A method for closing a micromechanical device by means of laser melting has the following steps: providing a micromechanical device with an access channel with a flange at the outer opening; and closing the outer opening of the access channel by means of laser radiation to the flange, in which the flange is at least partially melted and the outer opening is closed by a melt consisting of the material of the flange. A mechanical device with laser melting closure is also proposed. The micro-mechanical device has an entry channel, which has a flange on the outer opening. The outer opening of the entry channel is closed by a melting closure made of flange material.
【技术实现步骤摘要】
用于以激光熔化封闭微机械装置的方法和微机械装置
本专利技术涉及一种用于借助激光熔化来封闭微机械装置的方法和一种具有激光熔化封闭部的微机械装置。
技术介绍
MEMS元件通常包括传感器元件，该传感器元件通过罩保护，以便免受周围环境影响。这出于多种原因是必须的。传感器元件的功能常常仅在确定的压力范围内提供。借助罩来调设、关封传感器元件的周围环境压力并且在结构元件的寿命期间确保压力在规范限制内(小的)变化。为了在传感器元件的传感器腔室内调设所需的压力，多种方法是可能的。例如可在传感器晶片和罩晶片之间的键合过程期间调设压力。替代地，也可在每个传感器腔室中实现通到周围环境的进入孔，该进入孔在限定的压力的情况下借助激光方法封闭。该方法具有多种优点，尤其是在晶片上的压力分布和压力调设的精度方面。由德国专利申请DE102014202801.9已知这种方法。在真正的激光封闭之后或期间，可能在封闭部的区域中形成裂缝。如果由此腔室变得不密封，则构成对MEMS元件的功能性的风险。
技术实现思路
本专利技术的任务是提供具有机械稳健的封闭部的微机械装置。专利技术优点本专利技术涉及一种用于借助激光熔...
【技术保护点】
1.一种用于封闭微机械装置的方法，该封闭借助激光熔化来进行，该方法具有以下步骤：(A)提供具有进入通道(20)的微机械装置，该进入通道在外开口(30)处具有凸缘(40)，(B)借助对所述凸缘(40)进行激光辐射将所述进入通道(20)的外开口(30)封闭，其中，将所述凸缘(40)至少部分熔化并且将所述外开口(30)通过由所述凸缘的材料构成的熔化物封闭。
【技术特征摘要】
2017.09.05 DE 102017215531.01.一种用于封闭微机械装置的方法，该封闭借助激光熔化来进行，该方法具有以下步骤：(A)提供具有进入通道(20)的微机械装置，该进入通道在外开口(30)处具有凸缘(40)，(B)借助对所述凸缘(40)进行激光辐射将所述进入通道(20)的外开口(30)封闭，其中，将所述凸缘(40)至少部分熔化并且将所述外开口(30)通过由所述凸缘的材料构成的熔化物封闭。2.根据权利要求1所述的用于封闭微机械装置的方法，其特征在于，在步骤(A)中提供具有外主表面(60)的微机械装置，其中，所述凸缘(40)布置在所述外主表面(60)中的槽口(50)中，尤其以下述方式：所述凸缘(40)与所述进入通道(20)的外开口(30)相对于所述外主表面(60)沉入地布置。3.根据权利要求1所述的用于封闭微机械装置的方法，其特征在于，在步骤(A)中提供微机械装置，其中，所述凸缘(40)具有通过至少一个沟槽(70)构成的子结构化部，所述沟槽环形地绕着所述外开口(30)布置并且平行于所述进入通道(20)延伸。4.根据权利要求1所述的用于封闭...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·莱茵穆特，M·兰巴赫，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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