一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置及处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置及处理方法，包括处理桶体，处理桶体外侧开设有用于进气与排水的进气口与出水口，所述处理桶体的顶部固定安装有顶盖，所述顶盖的内部开设有用于机械运行的第一活动槽，通过齿轮在向内运动过程中与凸齿相互配合后转动，齿轮通过第一转动轴带动第三传动辊转动，第三传动辊通过第二传动带带动第二转动轴转动，第二转动轴带动凸齿旋转，此时因为活动块向内运动到喷头的底部，进而对喷头的底部附着物进行旋转清理，防止氢氟酸尾气与纯水的混合物附着在喷头的底部而造成的腐蚀，防止喷头腐蚀后出现堵塞和无法喷射雾化纯水的问题，有效地提高了设备对氢氟酸尾气处理。效地提高了设备对氢氟酸尾气处理。效地提高了设备对氢氟酸尾气处理。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置及处理方法


[0001]本专利技术涉及氢氟酸尾气处理
，具体为一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置及处理方法。

技术介绍

[0002]氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，清澈，无色、发烟的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味，氢氟酸是一种弱酸，具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体，实验室一般用萤石（主要成分为氟化钙）和浓硫酸来制取，需要密封在塑料瓶中，并保存于阴凉处，目前国内的电子级氢氟酸只有少量的大型化学工厂能够生产，其生产装置均需要通过大型的密闭罐体进行反应。
[0003]在制备电子级氢氟酸的过程中需要对其加水后进行精馏加工，精馏加工后会产生氢氟酸尾气，在处理氢氟酸尾气的过程中，第一步需要对氢氟酸尾气进行水洗工作，通过氢氟酸尾气溶于水的特性，通过喷射雾化的纯水对氢氟酸尾气收集处理，再对收集的氢氟酸尾气与纯水混合物进行碱洗处理，但是在水洗过程中水洗桶内部氢氟酸尾气与纯水混合物的水位较高时容易使得内部的氢氟酸尾气逐渐向上运动，进而使得氢氟酸尾气对顶部的喷头造成腐蚀，腐蚀后的喷头容易造成喷射时出现堵塞与喷射不出雾化纯水的问题，进而造成设备无法对氢氟酸尾气进行水洗处理，容易导致设备内部氢氟酸尾气过多而腐蚀内部其余零部件的问题。
[0004]为此，提出一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置及处理方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置及处理方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置，包括处理桶体，处理桶体外侧开设有用于进气与排水的进气口与出水口，所述处理桶体的顶部固定安装有顶盖，所述顶盖的内部开设有用于机械运行的第一活动槽，所述第一活动槽的底部开设有用于喷水的喷水口，所述第一活动槽的顶部固定连接有用于升降运动的第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆底部的输出端固定连接有用于喷水的喷头，所述喷头的顶部设置有用于进水的进水管，所述第一活动槽的内部设置有用于保护的保护块，所述第一活动槽的内部对称设置有闭合组件与传动组件，所述处理桶体的内部设置有用于检测的控制组件，所述第一活动槽的内部开设有第三活动槽，所述第三活动槽的内部设置有清理机构，所述清理机构包括抬升组件、相向组件旋转组件，所述第三活动槽的内侧设置有用于清理的清理板。
[0007]优选的，所述闭合组件包括第一滑槽、导向槽、第一活动杆、滚动块、连接板、支撑杆和导向块，所述第一活动槽的内壁开设有用于限位活动的第一滑槽，所述导向槽开设在第一活动槽的内壁，所述第一活动杆活动连接在第一活动槽的内部，所述第一活动杆的两
端均转动连接有滚动块，所述滚动块滚动连接在第一滑槽的内部，所述第一活动杆的两端均固定连接有用于稳定的连接板，所述第一活动杆的外壁且靠近连接板的内侧转动连接有用于推拉的支撑杆，所述支撑杆的底部与保护块的顶部通过螺栓固定连接，所述保护块的外壁固定连接有用于导向的导向块，所述导向块滑动连接在导向槽的内部。
[0008]优选的，所述传动组件包括电触槽、第二电动伸缩杆、固定架、活动口、开槽、第一弹簧、第二活动杆和第一电触板，所述喷头的外壁开设有用于电路控制的电触槽，所述第一活动槽的内壁固定连接有用于推动的第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的输出端与第一活动杆固定连接，所述第一活动槽的内部固定连接有用于支撑的固定架，所述活动口贯穿开设在固定架的内侧，所述开槽开设在固定架的内侧，所述第一弹簧固定连接在固定架的外侧，所述第一弹簧的外侧固定连接有用于活动的第二活动杆，所述第二活动杆的内侧端活动连接在开槽的内部，所述第二活动杆的内侧固定连接有用于电路控制的第一电触板。
[0009]优选的，所述控制组件包括滑道、滑块、空心浮块、第二活动槽、第二电触板、电触块和接触杆，所述滑道固定安装在处理桶体的内壁，所述滑块滑动连接在滑道的内部，所述滑块的内侧固定安装有用于检测水位的空心浮块，所述顶盖的内部开设有用于活动的第二活动槽，所述第二电触板固定连接在第二活动槽的顶部，所述电触块活动连接在第二活动槽的内部，所述电触块的底部固定连接有用于推动的接触杆。
[0010]优选的，所述抬升组件包括第二弹簧、活动架、活动板和凸块，所述第二弹簧固定连接在第三活动槽的底部，所述活动架固定连接在第二弹簧的底部，所述活动架活动连接在第三活动槽的内部，所述活动架的顶部固定安装有用于抬升的活动板，所述活动板的中部滑动连接在第一电动伸缩杆输出端的外壁，所述凸块固定安装在活动架内侧下端。
[0011]优选的，所述相向组件包括第二滑槽、凸板、斜槽、滑杆和活动块，所述第二滑槽贯穿开设在凸块的内部，所述凸板固定连接在第三活动槽的外壁，所述斜槽贯穿开设在凸板的内侧，所述滑杆的中部滑动连接在第二滑槽的内部，所述滑杆的两端滑动连接在斜槽的内部，所述活动块固定连接在滑杆的外侧，所述活动块活动连接在凸块的外壁。
[0012]优选的，所述旋转组件包括凸齿、第一转动轴、齿轮、第三传动辊、第二转动轴和第二传动带，所述凸齿固定连接在凸块的外壁，所述第一转动轴转动连接在活动块的外侧，所述第一转动轴的顶部固定连接有用于旋转的齿轮，所述齿轮的内侧与凸齿相互啮合，所述第三传动辊固定连接在第一转动轴的底部，所述第二转动轴转动连接在活动块的内部，所述第二转动轴的顶部与清理板的底部固定连接，所述第二传动带的两端分别与第三传动辊的外壁和第二转动轴的外壁传动连接。
[0013]优选的，所述进气口与精馏冷凝装置和吸收稀释装置均相通，所述出水口与氢氟酸碱洗装置相互通，所述进气口与出水口的内部均设置有用于控制进出的自动控制阀门，所述进水管与外接的纯水箱相连接。
[0014]优选的，所述电触槽与第二电动伸缩杆电性连接，所述第一电触板与设备使用电源电性连接，所述第二电触板与设备使用电源电性连接，所述电触块与第一电动伸缩杆电性连接，设备内部结构均采用铅材料涂层。
[0015]一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理方法，应用于如上述的一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置中，其步骤如下：
1）、未冷凝的精馏废气与吸收槽尾气通过进气口进入到处理桶体的内部，通过喷头喷射的雾化纯水对未冷凝的精馏废气与吸收槽尾气进行水洗；2）、通过纯水与未冷凝的精馏废气与吸收槽尾气混合液使得空心浮块通过滑块在滑道的内部向上运动来检测混合液收集的水位高度；3）、通过电触块与第二电触板接触后使得第一电动伸缩杆带动喷头回收至第一活动槽的内部，此时保护块封堵喷水口防止多余未冷凝的精馏废气与吸收槽尾气进入到第一活动槽的内部；4）、通过喷头带动活动板向上运动，进而使得清理板与喷头同步向上运动，通过齿轮与凸齿相互配合的作用下对喷头的底部进行清理。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、通过齿轮在向内运动过程中与凸齿相互配合后转动，齿轮通过第一转动轴带动第三传动辊转动，第三传动辊通过第二传动带带动第二转动轴转动，第二转动轴带动凸齿旋转，此时因为活动块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置，包括处理桶体（1），其特征在于：处理桶体（1）外侧开设有用于进气与排水的进气口（2）与出水口（3），所述处理桶体（1）的顶部固定安装有顶盖（7），所述顶盖（7）的内部开设有用于机械运行的第一活动槽（8），所述第一活动槽（8）的底部开设有用于喷水的喷水口（9），所述第一活动槽（8）的顶部固定连接有用于升降运动的第一电动伸缩杆（10），所述第一电动伸缩杆（10）底部的输出端固定连接有用于喷水的喷头（11），所述喷头（11）的顶部设置有用于进水的进水管（12），所述第一活动槽（8）的内部设置有用于保护的保护块（20），所述第一活动槽（8）的内部对称设置有闭合组件与传动组件，所述处理桶体（1）的内部设置有用于检测的控制组件，所述第一活动槽（8）的内部开设有第三活动槽（35），所述第三活动槽（35）的内部设置有清理机构，所述清理机构包括抬升组件、相向组件旋转组件，所述第三活动槽（35）的内侧设置有用于清理的清理板（51）。2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置，其特征在于：所述闭合组件包括第一滑槽（14）、导向槽（15）、第一活动杆（16）、滚动块（17）、连接板（18）、支撑杆（19）和导向块（21），所述第一活动槽（8）的内壁开设有用于限位活动的第一滑槽（14），所述导向槽（15）开设在第一活动槽（8）的内壁，所述第一活动杆（16）活动连接在第一活动槽（8）的内部，所述第一活动杆（16）的两端均转动连接有滚动块（17），所述滚动块（17）滚动连接在第一滑槽（14）的内部，所述第一活动杆（16）的两端均固定连接有用于稳定的连接板（18），所述第一活动杆（16）的外壁且靠近连接板（18）的内侧转动连接有用于推拉的支撑杆（19），所述支撑杆（19）的底部与保护块（20）的顶部通过螺栓固定连接，所述保护块（20）的外壁固定连接有用于导向的导向块（21），所述导向块（21）滑动连接在导向槽（15）的内部。3.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置，其特征在于：所述传动组件包括电触槽（13）、第二电动伸缩杆（22）、固定架（23）、活动口（24）、开槽（25）、第一弹簧（26）、第二活动杆（27）和第一电触板（28），所述喷头（11）的外壁开设有用于电路控制的电触槽（13），所述第一活动槽（8）的内壁固定连接有用于推动的第二电动伸缩杆（22），所述第二电动伸缩杆（22）的输出端与第一活动杆（16）固定连接，所述第一活动槽（8）的内部固定连接有用于支撑的固定架（23），所述活动口（24）贯穿开设在固定架（23）的内侧，所述开槽（25）开设在固定架（23）的内侧，所述第一弹簧（26）固定连接在固定架（23）的外侧，所述第一弹簧（26）的外侧固定连接有用于活动的第二活动杆（27），所述第二活动杆（27）的内侧端活动连接在开槽（25）的内部，所述第二活动杆（27）的内侧固定连接有用于电路控制的第一电触板（28）。4.根据权利要求3所述的一种电子级氢氟酸制备用的尾气处理装置，其特征在于：所述控制组件包括滑道（4）、滑块（5）、空心浮块（6）、第二活动槽（31）、第二电触板（32）、电触块（33）和接触杆（34），所述滑道（4）固定安装在处理桶体（1）的内壁，所述滑块（5）滑动连接在滑道（4）的内部，所述滑块（5）的内侧固定安装有用于检测水位的空心浮块（6），所述顶盖（7）的内部开设有用于活动的第二活动槽（31），所述第二电触板（32）固定连接在第二活动槽（31）的顶部，所述电触块（33）活动连接在第二活动槽（31）的内部，所述电触块（33）的底部固定连接有用于推动的接触杆（34）。5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄天梁，林庆鑫，黄明新，华钟，郑宏慎，邱秋生，李卫东，雷游生，
申请(专利权)人：福建龙氟化工有限公司，
类型：发明
国别省市：