真空磁控溅射镀膜设备除渣装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于镀膜设备领域，涉及一种真空磁控溅射镀膜设备除渣装置。它解决了现有技术中除渣装置不能将溅射的废渣带出磁控溅射设备的技术问题。它包括溅射底板，以及嵌设在溅射底板中的传动滚轮，传动滚轮顶部延伸出溅射底板上表面，还包括除渣板，除渣板下表面设置有若干铲渣槽口，每个铲渣槽口连接有一个储渣腔室，铲渣槽口靠近储渣腔室的一侧设置有铲渣刮刀。与现有的技术相比，本实用新型专利技术有点在于，能方便地将高出于传动滚轮上表面的溅射废渣铲离溅射底板并带出溅射镀膜设备，从本质上解决溅射废渣划伤玻璃生表面的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
真空磁控溅射镀膜设备除渣装置
本技术属于镀膜设备
，尤其是涉及一种真空磁控溅射镀膜设备除渣装置。
技术介绍
目前，节能玻璃最为普遍高效的制备方法是真空磁控溅射镀膜。真空磁控溅射是指在真空环境下，将涂层材料作为阴极靶，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，将靶材原子或分子溅射到工件上形成沉积层的成膜技术。但是，在设备进行玻璃镀膜过程中，会出现溅射物堆积形成溅射残渣，当溅射残渣的厚度过大，溅射残渣会划伤玻璃表面，造成产品的报废。传统做法是对设备通入大气，将设备拆开，把底板取出进行清理，整个过程需要1至3天，大型真空磁控溅射镀膜设备属于贵重高投入设备，停机清理所致的时间成本较高，因此必须设计出一种可以去除底板上溅射残渣的装置，尽可能减少回气次数，缩短清理时间。目前，业内普遍使用的解决方式是铁板压实法，铁板压实法是通过滚轮来传送一张铁板到阴极靶材下，利用铁板的自重及其高硬度将溅射物压实，达到减少玻璃划伤的目的。但是，铁板压实法治标不治本，没有根本解决问题，不能将溅射的废渣带出磁控溅射设备，当溅射物累积到一定厚度后，传送铁板压实法已经不再适用，仍需回气除渣。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题，提供一种真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，能方便地将镀膜设备中过厚的溅射残渣铲起并带出溅射镀膜设备，从本质上解决溅射残渣过厚而影响玻璃生产质量的问题。为达到上述目的，本技术采用了下列技术方案：本真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，包括溅射底板，以及嵌设在溅射底板中的传动滚轮，传动滚轮顶部延伸出溅射底板上表面，还包括除渣板，所述的除渣板下表面设置有若干铲渣槽口，每个铲渣槽口连接有一个储渣腔室，所述的铲渣槽口靠近储渣腔室的一侧设置有铲渣刮刀。在上述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置中，铲渣刮刀截面呈三角形，所述的铲渣刮刀远离储渣腔室的一侧设置有铲渣刃，所述的铲渣刮刀下刀面呈水平设置，所述的铲渣刮刀上刀面倾斜向上设置且远离铲渣刃的一侧与储渣腔室底面连接。在上述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置中，铲渣槽口贯穿除渣板上下表面，所述的储渣腔室由除渣板上表面向下凹陷形成，所述的铲渣槽口的长度与铲渣刃的长度相同。在上述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置中，铲渣刃与储渣腔室的长度相同，且铲渣槽口与储渣腔室的横截面呈等长的矩形。在上述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置中，铲渣槽口成列等距设置，相邻两列铲渣槽口上的铲渣槽口沿除渣板的轴向相错设置，间隔一列铲渣槽口的两列铲渣槽口之间的距离小于铲渣槽口的长度。在上述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置中，间隔一列铲渣槽口的两列铲渣槽口上的铲渣槽口一一对应且相互平行。在上述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置中，每相邻两列铲渣槽口上的铲渣槽口沿除渣板的轴向上的投影有部分重合。与现有的技术相比，本技术的优点在于：1、除渣板跟随传动滚轮运动，有效铲除突出于传动滚轮的溅射废渣，缩短溅射底板的清理周期，可有效降低镀膜设备回气除渣的频率，提高了有效生产时间，降低了镀膜设备的损耗，极大降低了生产成本。2、刀口的横截面呈三角形不仅可以轻易地将溅残渣刮入储料凹槽内，且对刀口的稳定性有所保障。3、腔室相对错开的设计，有利于铲渣装置的刚度和稳定性，保证在铲渣过程中自身不会因变形而导致铲渣效果受到影响。4、通过控制传动滚轮的转速来控制铲渣刀口相对于溅射废渣的速度，进而掌控铲渣的力道及其铲渣效果。附图说明图1是本技术提供的除渣板立体图。图2是本技术提供的铲渣槽口结构示意图。图3是本技术提供的除渣板俯视图。图4是本技术提供的铲渣过程示意图。图5是本技术提供的实施例二结构示意图。图中，溅射底板1、传动滚轮2、除渣板3、铲渣槽口4、储渣腔室5、铲渣刮刀6、铲渣刃7、阴极靶材8。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一如图1所示，本真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，包括溅射底板1，以及嵌设在溅射底板1中的传动滚轮2，传动滚轮2顶部延伸出溅射底板1上表面，其特征在于，还包括除渣板3，所述的除渣板3下表面设置有若干铲渣槽口4，每个铲渣槽口4连接有一个储渣腔室5，所述的铲渣槽口4靠近储渣腔室5的一侧设置有铲渣刮刀6。如图4所示，传动滚轮2带动除渣板3在溅射底板1上方做直线运动，高出传动滚轮2上切面的溅射废渣进入铲渣槽口4，除渣板3继续向前运动，铲渣刮刀6与进入铲渣槽口4的溅射废渣相接触，并被铲渣刮刀6铲起，除渣板3继续运动，由于惯性力的作用，溅射废渣沿铲渣刮刀6上表面进入储渣腔室5并暂存在储渣腔室5中，有除渣板3带离溅射底板，避免后续经过溅射底板1上方的玻璃被高出传动滚轮2上切面的溅射废渣刮伤。在本实施例中，可通过控制传动滚轮2的转速来控制铲渣刮刀6相对于溅射废渣的速度，进而掌控铲渣的力道及其铲渣效果。优选地，如图2所示，铲渣刮刀6截面呈三角形，所述的铲渣刮刀6远离储渣腔室5的一侧设置有铲渣刃7，所述的铲渣刮刀6下刀面呈水平设置，所述的铲渣刮刀6上刀面倾斜向上设置且远离铲渣刃7的一侧与储渣腔室5底面连接。截面三角形设计的铲渣刮刀6使得铲渣刮刀6具有铲渣刃7，使得铲渣刮刀6具有更大的铲除力提高铲渣效果，相较于刀片式的铲渣刮刀，截面为三角形的铲渣刮刀具有更高的刚性，提高了铲渣刃7铲渣稳定性。同时，在铲渣过程中，被铲起的溅射废渣能沿着铲渣刮刀6上刀面流畅顺利的进入储渣腔室5，提高储渣效率，防止被铲起的溅射废渣留存在铲渣槽口4中刮伤传动滚轮2，甚至从新掉落到溅射底板1上，影响铲渣效果。优选地，铲渣槽口4贯穿除渣板3上下表面，使得除渣板3在运动到溅射废渣上方时，溅射废渣能顺利进入铲渣槽口4。所述的储渣腔室5由除渣板3上表面向下凹陷形成，储渣腔室5与除渣板3一体成型，结构简单，缩小除渣板3的体积，使得除渣板3运动更灵活，避免与涂膜设备发生干涉。所述的铲渣槽口4的长度与铲渣刃7的长度相同，保证所有进入铲渣槽口4的溅射废渣均能被铲渣刃7铲起。铲渣刃7与储渣腔室5的长度相同，且铲渣槽口4与储渣腔室5的横截面呈等长的矩形，保证所有被铲起的溅射废渣均能进入储渣腔室，且结构简单，易于加工，节省制作成本。优选地，如图3所示，铲渣槽口4成列等距设置，相邻两列铲渣槽口4上的铲渣槽口4沿除渣板3的轴向相错设置，间隔一列铲渣槽口4的两列铲渣槽口4之间的距离小于铲渣槽口4的长度。间隔一列铲渣槽口4的两列铲渣槽口4上的铲渣槽口4一一对应且相互平行。每相邻两列铲渣槽口4上的铲渣槽口4沿除渣板3轴向上的投影有部分重合。保证了铲渣刮刀6在铲渣过程中，能全面覆盖溅射底板1，铲除所有溅射废渣。同时最大限度保留除渣板3本体结构，保证除渣板3的刚度及除渣稳定性，以及保证除渣板使用寿命。实施例二实施例二的基本结构与实施例一基本相同，不同点在于，如图5所示，所述的除渣板3下底面设置有支撑条9，所述的支撑条9搭靠在传动滚轮2上，所述的除渣板3的下底面与传动滚轮2的上切面设置有间隙，所述的铲渣刮刀6下刀面与传动滚轮2上切面共面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，包括溅射底板(1)，以及嵌设在溅射底板(1)中的传动滚轮(2)，传动滚轮(2)顶部延伸出溅射底板(1)上表面，其特征在于，还包括除渣板(3)，所述的除渣板(3)下表面设置有若干铲渣槽口(4)，每个铲渣槽口(4)连接有一个储渣腔室(5)，所述的铲渣槽口(4)靠近储渣腔室(5)的一侧设置有铲渣刮刀(6)。

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，包括溅射底板(1)，以及嵌设在溅射底板(1)中的传动滚轮(2)，传动滚轮(2)顶部延伸出溅射底板(1)上表面，其特征在于，还包括除渣板(3)，所述的除渣板(3)下表面设置有若干铲渣槽口(4)，每个铲渣槽口(4)连接有一个储渣腔室(5)，所述的铲渣槽口(4)靠近储渣腔室(5)的一侧设置有铲渣刮刀(6)。2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，其特征在于，所述的铲渣刮刀(6)截面呈三角形，所述的铲渣刮刀(6)远离储渣腔室(5)的一侧设置有铲渣刃(7)，所述的铲渣刮刀(6)下刀面呈水平设置，所述的铲渣刮刀(6)上刀面倾斜向上设置且远离铲渣刃(7)的一侧与储渣腔室(5)底面连接。3.根据权利要求2所述的真空磁控溅射镀膜设备除渣装置，其特征在于，所述的铲渣槽口(4)贯穿除渣板(3)上下表面，所述的储渣腔室(5)由除渣板(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：张要朋，贾建涛，董炳荣，吴胜朋，费腾，谢鹏程，
申请(专利权)人：浙江旗滨节能玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33