多自由度样品杆制造技术

多自由度样品杆，样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件，关节球与驱动件固定，压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件，弹性连接组件连接相邻的压件，压件组件抱住关节球，压件与关节球之间具有预紧力。本发明专利技术具有具有X轴平移、Y轴平移和Z轴转动的三自由度，且在重复使用中性能稳定的优点。

Multi-degree-of-freedom sample bar

A multi-degree-of-freedom sample rod is equipped with a nano-positioner. The nano-positioner includes a driving part, a joint ball and a pressing component. The joint ball is fixed with the driving component. The pressing component includes at least two pressing parts and an elastic connecting component. The elastic connecting component connects adjacent pressing parts. The pressing component holds the joint ball, and the pressing component has a pre-tightening force between the pressing part and the joint ball. The invention has three degrees of freedom of X-axis translation, Y-axis translation and Z-axis rotation, and has the advantages of stable performance in repeated use.

【技术实现步骤摘要】
多自由度样品杆
本专利技术涉及电子显微镜、透射电镜下使用的样品杆。
技术介绍
原位观察技术在透射电子显微学研究中有着悠久的历史。通过在样品上施加各种物理作用，利用透射电子显微镜（透射电镜）来观察材料的微观结构和化学状态的变化，可以直接地研究材料或器件在实际使用过程中的性能表现，对于材料性能的研究有着重要的实际意义。透射电镜中的原位技术其难度在于不但要将物理作用准确地施加在样品上，同时还要满足一系列苛刻的条件，比如要维持电镜系统的超高真空度，保证样品台极高的稳定度，且不能干扰成像光路，整个结构必须紧凑以适用于透射电镜狭小的样品室等。因此，原位电镜技术的难点主要体现在原位样品杆的研究和制作上。瑞典Svensson,K.等人在2003年发表的文章《Compactdesignofatransmissionelectronmicroscope-scanningtunnelingmicroscopeholderwiththree-dimensionalcoarsemotion》公开了一种三维压电探针，这种三维压电探针是透射电镜样品杆的一部分，压电探针包括一根压电陶瓷管和一颗小球，小球固定于压电陶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.多自由度样品杆，其特征在于：样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件，关节球与驱动件固定，压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件，弹性连接组件连接相邻的压件，压件组件抱住关节球，压件与关节球之间具有预紧力。

【技术特征摘要】
2017.09.05 CN 20171079180031.多自由度样品杆，其特征在于：样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件，关节球与驱动件固定，压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件，弹性连接组件连接相邻的压件，压件组件抱住关节球，压件与关节球之间具有预紧力。2.如权利要求1所述的多自由度样品杆，其特征在于：每个压件分别具有凹陷部和连接部，弹性连接组件设于相邻压件的连接部之间，所有压件的凹陷部组成与关节球配合的凹窝。3.如权利要求2所述的多自由度样品杆，其特征在于：凹窝呈半球形，或者V形，或者圆锥形。4.如权利要求2所述的多自由度样品杆，其特征在于：压件为一体式的板体，凹陷部位于板体的中央。5.如权利要求1所述的多自由度样品杆，其特征在于：压件位于关节球的外侧。6.如权利要求1所述的多自由度样品杆，其特征在于：每个压件上分别设有样品夹持部，所有样品夹持部组成...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏涛，张奕志，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33