【技术实现步骤摘要】
ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法
本专利技术涉及连续激光作用下氧化铟锡(ITO)透明导电膜功能性损伤阈值的测试领域,具体涉及对ITO透明导电膜透过率和电导率参数的测试。
技术介绍
氧化铟锡(ITO)薄膜由于其高可见光透过率、低电阻率等特性,是目前研究和使用最广泛的透明导电薄膜材料。随着ITO透明导电膜在高功率激光领域走上实际应用,ITO薄膜由于大量载流子吸收导致的热破坏和热损伤等问题亟待解决。然而,目前对ITO薄膜的损伤阈值判定主要基于微观硬破坏损伤,即观察高功率激光辐照下薄膜材料表面的微观损伤形貌或等离子闪光现象,以此作为判定薄膜是否损伤的依据。但实际在出现宏观可见损伤前,ITO薄膜的透过率和电导率有可能就已经受到影响。目前大部分对ITO薄膜透过率测试所用的探测光源通常是He-Ne光,绿光等波长的光源,与ITO薄膜实际应用波长不符,这使得探测结果与实际结果有差距。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述现有技术的不足,提供一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法,有效指导ITO透明导电膜在连续激光中的应用。本专利技术的技术解决方案如下:一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置,其特点在于,包括:泵浦连续激光器、可二维移动的样品台、探测连续激光器分束镜、第一功率计、第二功率计、计算机和万用表;待测ITO透明导电膜样品的膜面需刻蚀出一个宽度为d的带状结构,且带状结构宽度d为所述泵浦连续激光器辐照在所述待测ITO透明导电膜样品表面的光斑直径D的1.5~2倍;所述待测ITO透明导电膜样品夹持在所述样品台上,所述泵浦连 ...
【技术保护点】
1.一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置,其特征在于,包括:泵浦连续激光器(1)、可二维移动的样品台(3)、探测连续激光器(4)、分束镜(5)、第一功率计(6)、第二功率计(7)、计算机(8)和万用表(9);待测ITO透明导电膜样品(2)的膜面需刻蚀出一个宽度为d的带状结构,且带状结构宽度d为所述泵浦连续激光器(1)辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(6)表面的光斑直径D的1.5~2倍;所述待测ITO透明导电膜样品(2)夹持在所述样品台(3)上,所述泵浦连续激光器(1)输出的激光垂直辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面,所述探测连续激光器(4)输出的激光经所述分束镜(5)后分成反射光束和透射光束,反射光束由所述第一功率计(6)接收,透射光束以一定角度辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面,辐照区域与所述泵浦连续激光器(1)辐照的区域重合,且经待测ITO透明导电膜样品(2)透射的光束由所述第二功率计(7)接收;所述万用表(9)的两个探头分别固定在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面带状结构的两端,所述计算机(8)的输入端分别与所述第一功率计(6)、第二功率计( ...
【技术特征摘要】
1.一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置,其特征在于,包括:泵浦连续激光器(1)、可二维移动的样品台(3)、探测连续激光器(4)、分束镜(5)、第一功率计(6)、第二功率计(7)、计算机(8)和万用表(9);待测ITO透明导电膜样品(2)的膜面需刻蚀出一个宽度为d的带状结构,且带状结构宽度d为所述泵浦连续激光器(1)辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(6)表面的光斑直径D的1.5~2倍;所述待测ITO透明导电膜样品(2)夹持在所述样品台(3)上,所述泵浦连续激光器(1)输出的激光垂直辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面,所述探测连续激光器(4)输出的激光经所述分束镜(5)后分成反射光束和透射光束,反射光束由所述第一功率计(6)接收,透射光束以一定角度辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面,辐照区域与所述泵浦连续激光器(1)辐照的区域重合,且经待测ITO透明导电膜样品(2)透射的光束由所述第二功率计(7)接收;所述万用表(9)的两个探头分别固定在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面带状结构的两端,所述计算...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵元安,彭丽萍,刘晓凤,李大伟,邵建达,王玺,彭小聪,李成,马浩,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:上海,31
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