The utility model discloses a testing device for electrical parameters of precise materials, which comprises a controller and a cylinder, a rotating device and a probe connected with the controller. The output end of the cylinder drives the rotating device and the probe up and down through a transmission pressure shaft, and the controller controls the rotating device to drive the probe to rotate after the probe contacts the measured part. The utility model can overcome the problems of inadequate contact between the probe and the tested parts, no removal of oxides or impurities in the testing process, inaccurate testing due to manual testing, and realize the avoidance of manual testing errors, automatic testing and accurate testing.
【技术实现步骤摘要】
一种精密材料电学参数的测试装置
本技术涉及电学测试
,尤其涉及一种精密材料电学参数的测试装置。
技术介绍
随着电子封装
的发展,人们对电子元件的电学性能的要求也越来越高。在实际生产中,经常需要测量一些电子元件的相关电学参数,然而一些电子元件材料的表面容易氧化,如铝材氧化后在其表面形成一层致密的氧化膜,在测试其相关电学参数时,由于测试时电极接触在铝材表面的氧化膜上,将会使测量所得的电学参数产生一定的误差。一般来说,电极针与元件相接触,由于表面金属氧化膜、氯化物、硫化物和各种有机分子、吸附气体以及其他污染物都能在触点表面形成,这些薄膜起着绝缘体的作用,产生接触电阻。该接触电阻对于电流和电压敏感,在电学测试时产生误差。由于污染物在元件表面分布不均匀,因此不同位置的接触电阻又有不同程度的差异,对元件的分析产生影响。在实际中,材料表面的氧化膜较薄、污染物较少,测试的误差可以忽略不计。然而在微电子领域,电子元件的体积很小,其电阻等电学参数也十分微小,测量时若有由于没有去除氧化膜或杂质而接触电阻产生误差,会严重影响测试结果的分析,而且若是人工操作进行测试时,误差更大。
技术实现思路
针对现有技术中存在的缺陷或不足,本技术所要解决的技术问题是:探针与受测件接触不充分、测试过程没有去除氧化物或杂质、由于人工测试导致测试不精确的问题,提供一种精密材料电学参数的测试装置,能够避免人工测试误差,自动测试且测试精准。为了实现上述目的,本技术采取的技术方案为提供一种精密材料电学参数的测试装置,其包括控制器和与控制器控制连接的气缸、旋转装置以及探针,所述气缸的输出端经传动压轴带动所 ...
【技术保护点】
1.一种精密材料电学参数的测试装置,其包括控制器和与控制器控制连接的气缸、旋转装置以及探针,其特征在于:所述气缸的输出端经传动压轴带动所述旋转装置和探针上下运动,且所述探针接触受测件后控制器控制所述旋转装置带动所述探针旋转。
【技术特征摘要】
1.一种精密材料电学参数的测试装置,其包括控制器和与控制器控制连接的气缸、旋转装置以及探针,其特征在于:所述气缸的输出端经传动压轴带动所述旋转装置和探针上下运动,且所述探针接触受测件后控制器控制所述旋转装置带动所述探针旋转。2.根据权利要求1所述的精密材料电学参数的测试装置,其特征在于:所述旋转装置包括旋转电机、设置在所述旋转电机两端的连接片以及与所述旋转电机连接的输出轴,其中,输出轴套穿所述连接片经针头锁件与所述探针传动连接。3.根据权利要求2所述的精密材料电学参数的测试装置,其特征在于:所述连接片为正方形,其中部开设有大于输出轴直径的通孔,在距离通孔5mm的四个方位开设有呈“十”字分布的安装孔,通孔的内外两侧紧贴有圆形垫片,通过在安装孔锁入螺钉即可将垫片、连接片及旋转电机外壳可拆卸连接,在连接片上的四角还设置螺丝孔,通过螺丝孔锁入螺丝分别将针头锁件和传动压轴与旋转电机两端的外壳连接。4.根据权利要求1所述的精密材料电学参数的测试装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:盛玮东,朱陈中,
申请(专利权)人:深圳市泰欣能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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