利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法技术

本发明专利技术公开了一种利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，包括：步骤S1，提供半导体器件，其表面形成金属层、蚀刻停止层、介质层，刻蚀介质层及部分蚀刻停止层并停在蚀刻停止层中；步骤S2，沉积抗反射材料并回刻；步骤S3，沉积光阻材料，显影打开工艺窗口；步骤S4，刻蚀光阻材料和抗反射材料；步骤S5，干法刻蚀介质层和抗反射材料，刻蚀后抗反射材料顶面高于蚀刻停止层顶面；步骤S6，去除剩余的抗反射材料；步骤S7，继续刻蚀蚀刻停止层并停至金属层中。本发明专利技术将介质层开口做大形成锥形形貌时保留部分抗反射材料再去除抗反射材料、打开蚀刻停止层，从而保证蚀刻停止层底部不被破坏，减少铜侵蚀导致的晶圆可接受性测试中电阻值异常偏离的情况。

Fabrication Method of Conical Shape of Rewiring Through Hole Facilitating Filling

The invention discloses a method for making conical shape of re-wiring through holes which is beneficial to filling, including: providing semiconductor devices, forming metal layer, etching stop layer, dielectric layer, etching dielectric layer and part of the etching stop layer and stopping in the etching stop layer; (2) depositing anti-reflection material and re-etching; and (2) depositing photoresist material, developing and opening worker. Art window; (4) Etching photoresistive materials and antireflective materials; (5) Dry etching dielectric layer and antireflective materials, the top surface of the antireflective material after etching is higher than the top surface of the etching stop layer; (6) Removing the remaining antireflective materials; and (7) Continuing to etch the stop layer and stop in the metal layer. When the opening of the dielectric layer is enlarged to form a conical shape, part of the anti-reflective material is retained, the anti-reflective material is removed and the etching stop layer is opened, thus ensuring that the bottom of the etching stop layer is not destroyed, and reducing the abnormal deviation of the resistance value in the wafer acceptability test caused by copper corrosion.

【技术实现步骤摘要】
利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法
本专利技术属于微电子及半导体集成电路制造领域，具体涉及一种利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法。
技术介绍
目前，随着半导体器件发展到40nm及其以下节点，通孔的关键尺寸随着通孔间距尺寸的缩小也需要做相应的缩小,随之而来的是通孔刻蚀及填充的关键指标深宽比(ARratio)的进一步增大，这对传统的刻蚀及填充工艺带来巨大的挑战。现有通孔刻蚀过程中，金属层1(材质为Cu)上方形成有蚀刻停止层(如底部氮掺杂碳化硅薄膜2)，蚀刻停止层上形成有介电层3，介电层3上旋涂光刻胶，并利用光罩进行曝光显影，利用传统的一步刻蚀工艺方法形成所需要的通孔。由于一步刻蚀工艺的局限性，介质层3形成锥形形貌的刻蚀过程中会造成底部氮掺杂碳化硅薄膜2形成碗形形貌，如图1所示，使得金属层1发生铜扩散(Cudiffuse)，进而在去除底部氮掺杂碳化硅薄膜2的刻蚀过程中导致铜侵蚀(Cuerosion)，影响后续阻挡层的生长和铝的填充，最终导致晶圆可接受性测试(WaferAcceptanceTest，简称WAT)中电阻值异常偏离，如图2所示。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，可以解决现有通孔刻蚀过程中形成的铜扩散导致晶圆可接受性测试中电阻值异常偏离的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供的利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，包括如下步骤：步骤S1，提供一半导体器件，在其表面形成金属层、蚀刻停止层、介质层，对所述介质层以及部分蚀刻停止层进行刻蚀形成通孔，并停在蚀刻停止层中；步骤S2，沉积抗反射材料并进行回刻；步骤S3，沉积光阻材料，将通孔对应处的光阻材料进行显影打开工艺窗口；步骤S4，刻蚀光阻材料和抗反射材料；步骤S5，对介质层和抗反射材料进行第一次干法刻蚀，刻蚀后抗反射材料的顶面高于蚀刻停止层的顶面；步骤S6，去除剩余的抗反射材料；步骤S7，继续刻蚀蚀刻停止层，并停至金属层中。优选的，在步骤S1中，在所述介质层上涂光刻胶，通过曝光、显影和刻蚀形成通孔。优选的，在步骤S5中，刻蚀后介质层的工艺窗口为锥形，且直径从上至下逐渐缩小。进一步的，所述介质层的锥形开口底部高于蚀刻停止层的顶面。优选的，在步骤S6中，干法刻蚀去除剩余的抗反射材料。优选的，所述蚀刻停止层为底部氮掺杂碳化硅薄膜。优选的，在步骤S2中，回刻去除介质层上的抗反射材料，并将抗反射材料回刻至低于通孔的开口。优选的，在步骤S3中，工艺窗口的开口口径大于通孔的开口口径。进一步的，在步骤S4中，刻蚀去除介质层上的部分光阻材料，并将抗反射材料继续推低。本专利技术提供的通孔制作方法中将介质层的开口做大刻蚀形成锥形形貌的同时保留部分抗反射材料，保证前述刻蚀过程不接触蚀刻停止层，从而保护蚀刻停止层的底部不被破坏，而且去除剩余的抗反射材料后再打开蚀刻停止层，可以更好地控制铜损失且减少蚀刻停止层底部的铜侵蚀，避免晶圆可接受性测试中电阻值异常偏离的情况发生。附图说明图1为采用现有刻蚀工艺形成的重新布线通孔的截面示意图；图2为采用现有刻蚀工艺中发生铜侵蚀的效果图；图3至图10为采用本专利技术方法的各工艺步骤的截面示意图；图11为本专利技术的方法流程图。具体实施方式以下结合附图给出本专利技术的具体实施方式，但本专利技术并不限于以下的实施方式，根据下面的说明书和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需要说明的是。附图均采用非常简化的形式，且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。本专利技术提供的利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，如图11所示，包括如下步骤：步骤S1，提供一半导体器件，在其表面形成金属层1(例如铜Cu)、蚀刻停止层2、介质层3，对所述介质层3以及部分蚀刻停止层2进行刻蚀形成通孔，并停在蚀刻停止层2中，如图3所示；优选的，在所述介质层2上涂光刻胶，通过曝光、显影和刻蚀形成通孔；所述蚀刻停止层2为底部氮掺杂碳化硅薄膜(bottomNDC)；步骤S2，沉积抗反射材料4如图4所示；步骤S3，对抗反射材料4进行回刻，如图5所示，回刻去除介质层3上的抗反射材料4，并将抗反射材料4回刻至低于通孔的开口；步骤S4，沉积光阻材料5，将通孔对应处的光阻材料5进行显影打开工艺窗口，如图6所示，优选的，工艺窗口的开口口径略大于通孔的开口口径；步骤S5，刻蚀光阻材料5和抗反射材料4，如图7所示，介质层3上的部分光阻材料5被刻蚀去除以保护介质层3，通孔内的抗反射材料4被继续推低；步骤S6，对介质层3和抗反射材料4进行第一次干法刻蚀，刻蚀后抗反射材料4的顶面高于蚀刻停止层2的顶面，如图8所示；刻蚀后介质层3的工艺窗口为锥形，且直径从上至下逐渐缩小，介质层3的锥形开口底部高于蚀刻停止层2的顶面；步骤S6，去除剩余的抗反射材料4，如图9所示；优选的，采用干法刻蚀对剩余的抗反射材料4进行一次刻蚀；步骤S7，继续刻蚀蚀刻停止层2，并停至金属层1中，如图10所示。本专利技术提供的通孔制作方法中将介质层的开口做大刻蚀形成锥形形貌的同时保留部分抗反射材料，保证前述刻蚀过程不接触蚀刻停止层，从而保护蚀刻停止层的底部不被破坏，而且去除剩余的抗反射材料后再打开蚀刻停止层，可以更好地控制铜损失且减少蚀刻停止层底部的铜侵蚀，避免晶圆可接受性测试中电阻值异常偏离的情况发生。以上通过具体实施例对本专利技术进行了详细的说明，该实施例仅仅是本专利技术的较佳实施例，本专利技术并不局限于上述实施方式。在不脱离本专利技术原理的情况下，本领域的技术人员做出的等效置换和改进，均应视为在本专利技术所保护的技术范畴内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，提供一半导体器件，在其表面形成金属层、蚀刻停止层、介质层，对所述介质层以及部分蚀刻停止层进行刻蚀形成通孔，并停在蚀刻停止层中；步骤S2，沉积抗反射材料并进行回刻；步骤S3，沉积光阻材料，将通孔对应处的光阻材料进行显影打开工艺窗口；步骤S4，刻蚀光阻材料和抗反射材料；步骤S5，对介质层和抗反射材料进行第一次干法刻蚀，刻蚀后抗反射材料的顶面高于蚀刻停止层的顶面；步骤S6，去除剩余的抗反射材料；步骤S7，继续刻蚀蚀刻停止层，并停至金属层中。

【技术特征摘要】
1.一种利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，提供一半导体器件，在其表面形成金属层、蚀刻停止层、介质层，对所述介质层以及部分蚀刻停止层进行刻蚀形成通孔，并停在蚀刻停止层中；步骤S2，沉积抗反射材料并进行回刻；步骤S3，沉积光阻材料，将通孔对应处的光阻材料进行显影打开工艺窗口；步骤S4，刻蚀光阻材料和抗反射材料；步骤S5，对介质层和抗反射材料进行第一次干法刻蚀，刻蚀后抗反射材料的顶面高于蚀刻停止层的顶面；步骤S6，去除剩余的抗反射材料；步骤S7，继续刻蚀蚀刻停止层，并停至金属层中。2.根据权利要求1所述的利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，其特征在于，在步骤S1中，在所述介质层上涂光刻胶，通过曝光、显影和刻蚀形成通孔。3.根据权利要求1所述的利于填充的重新布线通孔锥形形貌的制作方法，其特征在于，在步骤S5中，刻蚀后介质层的工艺窗口为锥形，且直径从上至下...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙磊，刘玉征，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31