一种冷阴极及其制备方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种冷阴极及其制备方法，其中，该冷阴极包括：碳纳米管和阴极基底，其中，所述阴极基底包括沿第一方向间隔设置的第一区域和第二区域，所述第一区域用于制备所述碳纳米管；所述第二区域的高度大于所述第一区域的高度。本发明专利技术实施例的技术方案，解决了现有技术中碳纳米管与阴极基底之间的结合性较差的技术问题，实现了提高接触电阻减小、导热性能增强的技术效果，以及提高了碳纳米管场致发射的稳定性，延长使用寿命的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种冷阴极及其制备方法
本专利技术实施例涉及医疗
技术，尤其涉及一种冷阴极及其制备方法。
技术介绍
目前，医用X射线源常用的有两种，一种是采用钨热灯丝X射线管，但是该类X射线管的启动时间长，并且寿命较短；另一种是冷阴极X射线管，该类X射线管包括场发射阴极，该阴极至少部分地由具有至少4A/cm2的发射电子电流密度的包含纳结构(1110)的材料形成。由于在阴极(1110)和栅极或阳极(1130)之间易于聚焦冷阴极发射电子和以不同的阳极材料(1130)聚焦电子束，因此可以实现高的能量转换效率和紧凑的设计(1100),并且从单个装置中可以产生具有不同能量的脉冲发送的x—射线辐射。虽然此专利中阐述可以达到4A/cm2的比较大的电流密度，但是并未提及冷阴极的稳定性、寿命，实际冷阴极生长工艺中，一方面无法保证每一件样品都可以达到如此高的场发射电流，另一方面无法保证发射寿命、稳定性。
技术实现思路
本专利技术提供一种冷阴极及其制备方法，以实现提高碳纳米管与衬底之间的接触面积，进而降低接触电阻、提高了发生寿命以及稳定性的技术效果。第一方面，本专利技术实施例提供了一种冷阴极，该冷阴极包括：碳纳米管和阴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷阴极，其特征在于，包括：碳纳米管和阴极基底，其中，所述阴极基底包括沿第一方向间隔设置的第一区域和第二区域，所述第一区域用于制备所述碳纳米管；所述第二区域的高度大于所述第一区域的高度。

【技术特征摘要】
1.一种冷阴极，其特征在于，包括：碳纳米管和阴极基底，其中，所述阴极基底包括沿第一方向间隔设置的第一区域和第二区域，所述第一区域用于制备所述碳纳米管；所述第二区域的高度大于所述第一区域的高度。2.根据权利要求1所述的冷阴极，其特征在于，所述第一区域蒸镀有金属催化剂，所述金属催化剂用于提高所述碳纳米管生长速率。3.根据权利要求1所述的冷阴极，其特征在于，所述第二区域定向蒸镀金属薄膜。4.根据权利要求1所述的冷阴极，其特征在于，所述第一区域通过在所述阴极基底上铺设光刻胶，并采用光刻法沿第二方向刻蚀掉部分所述光刻胶得到，其中，所述第二方向与所述光刻胶，以及与所述阴极基底的排布方向垂直。5.根据权利要求1所述的冷阴极，其特征在于，所述第一区域由所述阴极基底上设置的至少一个凹槽形成。6.根据权利要求5所述的冷阴极，其特征在于，所述凹槽通过对所述阴极基底的所述第一区域进行第一深度的刻蚀得到，其中，所述第一深度小于所述阴极基底的高度。7.根据权利要求1所述的冷阴极，其特征在于，所述碳...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏纬，
申请(专利权)人：上海联影医疗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31