第一超声波组件，所述第一超声波组件设于所述清洗槽，用于使所述清洗槽内的液体产生振动；乳酸脱胶槽，所述乳酸脱胶槽设于所述传输线上；第二超声波组件，所述第二超声波组件设于所述乳酸脱胶槽，用于使乳酸脱胶槽内的液体产生振动；过滤组件，所述过滤组件用于对喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽流出的液体进行过滤；控制系统，所述控制系统用于控制所述传输线、喷林组件、第一超声波组件、第二超声波组件和过滤组件的运转。

【技术特征摘要】
1.一种用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统，其特征在于，包括：传输线；喷淋槽，所述喷淋槽设于所述传输线上；喷淋组件，所述喷淋组件设置在所述喷淋槽内部；清洗槽，所述清洗槽设于所述传输线上；第一超声波组件，所述第一超声波组件设于所述清洗槽，用于使所述清洗槽内的液体产生振动；乳酸脱胶槽，所述乳酸脱胶槽设于所述传输线上；第二超声波组件，所述第二超声波组件设于所述乳酸脱胶槽，用于使乳酸脱胶槽内的液体产生振动；过滤组件，所述过滤组件用于对喷淋槽、清洗槽和乳酸脱胶槽流出的液体进行过滤；控制系统，所述控制系统用于控制所述传输线、喷林组件、第一超声波组件、第二超声波组件和过滤组件的运转。2.根据权利要求1所述的用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统，其特征在于，所述过滤组件包括：第一过滤组件，所述第一过滤组件包括第一废水管网和布袋式过滤器，所述第一废水管网的入口端分别与所述喷淋槽和所述清洗槽相连，所述布袋式过滤器与所述废水管网的出口端相连；第二过滤组件，所述第二过滤组件包括第二废水管网和陶瓷膜过滤器，所述第二废水管网的入口端与所述乳酸脱胶槽相连，所述陶瓷膜过滤器与所述第二废水管网的出口端相连。3.根据权利要求2所述的用于对硅片上的水煮胶进行脱胶的系统，其特征在于，所述第二过滤组件还包括水泵，所述水泵设置在所述陶瓷膜过滤器和所述乳酸脱...

【专利技术属性】
技术研发人员：周文广，
申请(专利权)人：阜宁协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32