一种治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统及工艺技术方案

技术编号:20636195 阅读:58 留言:0更新日期:2019-03-23 00:43
本发明专利技术涉及一种治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统及工艺,治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,包括臭氧发生器及依次管道连接的第一碱性洗涤塔、第二碱性洗涤塔、第三碱性洗涤塔、风机和烟窗;第一碱性洗涤塔另一端与转炉烟道排放口管道连通;臭氧发生器的臭氧出口与转炉烟道管道连通且连通的管道上设有调节阀和流量计。本发明专利技术能够在近乎常温、常压、小流量的工况下,有效治理尾气,更加节能环保。

A System and Technology for Treatment of Hydrogen Fluoride Reaction Converter Kiln Tail Gas

The invention relates to a system and process for treating the tail gas of hydrogen fluoride reaction converter kiln, and a system for treating the tail gas of hydrogen fluoride reaction converter kiln, including an ozone generator and the first alkaline scrubber, the second alkaline scrubber, the third alkaline scrubber, a fan and a smoke window connected by pipelines in turn; the other end of the first alkaline scrubber is connected with the outlet pipe of the converter flue; The ozone outlet of the converter is connected with the flue pipe of the converter, and the connected pipe is provided with a regulating valve and a flowmeter. The invention can effectively control the tail gas under the conditions of near normal temperature, normal pressure and small flow, and is more energy-saving and environmental protection.

【技术实现步骤摘要】
一种治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统及工艺
本专利技术涉及一种治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统及工艺,属于空气净化设备领域。
技术介绍
电子信息产业飞速发展,电子级氢氟酸需求每年以10%的速度增长,而无水氟化氢是制备电子级氢氟酸的关键原材料,其纯度对电子级氢氟酸的制备有着至关重要的影响。长期以来,我国疏于高端产品的基础研究和应用研究,采用萤石~硫酸法传统工艺生产技术雷同、品级相近的中低纯度无水氟化氢,其最高纯度只能达到99.8~99.96%,难以满足电子级氢氟酸制备要求。显然,无水氟化氢的纯度是制约电子级氢氟酸发展的技术瓶颈。随着电子信息产业的快速发展,我国正逐步成为世界液晶显示器(LCD)产业基地,用于IC、TFT—LCD及半导体清洗和蚀刻剂的电子级氢氟酸的需求,每年以10%的速度增长,电子信息产业在国民经济发展中起着越来越重要的作用。但是现阶段,氟化氢生产仍然以萤石粉与硫酸为主原料,两者按一定比例,通过外加热的方式使其发生反应生成所需的氟化氢产品。所需的热量由烟煤经过燃烧产生煤气,煤气在燃烧室经燃烧,产生热气,热气通过高温循环风机进入反应转炉夹套内,经反应转炉吸收后,多余热气排空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:包括臭氧发生器(1)及依次管道连接的第一碱性洗涤塔(2)、第二碱性洗涤塔(3)、第三碱性洗涤塔(4)、风机(5)和烟窗(6);第一碱性洗涤塔(2)另一端与转炉烟道(7)排放口管道连通;臭氧发生器(1)的臭氧出口与转炉烟道(7)管道连通且连通的管道上设有调节阀(8)和流量计(9)。

【技术特征摘要】
1.一种治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:包括臭氧发生器(1)及依次管道连接的第一碱性洗涤塔(2)、第二碱性洗涤塔(3)、第三碱性洗涤塔(4)、风机(5)和烟窗(6);第一碱性洗涤塔(2)另一端与转炉烟道(7)排放口管道连通;臭氧发生器(1)的臭氧出口与转炉烟道(7)管道连通且连通的管道上设有调节阀(8)和流量计(9)。2.根据权利要求1所述的治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:所述转炉烟道(7)和第一碱性洗涤塔(2)连通的管道之间还设有烟气缓冲罐(10)。3.根据权利要求1所述的治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:所述臭氧发生器(1)的臭氧出口与转炉烟道(7)管道连通处设有扩散喷嘴(200),所述扩散喷嘴(200)包括沿轴向设于转炉烟道(7)中心的主管(201)以及呈喇叭状的外围部(202),主管(201)靠近转炉烟道(7)进气端与臭氧发生器(1)管道连通,且连通的管道上设有泵;外围部(202)设于主管(201)另一端且喇叭状的外围部(202)小径端朝向转炉烟道(7)进气端;外围部(202)包括若干环绕固定于主管(201)外围的支管(203)以及固定于相邻支管(203)之间的柔性面料(204),支管(203)一端固定于主管(201)端部,另一端朝向远离转炉烟道(7)进气端一侧向外倾斜。4.根据权利要求1所述的治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:所述臭氧发生器(1)为电晕放电型臭氧发生器。5.根据权利要求1所述的治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:还包括为臭氧发生器(1)工作时降温的冷却水循环装置。6.根据权利要求1所述的治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:所述第一碱性洗涤塔(2)、第二碱性洗涤塔(3)采用Ca(OH)2碱液;所述第三碱性洗涤塔(4)采用NaOH碱液。7.根据权利要求1所述的治理氟化氢反应转炉炉窑尾气的系统,其特征在于:还包括设于烟窗(6)顶端的检测装置(100),检测装置(100)包括内部中空且口径由下至上缩小的圆台形外罩...

【专利技术属性】
技术研发人员:林庆鑫雷游生黄明新李卫东谢永权袁海明
申请(专利权)人:福建龙氟化工有限公司
类型:发明
国别省市:福建,35

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