The utility model discloses a packing device for high purity special gas, which relates to the field of high purity special gas, including gas source cylinder, filling bottle, filling pipe, first valve, second valve, mass flowmeter, automatic cutting device, weighing device, connecting pipe, suction pipe and vacuum pump; one end of the filling pipe is connected with the gas source bottle, and the other end is connected with the filling bottle. A first valve and a second valve are arranged on the filling pipe, and a mass flowmeter and an automatic shutoff device are arranged between the first valve and the second valve; the filling bottle is placed on the weighing device, and the weighing device and the automatic shutoff device are connected to the automatic control system; one end of the connecting pipe is connected between the first valve and the second valve, and the other end is connected. The exhaust pipe is connected with the vacuum pump. The utility model has the advantages that the filling quality is accurate and the overfilling phenomenon does not occur.
【技术实现步骤摘要】
一种高纯特种气体的分装装置
本技术涉及高纯特种气体领域,尤其涉及一种高纯特种气体的分装装置。
技术介绍
砷化氢作为集成电路产业关键原材料的高纯特种气体,不仅在集成电路产业中占有重要的地位,其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯等领域也都有着不可或缺的作用,广泛应用在薄膜、掺杂、刻蚀、扩散、气相沉积等工艺中。随着科学技术的发展,对于高纯特种气体的品质要求也越来越高,一般对于气体的纯度要求要大于99.9999%,其杂质总浓度不高于1ppm(ppm表示百万分之一)。高纯特种气体的运输是借助钢瓶等压力容器,通常将气体通过管道输送,盛装于钢瓶内。现有的砷化氢分装装置充装质量控制不够准确,容易出现过充现象;如果连接管道置换不干净或者存在漏点,则会引入新的杂质,从而使得产品纯度无法保证99.9999%;且砷化氢具有剧毒、易燃等特性,现有的分装装置操作较繁琐,危险性较高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种充装质量准确,不会出现过充现象的高纯特种气体的分装装置。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的:一种高纯特种气体的分装装置,包括气源瓶(1)、充装瓶(2)、充装管(3)、第一阀门(4)、第二阀门(5)、质量流量计(6)、自动切断装置(7)、称重装置(10)、连接管(14)、抽气管(18)、真空泵(21);所述充装管(3)的一端连接所述气源瓶(1),另一端连接所述充装瓶(2);所述充装管(3)上位于所述气源瓶(1)的出口处设有第一阀门(4),位于所述充装瓶(2)的入口处设有第二阀门(5),所述充装管(3)上位于所述第一阀门(4)与所述第 ...
【技术保护点】
1.一种高纯特种气体的分装装置,其特征在于:包括气源瓶(1)、充装瓶(2)、充装管(3)、第一阀门(4)、第二阀门(5)、质量流量计(6)、自动切断装置(7)、称重装置(10)、连接管(14)、抽气管(18)、真空泵(21);所述充装管(3)的一端连接所述气源瓶(1),另一端连接所述充装瓶(2);所述充装管(3)上位于所述气源瓶(1)的出口处设有第一阀门(4),位于所述充装瓶(2)的入口处设有第二阀门(5),所述充装管(3)上位于所述第一阀门(4)与所述第二阀门(5)之间设有质量流量计(6)和自动切断装置(7);所述充装瓶(2)放在所述称重装置(10)上,所述称重装置(10)、自动切断装置(7)均连接到自动控制系统;所述连接管(14)的一端连接在所述充装管(3)位于所述第一阀门(4)与所述第二阀门(5)之间的部分上,另一端连接所述抽气管(18);所述抽气管(18)连接所述真空泵(21)。
【技术特征摘要】
1.一种高纯特种气体的分装装置,其特征在于:包括气源瓶(1)、充装瓶(2)、充装管(3)、第一阀门(4)、第二阀门(5)、质量流量计(6)、自动切断装置(7)、称重装置(10)、连接管(14)、抽气管(18)、真空泵(21);所述充装管(3)的一端连接所述气源瓶(1),另一端连接所述充装瓶(2);所述充装管(3)上位于所述气源瓶(1)的出口处设有第一阀门(4),位于所述充装瓶(2)的入口处设有第二阀门(5),所述充装管(3)上位于所述第一阀门(4)与所述第二阀门(5)之间设有质量流量计(6)和自动切断装置(7);所述充装瓶(2)放在所述称重装置(10)上,所述称重装置(10)、自动切断装置(7)均连接到自动控制系统;所述连接管(14)的一端连接在所述充装管(3)位于所述第一阀门(4)与所述第二阀门(5)之间的部分上,另一端连接所述抽气管(18);所述抽气管(18)连接所述真空泵(21)。2.如权利要求1所述的高纯特种气体的分装装置,其特征在于:所述气源瓶(1)外设有加热套(8)。3.如权利要求1所述的高纯特种气体的分装装置,其特征在于:所述充装瓶(2)外设有冷却套(9)。4.如权利要求1所述的高纯特种气体的分装装置,其特征在于:该分装装置还包括液氮回收瓶(11)、回收管(12)、第三阀门(13),所述回收管(12)的一端连接所述液氮回收瓶(11),另一端连接在所述充装管(3)位于所述第一阀门(4)与所述第二阀门(5)之间的部分上,所述回收管(12)上设有第三阀门(13)。5.如权利要求1所述的高纯特种气体的分装装置,其特征在于:该分装装置还包括置换面板,所述置换面板包括连接管(14)、氦气管、排气...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹旭峰,朱颜,王陆平,王仕华,
申请(专利权)人:全椒南大光电材料有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。