The utility model provides a high purity gas purifying device, which comprises a closed tank body. The upper part of the closed tank body is connected with an aspirant filling port, an inlet and an outlet of raw gas. The gas raw gas inlet is fixed and connected with a connecting pipe longitudinally arranged in the tank body. The lower end of the connecting pipe is located at the lower part of the tank body and the lower part of the connecting pipe is connected with an air inlet distribution circularly arranged in the lower part of the tank body. The lower part of the tank body is provided with an aspirant discharge outlet for discharging the aspirant. The purpose of the utility model is to disclose a high purity gas purification device. The feed gas passes through the whole adsorption section from bottom to top through the bottom of the high purity gas purification device and is discharged from the product gas outlet at the top. The device can meet the demand of gas purification.
【技术实现步骤摘要】
一种高纯气体提纯装置
本技术涉及一种高纯气体提纯装置。
技术介绍
随着科学技术的发展,电子级惰性气体(纯度在99.999%以上的氩、氦)在各个领域都有很广泛的应用。主要有激光、电子工业、超临界萃取、核工业及科院研究等领域。近年来,随着电子芯片以及平板显示器生产过程中需要大量的电子级氦气、氩气,市场需求量激增。目前,各气体公司所售的纯度为99.999%的氦气、氩气都是以高纯原料气分装为主。或是利用催化氧化技术脱氢、脱氧和脱碳氢化合物等杂质;再或者是利用吸附精馏技术提纯。但是,上述的提纯工艺复杂、投入成本高、费时和费钱。目前,国内市场中的氦气、氩气纯度基本上都达到99.999%,所含杂质主要是水分、氧、二氧化碳等。因此,以市场上所售的99.999%的氦气或氩气为原料,对其进一步提纯,可以制得电子级的产品气。综上所述,特别需要一种高纯气体提纯装置,以解决上述存在的问题。
技术实现思路
本技术对上述问题进行了改进,即本技术要解决的技术问题是现有氦气、氩气纯度无法满足电子级的产品气的需求。本技术的具体实施方案是:一种高纯气体提纯装置,包括封闭的罐体,所述封闭的罐体上部联通有吸气剂装填口、原料气入口及出气口,所述气体原料气入口固定连接有纵向设置于罐体的联通管,所述联通管下端位于罐体的下部且联通管下部联通有环布于罐体下部的进气分布管,所述的罐体下部设置有用于将吸气剂排出的吸气剂卸料口。进一步的,所述罐体底部设置有朝向外部联通的活化排污口。进一步的,所述罐体的顶部和底部设置有温度计。与现有技术相比,本技术具有以下有益效果:本技术的目的在于公开了一种高纯气体提纯装置。原料气经所 ...
【技术保护点】
1.一种高纯气体提纯装置,其特征在于,包括封闭的罐体,所述封闭的罐体上部联通有吸气剂装填口、原料气入口及出气口,所述气体原料气入口固定连接有纵向设置于罐体的联通管,所述联通管下端位于罐体的下部且联通管下部联通有环布于罐体下部的进气分布管,所述的罐体下部设置有用于将吸气剂排出的吸气剂卸料口。
【技术特征摘要】
1.一种高纯气体提纯装置,其特征在于,包括封闭的罐体,所述封闭的罐体上部联通有吸气剂装填口、原料气入口及出气口,所述气体原料气入口固定连接有纵向设置于罐体的联通管,所述联通管下端位于罐体的下部且联通管下部联通有环布于罐体下部的进气分布管,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:许进荣,曹素英,许铭捷,
申请(专利权)人:福建久策气体集团有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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