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文档序号:20565655

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多自由度样品杆,样品杆上设有纳米定位器,纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件,关节球与驱动件固定,压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件,弹性连接组件连接相邻的压件,压件组件抱住关节球,压件与关节球之间具有预紧力。本发明具有具有X轴平移、...
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