一种提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法技术

本发明专利技术公开了一种提高纳米粒子扫描电子显微镜‑能谱面分布空间分辨力的方法，包括以下步骤：(1)在覆盖有支持膜的载网上通过湿法超声分散制备纳米粒子单层样品；(2)利用高度可调节支架将载有纳米粒子单层样品的载网架空固定在样品台上；(3)在扫描电镜下选取薄层样品的单层区域，进行能谱测试。本发明专利技术的方法一方面制得纳米粒子的薄层样品，另一方面通过导电胶架空薄层样品，入射电子束穿过纳米粒子的薄层样品后，就以透射电子的形式进入到无物质的空间，以减少基底材料特征X射线的干扰，大幅度提高能谱的空间分辨率。

A Method for Improving the Spatial Resolution of Scanning Electron Microscope-Energy Spectrum Surface Distribution of Nanoparticles

The invention discloses a method for improving the spatial resolution of nanoparticle scanning electron microscopy (SEM) energy spectrum surface distribution, which includes the following steps: (1) preparing nanoparticle monolayer samples by wet ultrasonic dispersion on the carrier network covered with supporting film; (2) fixing the carrier network containing nanoparticle monolayer samples on the sample platform with highly adjustable support; (3) selecting under scanning electron microscopy (SEM). The single layer region of the thin layer sample was taken for energy spectrum testing. On the one hand, the method of the present invention produces thin-layer samples of nanoparticles, on the other hand, through conductive rubber overhead thin-layer samples, the incident electron beam passes through the thin-layer samples of nanoparticles, and then enters the immaterial space in the form of transmission electron, so as to reduce the interference of characteristic X-ray of the substrate material and greatly improve the spatial resolution of the energy spectrum.

【技术实现步骤摘要】
一种提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法
本专利技术涉及材料产品电镜测试
，尤其涉及一种提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法。
技术介绍
扫描电子显微镜-能谱(SEM-EDS)联用技术在分析测试领域已得到广泛应用，可对材料和生物样品的微观表面进行形貌观察，对所选定的微区内元素成分和分布进行定量或定性分析。利用SEM-EDS进行表面形貌观察和微区成份分析是纳米材料领域最常用的手段之一，随着材料科学的发展，纳米材料的结构分析也逐渐多样化和精细化，例如：对具有核壳结构的或多种金属掺杂的样品进行单层分散后能谱线扫或面扫，以确定样品的结构和元素的分布。常规SEM-EDS制样方法是先在样品台上均匀粘一小块导电胶带，将样品附着在导电胶带上，并轻敲样品台，使样品颗粒与导电胶粘紧，最后吹扫掉粘结不牢固的样品粉末。该方法适用于微米级的材料颗粒，但不适用于纳米粒子材料，因为纳米粒子具有较大的吉布斯自由能，粒子之间容易团聚，会严重影响观测结果。利用扫描电镜对其选定的区域进行能谱分析时，入射电子在接触到样品后，在弹性散射和非弹性散射的共同作用下使电子原先的运动轨迹发生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高纳米粒子扫描电子显微镜‑能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在覆盖有支持膜的载网上通过湿法超声分散制备纳米粒子单层样品；(2)利用高度可调节支架将载有纳米粒子单层样品的载网架空固定在样品台上；(3)在扫描电镜下选取薄层样品的单层区域，进行能谱测试。

【技术特征摘要】
1.一种提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在覆盖有支持膜的载网上通过湿法超声分散制备纳米粒子单层样品；(2)利用高度可调节支架将载有纳米粒子单层样品的载网架空固定在样品台上；(3)在扫描电镜下选取薄层样品的单层区域，进行能谱测试。2.根据权利要求1所述的提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，所述载网的材质为铜、镍、金、铂、铝、钼或钯。3.根据权利要求1所述的提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，所述支持膜为有机膜、碳膜或氮化硅膜。4.根据权利要求3所述的提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，所述支持膜的厚度为0.5～100nm。5.根据权利要求1所述的提高纳米粒子扫描电子显微镜-能谱面分布空间分辨力的方法，其特征在于，步骤(1)中，在载网上制备纳米粒子单层样品的方法包括以下步骤：(1-1)将纳米粒子与分散剂混合；(1-2)将纳米粒子分...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈芳，裘雅渔，丁晓坤，何巧红，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33