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本实用新型提供了一种用于洁净室的防污染扩散系统,可以防止洁净室的污染物扩散,包括洁净室,所述洁净室的上端设有上静压箱,所述洁净室的下端设有下静压箱,其特征在于:所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构,所述双层墙结构包括外墙...该专利属于中国电子系统工程第二建设有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子系统工程第二建设有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种用于洁净室的防污染扩散系统,可以防止洁净室的污染物扩散,包括洁净室,所述洁净室的上端设有上静压箱,所述洁净室的下端设有下静压箱,其特征在于:所述洁净室、上静压箱以及下静压箱的外侧分别设有双层墙结构,所述双层墙结构包括外墙...