柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法技术

本发明专利技术提供了一种柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法，属于显示技术领域。本发明专利技术的技术方案能够提高柔性OLED产品缺陷分析的精度。其中，柔性显示面板测试样品的制作方法，包括：在柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层；确定测试区域中缺陷所在位置，利用激光在所述金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内。本发明专利技术的技术方案用于对柔性OLED产品进行缺陷分析。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法
本专利技术涉及显示
，特别是指一种柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法。
技术介绍
柔性OLED(有机电致发光二极管)显示屏具有体积上更加轻薄，功耗较低，可弯曲，柔韧性佳的特性，成为智能显示终端追逐的对象。对于柔性OLED产品在制作工艺中产生的一些不良，如Particle(微粒)不良、微孔、微裂纹不良等，需要对柔性OLED产品进行制样分析。在制样分析时，需要利用激光Mark(标记)不良位置，再进行后续的测试分析。柔性OLED通常采用TFE(薄膜封装层)封装工艺，由于TFE层透过率高、对激光吸收率差，在利用激光Mark不良位置时，激光更容易透过TFE层被下部的显示功能膜层吸收，进而会出现TFE下部膜层损伤、TFE破裂、Mrak引入新的Defect(缺陷)、或是破坏原有Defect形貌等情况，干扰最终的分析结果。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法，能够提高柔性OLED产品缺陷分析的精度。为解决上述技术问题，本专利技术的实施例提供技术方案如下：一方面，提供一种柔性显示面板测试样品的制作方法，包括：在柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层；确定测试区域中缺陷所在位置，利用激光在所述金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内。进一步地，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层之前，所述方法还包括：去除所述柔性显示面板上的临时保护膜；根据所述柔性显示面板的缺陷确定所述测试区域，所述缺陷位于所述测试区域内；将所述测试区域与所述柔性显示面板分离。进一步地，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层包括：在所述测试区域溅射一层厚度不超过10nm的金属层。进一步地，溅射时的溅射电流为15mA，溅射时长为20s，靶材高度为25mm。进一步地，所述金属层采用金或铂。进一步地，所述激光的波长为532nm-1064nm。本专利技术实施例还提供了一种柔性显示面板测试样品，包括：位于柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上的金属层，所述金属层的厚度小于阈值，所述柔性显示面板的缺陷位于所述测试区域内；位于所述金属层上的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内。进一步地，所述金属层的厚度不超过10nm。进一步地，所述金属层采用金或铂。本专利技术实施例还提供了一种柔性显示面板的分析方法，用于对上述的柔性显示面板测试样品进行分析，所述分析方法包括：利用所述缺陷位置标记确定所述柔性显示面板的缺陷的位置；利用聚焦离子束对所述缺陷进行分析。本专利技术的实施例具有以下有益效果：上述方案中，在对柔性显示面板的缺陷进行分析前，在柔性显示面板的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层，由于金属层的厚度比较薄，因此，不影响光学显微镜观察寻找缺陷的位置，同时利用金属层对激光吸收率较高的特性，利用激光在金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内，这样后续在对柔性显示面板的缺陷进行分析时，可以利用缺陷位置标记确定缺陷位置。通过本实施例的技术方案，能够解决在利用激光做缺陷位置标记时，由于薄膜封装层透过率高、对激光吸收率差，激光能量主要被下部的显示功能层吸收，导致薄膜封装层下部的显示功能层损伤、薄膜封装层破裂(能量过高时)、缺陷位置标记难寻找等问题，避免激光对测试样品的损坏，不会引入新的缺陷，能够提高柔性OLED产品缺陷分析的精度。附图说明图1为包括有显示功能层和薄膜封装层的柔性显示面板测试样品的截面示意图；图2为包括有显示功能层和薄膜封装层的柔性显示面板测试样品的平面示意图；图3为本专利技术实施例形成有金属层的柔性显示面板测试样品的截面示意图；图4为本专利技术实施例形成有金属层的柔性显示面板测试样品的平面示意图；图5为本专利技术实施例形成有缺陷位置标记的柔性显示面板测试样品的截面示意图；图6为本专利技术实施例形成有缺陷位置标记的柔性显示面板测试样品的平面示意图。附图标记1柔性衬底2显示功能层3薄膜封装层4缺陷5金属层6缺陷位置标记具体实施方式为使本专利技术的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。现有技术在对柔性OLED产品进行制样分析时，首先利用光学显微镜确定不良位置，利用激光Mark不良位置，在不良位置处形成标记，然后对不良位置处进行切片，利用电子显微镜分析不良原因，进行后续的测试分析。柔性OLED通常采用TFE封装工艺，由于TFE层透过率高、对激光吸收率差，在利用激光Mark不良位置时，激光更容易透过TFE层被下部的显示功能膜层吸收，进而会出现TFE下部膜层损伤、TFE破裂、Mrak引入新的Defect、或是破坏原有Defect形貌等情况，干扰最终的分析结果。本专利技术实施例为了解决上述问题，提供一种柔性显示面板测试样品及其制作方法、缺陷分析方法，能够提高柔性OLED产品缺陷分析的精度。本专利技术实施例提供一种柔性显示面板测试样品的制作方法，包括：在柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层；确定测试区域中缺陷所在位置，利用激光在所述金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内。本实施例中，在对柔性显示面板的缺陷进行分析前，在柔性显示面板的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层，由于金属层的厚度比较薄，因此，不影响光学显微镜观察寻找缺陷的位置，同时利用金属层对激光吸收率较高的特性，利用激光在金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内，这样后续在对柔性显示面板的缺陷进行分析时，可以利用缺陷位置标记确定缺陷位置。通过本实施例的技术方案，能够解决在利用激光做缺陷位置标记时，由于薄膜封装层透过率高、对激光吸收率差，激光能量主要被下部的显示功能层吸收，导致薄膜封装层下部的显示功能层损伤、薄膜封装层破裂(能量过高时)、缺陷位置标记难寻找等问题，避免激光对测试样品的损坏，不会引入新的缺陷，能够提高柔性OLED产品缺陷分析的精度。进一步地，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层之前，所述方法还包括：去除所述柔性显示面板上的临时保护膜；根据所述柔性显示面板的缺陷确定所述测试区域，所述缺陷位于所述测试区域内；将所述测试区域与所述柔性显示面板分离。在柔性显示面板制备完成后，为了保护柔性显示面板，在柔性显示面板上贴附有临时保护膜，在制作柔性显示面板的测试样品时，需要先去除柔性显示面板上的临时保护膜，然后确定测试区域，将测试区域与柔性显示面板的其他部分分离，具体可以将测试区域从柔性显示面板上剪下，利用测试区域来制作测试样品。进一步地，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层包括：在所述测试区域溅射一层厚度不超过10nm的金属层。如果金属层的厚度过高，金属层的透光性能将会变差，光学显微镜将不能透过金属层确定缺陷位置，因此，金属层的厚度不能设置的过大，优选地，金属层的厚度不大于10nm，这样不影响光学显微镜透过金属层确定缺陷位置。一具体实施例中，溅射时的工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，包括：在柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层；确定测试区域中缺陷所在位置，利用激光在所述金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，包括：在柔性显示面板的测试区域的薄膜封装层上形成厚度小于阈值的金属层；确定测试区域中缺陷所在位置，利用激光在所述金属层上形成对应所述缺陷的缺陷位置标记，所述缺陷在所述金属层上的正投影位于所述缺陷位置标记限定出的区域内。2.根据权利要求1所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层之前，所述方法还包括：去除所述柔性显示面板上的临时保护膜；根据所述柔性显示面板的缺陷确定所述测试区域，所述缺陷位于所述测试区域内；将所述测试区域与所述柔性显示面板分离。3.根据权利要求1所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，所述在柔性显示面板的测试区域形成金属层包括：在所述测试区域溅射一层厚度不超过10nm的金属层。4.根据权利要求3所述的柔性显示面板测试样品的制作方法，其特征在于，溅射时的溅射电流为15mA，溅射时长为20s，靶材高度为25mm。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：薛孝忠，杜聪聪，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11