The utility model provides a fluoride purification device in the waste gas of semiconductor process, which relates to the technical field of the purification device. The purifying device for fluoride in waste gas of semiconductor process includes a rack, the left end of the rack is connected with an abandoned output terminal through the exhaust gas pipe, the top of the rack is fixed with a flame reaction chamber, the bottom end of the inner wall of the flame reaction chamber is fixed with a hollow tube, and the top of the hollow tube is fixed with a gas reaction device, the gas reaction device includes a gas reaction device. The flame reaction chamber is connected with a gas output terminal through an air inlet, and a flame nozzle is fixed on the outer surface of the gas reaction chamber. The fluoride purifying device in the waste gas of semiconductor process makes the fluoride in the waste gas purified more thoroughly, more efficiently and saves the purifying time. At the same time, the recycling of heat energy is used to save energy and more environmental protection, which makes the combination of high temperature reaction and water reaction to save reaction time and energy.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程废气中氟化物的净化装置
本技术涉及净化装置
,具体为一种半导体制程废气中氟化物的净化装置。
技术介绍
半导体为一种常见的电子元件载体,随着社会的发展,电子产品的越来越多样化,半导体的应用也越来越常见,而制备半导体的过程也越来越被人们所熟知。半导体在制备的过程中会出现大量有害的气体,这些气体直接排放会危害环境和人类的健康,尤其以氟化物的危害最为严重,所以出现一种净化氟化物的装置,传统的净化装置是先经过初步水洗的过程,再进过高温的过程,最后在进行水洗的过程,其中最后水洗的过程并不能彻底高效的净化,不利于环保。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体制程废气中氟化物的净化装置,解决了该氟化物的净化装置不能彻底高效的净化氟化物和不环保的问题。技术方案为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体制程废气中氟化物的净化装置,包括机架,所述机架的左端通过废气管连通有废弃输出端,所述机架的顶端固定安装有火焰反应腔,所述火焰反应腔的内壁底端固定安装有空心管,所述空心管的顶部固定安装燃气反应装置,所述燃气反应装置包括燃气反应箱,所述火焰反应腔通过进气口连通有燃气输出端,所述燃气反应箱的外表面固定安装有火焰喷头,所述燃气反应箱的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔,所述燃气反应箱与燃气输出端连通有燃气输出管,所述机架的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵,所述一号水泵与空心管连通有一号水管,所述机架的内壁底部固定安装有水箱,所述一号水泵与水箱连通有二号水管,所述火焰反应腔的内部底端固定焊接有打火装置,所述打火装置包括打火室,所述打火室的内 ...
【技术保护点】
1.一种半导体制程废气中氟化物的净化装置,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)的左端通过废气管连通有废气输出端(2),所述机架(1)的顶端固定安装有火焰反应腔(3),所述火焰反应腔(3)的内壁底端固定安装有空心管(4),所述空心管(4)的顶部固定安装燃气反应装置(5),所述燃气反应装置(5)包括燃气反应箱(52),所述火焰反应腔(3)通过进气口连通有燃气输出端(51),所述燃气反应箱(52)的外表面固定安装有火焰喷头(6),所述燃气反应箱(52)的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔(7),所述燃气反应箱(52)与燃气输出端(51)连通有燃气输出管(8),所述机架(1)的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵(9),所述一号水泵(9)与空心管(4)连通有一号水管(10),所述机架(1)的内壁底部固定安装有水箱(11),所述一号水泵(9)与水箱(11)连通有二号水管(12),所述火焰反应腔(3)的内部底端固定焊接有打火装置(13),所述打火装置(13)包括打火室(131),所述打火室(131)的内部固定焊接用打火石(132),所述打火石(132)的外表面滑动连接有摩擦石(133),所述摩 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体制程废气中氟化物的净化装置,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)的左端通过废气管连通有废气输出端(2),所述机架(1)的顶端固定安装有火焰反应腔(3),所述火焰反应腔(3)的内壁底端固定安装有空心管(4),所述空心管(4)的顶部固定安装燃气反应装置(5),所述燃气反应装置(5)包括燃气反应箱(52),所述火焰反应腔(3)通过进气口连通有燃气输出端(51),所述燃气反应箱(52)的外表面固定安装有火焰喷头(6),所述燃气反应箱(52)的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔(7),所述燃气反应箱(52)与燃气输出端(51)连通有燃气输出管(8),所述机架(1)的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵(9),所述一号水泵(9)与空心管(4)连通有一号水管(10),所述机架(1)的内壁底部固定安装有水箱(11),所述一号水泵(9)与水箱(11)连通有二号水管(12),所述火焰反应腔(3)的内部底端固定焊接有打火装置(13),所述打火装置(13)包括打火室(131),所述打火室(131)的内部固定焊接用打火石(132),所述打火石(132)的外表面滑动连接有摩擦石(133),所述摩擦石(133)远离打火石(132)的一端活动连接有推杆(134),所述推杆(134)的外表面相背的一侧固定安装有弹簧(135),所述打火室(131)的内壁开设有漏气孔(136),所述火焰反应腔(3)的右侧固定焊接有风机室(14),所述风机室(14)的内部通过安装板固定安装有风机(15),所述机架(1)的顶部固定焊接有水洗反应室(16),所述风机(15)的出气管顶部固定安装有风喷头(17),所述水洗反应室(16)的内壁右侧固定焊接有二氧化硅反应盒(18),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹小康,杨春水,杨春涛,宁腾飞,赵力行,邹昭平,蒋俊海,于浩,
申请(专利权)人:安徽京仪自动化装备技术有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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