【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室的防污染扩散系统
本技术涉及洁净室
,具体为一种用于洁净室的防污染扩散系统。
技术介绍
在洁净室内,由于工艺需要,部分设备会生产有毒有害等危险气体,传统的防止污染物扩散的方法是采用隔墙以及在污染区采用负压进行隔离,而普通的隔墙难以保证污染物不通过缝隙泄漏扩散,而使用负压进行隔离虽然能使得洁净室内的污染不外泄,然而却因为负压的存在导致洁净室外的污染会因为压差进入洁净室内,造成对洁净室的污染。
技术实现思路
针对现有技术中洁净室无法确保洁净室污染物不扩散以及洁净室会被外界污染的问题,本技术提供了一种用于洁净室的防污染扩散系统,可以防止洁净室的污染物扩散。其技术方案是这样的:一种用于洁净室的防污染扩散系统,包括洁净室,所述洁净室的上端设有上静压箱,所述洁净室的下端设有下静压箱,其特征在于:所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构,所述双层墙结构包括外墙体和内墙体,所述外墙体连接送风管,所述送风管连接送风装置,所述送风装置向所述双层墙结构送风使得所述双层墙结构内部维持微正压。进一步的,所述上静压箱与所述洁净室外侧的双层墙结构相连通,所述洁净室与 ...
【技术保护点】
1.一种用于洁净室的防污染扩散系统,包括洁净室,所述洁净室的上端设有上静压箱,所述洁净室的下端设有下静压箱,其特征在于:所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构,所述双层墙结构包括外墙体和内墙体,所述外墙体连接送风管,所述送风管连接送风装置,所述送风装置向所述双层墙结构送风使得所述双层墙结构内部维持微正压。
【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室的防污染扩散系统,包括洁净室,所述洁净室的上端设有上静压箱,所述洁净室的下端设有下静压箱,其特征在于:所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构,所述双层墙结构包括外墙体和内墙体,所述外墙体连接送风管,所述送风管连接送风装置,所述送风装置向所述双层墙结构送风使得所述双层墙结构内部维持微正压。2.根据权利要求1所述的一种用于洁净室的防污染扩散系统,其特征在于:所述上静压箱与所述洁净室外侧的双层墙结构相连通,所述洁净室与所述下静压箱外侧的双层墙结构内设有隔断。3.根据权利要求2所述的一种用于洁净室的防污染扩散系统,其特征在于:所述上静压箱与所述洁净室外侧的外墙体连...
【专利技术属性】
技术研发人员:施红平,龙军,王奇勋,董连东,颜武姣,徐瑾睿,成凯磊,吴淳,
申请(专利权)人:中国电子系统工程第二建设有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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