【技术实现步骤摘要】
一种用于步进器的环境腔体部
本技术涉及环境腔体装置
,具体涉及一种用于步进器的环境腔体部。
技术介绍
步进器曝光系统在在进行曝光作业时,整个设备是包围在环境腔体内的,环境腔体内是一个空调循环系统,循环空气通过高精度的高效过滤器吹进到腔体内,使得这整个环境腔保持在一个恒温、恒湿的干净环境,确保产品作业的稳定进行,然而现有的步进器曝光系统内的环境腔体内部温度和风量不能得到较好的控制调节,循环性不佳,降低了使用性。
技术实现思路
本技术目的是提供一种用于步进器的环境腔体部,提供一种恒温、恒湿循环效果好的步进器环境腔体部。为了实现以上目的,本技术采用的技术方案为:一种用于步进器的环境腔体部,包括腔体室、冷冻机、热点、鼓风机、过滤器、密封盖和通孔板,所述腔体室内壁底部从左至右依次设有所述鼓风机、热点和冷冻机,所述腔体室顶部固定安装有水银灯,所述水银灯底部连接有位于所述腔体室内部的对物镜头,所述腔体室内壁底部连接有所述冷冻机,所述冷冻机顶部通过所述密封盖连接有晶片装载台,所述晶片装载台顶部连接有与所述晶片装载台相适配的晶片,所述晶片和所述对物镜头之间连接有位于所述腔体室内壁上的缩小投影镜头,所述腔体室内壁一侧连接有贯穿所述腔体室厚度方向的进气口,所述进气口流进的气体穿过所述冷冻机和所述热点并进入到所述鼓风机内,所述鼓风机内的进气向上流出并穿过所述过滤器延伸至所述缩小投影镜头外部连接的壳体上,所述壳体上的气体穿过所述壳体内部的收纳口并延伸到壳体外部一侧的通孔板上。进一步的,所述鼓风机内设有循环部。进一步的,所述冷冻机底部固定连接有位于所述腔体室内壁底部的温控器。进一步的, ...
【技术保护点】
1.一种用于步进器的环境腔体部,其特征在于,包括腔体室(1)、冷冻机(2)、热点(3)、鼓风机(4)、过滤器(5)、密封盖(6)和通孔板(7),所述腔体室(1)内壁底部从左至右依次设有所述鼓风机(4)、热点(3)和冷冻机(2),所述腔体室(1)顶部固定安装有水银灯(8),所述水银灯(8)底部连接有位于所述腔体室(1)内部的对物镜头(9),所述腔体室(1)内壁底部连接有所述冷冻机(2),所述冷冻机(2)顶部通过所述密封盖(6)连接有晶片装载台(10),所述晶片装载台(10)顶部连接有与所述晶片装载台(10)相适配的晶片(11),所述晶片(11)和所述对物镜头(9)之间连接有位于所述腔体室(1)内壁上的缩小投影镜头(12),所述腔体室(1)内壁一侧连接有贯穿所述腔体室(1)厚度方向的进气口(13),所述进气口(13)流进的气体穿过所述冷冻机(2)和所述热点(3)并进入到所述鼓风机(4)内,所述鼓风机(4)内的进气向上流出并穿过所述过滤器(5)延伸至所述缩小投影镜头(12)外部连接的壳体(14)上,所述壳体(14)上的气体穿过所述壳体内部的收纳口并延伸到壳体(14)外部一侧的通孔板(7)上。
【技术特征摘要】
1.一种用于步进器的环境腔体部,其特征在于,包括腔体室(1)、冷冻机(2)、热点(3)、鼓风机(4)、过滤器(5)、密封盖(6)和通孔板(7),所述腔体室(1)内壁底部从左至右依次设有所述鼓风机(4)、热点(3)和冷冻机(2),所述腔体室(1)顶部固定安装有水银灯(8),所述水银灯(8)底部连接有位于所述腔体室(1)内部的对物镜头(9),所述腔体室(1)内壁底部连接有所述冷冻机(2),所述冷冻机(2)顶部通过所述密封盖(6)连接有晶片装载台(10),所述晶片装载台(10)顶部连接有与所述晶片装载台(10)相适配的晶片(11),所述晶片(11)和所述对物镜头(9)之间连接有位于所述腔体室(1)内壁上的缩小投影镜头(12),所述腔体室(1)内壁一侧连接有贯穿所述腔体室(1)厚度方向的进气口(13),所述进气口(13)流进的气体穿过所述冷冻机(2)和所述热点(3)并进入到所述鼓风机(4)内,所述鼓风机(...
【专利技术属性】
技术研发人员:周杰,张琪,
申请(专利权)人:安徽睿芯半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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