The invention discloses an etching device for making solar cell wafers, including an etching box, a support rod, a transmission shaft, a rotating motor and a shock absorber. Four sets of fixed plates are fixed and welded at the bottom of the etching box at four corners. A shock absorber is arranged below the fixed plate, a reception groove is arranged in the etching box, and a number of groups of chains are arranged at the top of the reception groove of the etching box. A chain is arranged between the wheel discs, and a rotating motor is fixed on the right outer wall of the etching box. Four sets of supporting rods are fixed and welded at the top four corners of the etching box. The top of the four sets of supporting rods is fixed with a roof plate. The top of the roof plate is fixed with a blower. The bottom of the roof plate is fixed and welded with several sets of elongating rods, and the bottom of one side of the elongating rod is fixed with a wind nozzle. The etching device for making solar cells can effectively improve the accuracy of etching, greatly improve the yield of good products, and is suitable for popularization and use.
【技术实现步骤摘要】
一种制作太阳能电池片的刻蚀装置及其使用方法
本专利技术属于电池片加工
,具体涉及一种制作太阳能电池片的刻蚀装置,还涉及一种制作太阳能电池片的刻蚀装置的使用方法。
技术介绍
刻蚀技术,是在半导体工艺,按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺,而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。传统的太阳能电池片的刻蚀装置为了使硅片在刻蚀时仅对其边缘进行刻蚀,一般需要在滚轮上套设多个橡胶圈,当采用在传动滚轮上套设多个橡胶圈时,由于橡胶圈的存在,会使得刻蚀后的硅片的底部表面遗留下橡胶圈的印记,进而会对后续的电极印刷工艺产生不利的影响,装置的震动会使硅片四周粘附过多的刻蚀液且不同区域遇见粘附的刻蚀液也可能不均一,大大提高了不良品的产生。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种制作太阳能电池片的刻蚀装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种制作太阳能电池片的刻蚀装置,包括刻蚀箱、支撑杆、传动轴、转动电机和减震装置,所述刻蚀箱底部四角固定焊接有四组固定板,所述固定板下方设置有减震装置,所述刻蚀箱内开设有容纳槽,所述刻蚀箱的容纳槽顶部开设有槽口,所述刻蚀箱的容纳槽内装有刻蚀液,容纳槽顶部设置有若干组传动轴,若干组所述传动轴上放置有电池片,所述传动轴通过转轴杆转动安装在刻蚀箱顶部,若干组所述传动轴靠近刻蚀箱的右侧箱壁上均套设固定有链轮盘,若干组所述链轮盘之间安装有链条,所述刻蚀箱的右侧外壁上固定有转动电机 ...
【技术保护点】
1.一种制作太阳能电池片的刻蚀装置,包括刻蚀箱(1)、支撑杆(2)、传动轴(7)、转动电机(14)和减震装置(5),其特征在于:所述刻蚀箱(1)底部四角固定焊接有四组固定板(15),所述固定板(15)下方设置有减震装置(5),所述刻蚀箱(1)内开设有容纳槽,所述刻蚀箱(1)的容纳槽顶部开设有槽口,所述刻蚀箱(1)的容纳槽内装有刻蚀液(6),容纳槽顶部设置有若干组传动轴(7),若干组所述传动轴(7)上放置有电池片(8),所述传动轴(7)通过转轴杆(73)转动安装在刻蚀箱(1)顶部,若干组所述传动轴(7)靠近刻蚀箱(1)的右侧箱壁上均套设固定有链轮盘(71),若干组所述链轮盘(71)之间安装有链条,所述刻蚀箱(1)的右侧外壁上固定有转动电机(14),一组所述传动轴(7)的一端穿过刻蚀箱(1)侧壁,所述传动轴(7)穿过刻蚀箱(1)的一端固定焊接在转动电机(14)的机轴上,所述刻蚀箱(1)顶部四角固定焊接有四组支撑杆(2),四组所述支撑杆(2)顶部固定有顶板(4),所述顶板(4)的顶部安装有吹风机(3),所述顶板(4)的底部固定焊接有若干组伸长杆(12),所述伸长杆(12)的一侧边底部安装有风 ...
【技术特征摘要】
1.一种制作太阳能电池片的刻蚀装置,包括刻蚀箱(1)、支撑杆(2)、传动轴(7)、转动电机(14)和减震装置(5),其特征在于:所述刻蚀箱(1)底部四角固定焊接有四组固定板(15),所述固定板(15)下方设置有减震装置(5),所述刻蚀箱(1)内开设有容纳槽,所述刻蚀箱(1)的容纳槽顶部开设有槽口,所述刻蚀箱(1)的容纳槽内装有刻蚀液(6),容纳槽顶部设置有若干组传动轴(7),若干组所述传动轴(7)上放置有电池片(8),所述传动轴(7)通过转轴杆(73)转动安装在刻蚀箱(1)顶部,若干组所述传动轴(7)靠近刻蚀箱(1)的右侧箱壁上均套设固定有链轮盘(71),若干组所述链轮盘(71)之间安装有链条,所述刻蚀箱(1)的右侧外壁上固定有转动电机(14),一组所述传动轴(7)的一端穿过刻蚀箱(1)侧壁,所述传动轴(7)穿过刻蚀箱(1)的一端固定焊接在转动电机(14)的机轴上,所述刻蚀箱(1)顶部四角固定焊接有四组支撑杆(2),四组所述支撑杆(2)顶部固定有顶板(4),所述顶板(4)的顶部安装有吹风机(3),所述顶板(4)的底部固定焊接有若干组伸长杆(12),所述伸长杆(12)的一侧边底部安装有风嘴(10)。2.根据权利要求1所述的一种制作太阳能电池片的刻蚀装置,其特征在于:所述减震装置(5)至少包括减震外壳(51)、滑动杆(52)、固定杆(53)、滑动板(54)和减震弹簧(55),所述减震外壳(51)底部固定焊接有四组滑动杆(52),所述减震外壳(51)滑动安装有滑动板(54),所述滑动板(54)上挖设有供滑动杆(52)滑动的滑槽,所述滑动板(54)底部设置有减震弹簧(55),所述减震弹簧(55)套设安装在滑动杆(52)上,所述滑动板(54)底部固定有固定杆(53),所述固定杆(53)远离滑动板(54)的一端固定在固定板(15)上。3.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:皇韶峰,
申请(专利权)人:江苏中宇光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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