一种有机电致发光显示面板及制作方法、显示装置制造方法及图纸

本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机电致发光显示面板及制作方法、显示装置，用以解决现有技术中存在的由于掩膜次数较多导致的工艺复杂的问题。该方法包括：在缓冲层的第一区域形成图案化的第一有源层；在所述第一有源层的上方绝缘形成图案化的第一栅极，在所述缓冲层的第二区域形成图案化的第二有源层；在所述第一栅极以及所述第二有源层的上方分别绝缘形成图案化的金属电极以及第二栅极。从而，采用顶栅结构的LTPS‑TFT以及顶栅结构的Oxide‑TFT，使得第一有源层位于第一栅极的下方，第二有源层位于第二栅极的下方，这样，便于后续源漏极制作工艺的简化，减少光刻工艺次数，简化工艺复杂度。

An Organic Electroluminescent Display Panel, Its Fabrication Method and Display Device

This application relates to the field of display technology, in particular to an organic electroluminescent display panel, its fabrication method and display device to solve the complex process problems caused by more masks in the prior art. The method includes: forming a patterned first active layer in the first region of the buffer layer; forming a patterned first gate over the insulation of the first active layer, forming a patterned second active layer over the second region of the buffer layer; and insulating a patterned metal electrode and a second gate above the first gate and the second active layer, respectively. Thus, LTPS TFT with top gate structure and oxide TFT with top gate structure make the first active layer lie below the first gate and the second active layer lie below the second gate. This will facilitate the simplification of the subsequent source and drain fabrication process, reduce the number of lithography processes and simplify the process complexity.

【技术实现步骤摘要】
一种有机电致发光显示面板及制作方法、显示装置
本申请涉及显示
，尤其涉及一种有机电致发光显示面板及制作方法、显示装置。
技术介绍
现有的有机电致发光显示面板的像素电路大多由低温多晶硅薄膜晶体管(LowTemperaturePoly-SiliconThin-filmtransistor，LTPS-TFT)构成。虽然LTPS-TFT的稳定性较好，但是，漏电流现象比较严重；而氧化物薄膜晶体管(Oxide-TFT)的电子迁移率不高，因此，可以采用LTPS-TFT与Oxide-TFT结合的LTPO技术来制作高性能TFT。然而，现有的LTPO-TFT的制作至少需要11次掩膜工艺，而对于柔性面板而言，可能需要13次掩膜工艺，由此，掩膜工艺的次数较多导致制作工艺复杂。
技术实现思路
本申请实施例提供一种有机电致发光显示面板及制作方法、显示装置，用以解决现有技术中存在的由于掩膜次数较多导致的工艺复杂的问题。为了解决上述技术问题，本申请实施例采用下述技术方案：一种有机电致发光显示面板的制作方法，包括：在缓冲层的第一区域形成图案化的第一有源层；在所述第一有源层的上方绝缘形成图案化的第一栅极；在所述缓冲层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机电致发光显示面板的制作方法，其特征在于，包括：在缓冲层的第一区域形成图案化的第一有源层；在所述第一有源层的上方绝缘形成图案化的第一栅极；在所述缓冲层的第二区域形成图案化的第二有源层；在所述第一栅极以及所述第二有源层的上方分别绝缘形成图案化的金属电极以及第二栅极。

【技术特征摘要】
1.一种有机电致发光显示面板的制作方法，其特征在于，包括：在缓冲层的第一区域形成图案化的第一有源层；在所述第一有源层的上方绝缘形成图案化的第一栅极；在所述缓冲层的第二区域形成图案化的第二有源层；在所述第一栅极以及所述第二有源层的上方分别绝缘形成图案化的金属电极以及第二栅极。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一有源层的材质为低温多晶硅；所述第二有源层的材质为金属氧化物。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在所述第二栅极上方沉积第一绝缘层，并形成至少贯穿所述第一绝缘层的第一过孔组和第二过孔组，其中，所述第一过孔组中两个过孔分别暴露出第一有源层，所述第二过孔组中两个过孔分别暴露出第二有源层。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：在对应所述缓冲层的第三区域的位置对从所述第一绝缘层至所述缓冲层的膜层进行刻蚀，暴露出用于承载的基底；在暴露出的基底表面沉积平坦化层。5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，还包括：沉积金属层，分别在所述第一过孔组中两个过孔内形成接触连接所述第一有源层两端的第一源漏极，以及在所述第二过孔组中两个过孔内形成接触连接所述第二有源层两端的第二源漏极。6.一种有机电致发光显示面板，其特征在于，包括：位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：文国哲，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13