The invention belongs to the technical field of semiconductor processing equipment, in particular to a hydrodynamic bearing support structure for a precision double-sided grinder. The gear box is fixed on the bottom plate, beside the gear box, there is a driving motor, and the driving motor is connected with the main belt pulley; the bottom of the spindle is arranged in the gear box through a rotary bearing, the bottom is connected with worm gear and worm mechanism, the middle is provided with a support sleeve, and the top is connected with a pallet; the dynamic bearing seat is arranged between the pallet and the support sleeve, and the dynamic bearing is installed on the dynamic bearing seat; The driven pulley is installed at the end of the worm through a key connection, and the driven pulley and the active pulley are connected by a belt. The supporting sleeve and the dynamic bearing seat are provided with an interconnected oil inlet and outlet hole to form an oil inlet and outlet path. Compared with the previous cross roller bearings, the oil film between the dynamic bearing and the dynamic bearing seat is uniform in thickness, good in stability, large in carrying capacity, stable in operation and high in processing accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构
本专利技术属于半导体加工设备
,特别涉及一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构。
技术介绍
这年来,随着半导体行业的迅速发展,半导体芯片需求的迅速扩大,半导体加工工序上游的加工设备也得到快速发展。研磨设备作为半导体硅片加工过程中的最重要的工序之一,其设备性能的好坏对成品芯片和集成电路的品质有着关键影响。现阶段国内高精度精密研磨加工设备主要依赖于进口,缺乏自主的研磨设备和技术。虽然国内部分企业在引进进口设备的基础上,已开始自主研发研磨设备,但研发出的设备加工精度和稳定性仍然有待提高。很多技术难点成为国产设备的进一步发展的巨大阻力。例如现有的大部分研磨设备下研磨盘主体支撑采用的是交叉滚子轴承的结构,但是对于较大型的研磨设备,型号较大的交叉滚子轴承并不能保证很好的平面度和稳定性,导致加工出来的大尺寸硅片的平面度始终不能往更好的方向突破。虽然已有其他设备研发出静压轴承来代替,但是技术仍然不成熟,其功能的稳定性有待验证。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构。为解决上述技术问题,本专利技术的解决方案是:一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构,包括动压轴承、主轴、蜗轮蜗杆机构与齿轮箱;齿轮箱固设在底板上,齿轮箱旁侧还设有驱动电机,驱动电机上连接有主皮带轮;主轴的底部通过旋转轴承设于齿轮箱内,底端连接蜗轮蜗杆机构,中部外设有支撑套,顶部连接托盘;托盘与支撑套间设有动压轴承座,动压轴承装设在动压轴承座上;从动皮带轮通过键连接安装在蜗杆的尾端,从动皮带轮 ...
【技术保护点】
1.一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构,其特征在于,包括动压轴承、主轴、蜗轮蜗杆机构与齿轮箱;所述齿轮箱固设在底板上,齿轮箱旁侧还设有驱动电机,驱动电机上连接有主皮带轮;所述主轴的底部通过旋转轴承设于齿轮箱内,底端连接蜗轮蜗杆机构,中部外设有支撑套,顶部连接托盘;托盘与支撑套间设有动压轴承座,动压轴承装设在动压轴承座上;从动皮带轮通过键连接安装在蜗杆的尾端,从动皮带轮与主动皮带轮通过皮带连接;支撑套与动压轴承座上开有相互连通的进出油孔,形成进出油路。
【技术特征摘要】
1.一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构,其特征在于,包括动压轴承、主轴、蜗轮蜗杆机构与齿轮箱;所述齿轮箱固设在底板上,齿轮箱旁侧还设有驱动电机,驱动电机上连接有主皮带轮;所述主轴的底部通过旋转轴承设于齿轮箱内,底端连接蜗轮蜗杆机构,中部外设有支撑套,顶部连接托盘;托盘与支撑套间设有动压轴承座,动压轴承装设在动压轴承座上;从动皮带轮通过键连接安装在蜗杆的尾端,从动皮带轮与主动皮带轮通过皮带连接;支撑套与动压轴承座上开有相互连通的进出油孔,形成进出油路。2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述的主皮带轮通过键连接在驱动电机的输出轴端,驱动电机通过螺钉连接在电机座上,电机座通过...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱亮,曹建伟,傅林坚,周锋,卢嘉彬,严浩,刘文涛,沈文杰,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。