一种半导体单晶炉热屏升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种半导体单晶炉热屏升降装置，包括安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过安装座和炉盖与热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在安装座上并对称位于水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个线性模组的滑块分别与升降座固定连接；驱动机构，与两个升降机构连接，包括安装在单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与齿轮箱连接。本实用新型专利技术不仅克服了钨丝软绳与绕线轮升降机构的所有缺陷，而且运行精度高，运动稳定，并且电磁式刹车组件的采用有效防止了线性模组非控制下滑，安全性高，同时也解决了热屏升降不平稳的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体单晶炉热屏升降装置
本技术属于升降设备
，具体涉及一种半导体单晶炉热屏升降装置。
技术介绍
半导体硅片作为半导体芯片衬底的重要基材之一，市场需求广泛。在单晶生产过程中，单晶炉热场的温度梯度对于单晶生长过程起着至关重要的作用，直接关系到单晶的效率和品质。热屏是单晶炉常用部件，设置在熔体坩埚的上方，在加料时作为加料预热部件对晶料进行预热并利于形成特定的温度梯度。实际使用过程中，热屏在升降机构的带动下根据需求进行升降，现有技术中是采用一个电机带动三套钨丝软绳与绕线轮，通过软轴连接，进行同步升降，该种升降方式存在如下缺点：(1)钨丝软绳在高温环境下损坏严重；(2)钨丝软绳安装麻烦，经常容易脱离导向槽；(3)受零件加工质量影响密封不好，容易发生真空泄漏。
技术实现思路
本技术是为解决上述问题而进行的，提供了一种具有新型结构的半导体单晶炉热屏升降装置。为了达到上述目的，本技术提供的半导体单晶炉热屏升降装置具有如下技术特征：包括安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过安装座和炉盖与热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在安装座上并对称位于水冷密封机构两端，包括自本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体单晶炉热屏升降装置，带动单晶炉中的热屏进行升降动作，其特征在于，包括：安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过所述安装座和所述炉盖与所述热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在所述安装座上并对称位于所述水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个所述线性模组的滑块分别与所述升降座固定连接；驱动机构，与两个所述升降机构连接，包括安装在所述单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与所述齿轮箱连接。

【技术特征摘要】
1.一种半导体单晶炉热屏升降装置，带动单晶炉中的热屏进行升降动作，其特征在于，包括：安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过所述安装座和所述炉盖与所述热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在所述安装座上并对称位于所述水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个所述线性模组的滑块分别与所述升降座固定连接；驱动机构，与两个所述升降机构连接，包括安装在所述单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与所述齿轮箱连接。2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：其中，所述水冷密封机构包括贯穿所述炉盖、所述安装座以及所述升降座的双层水冷轴以及密封套接在所述双层水冷轴外壁上的密封管，所述双层水冷轴的上端设置有进水口和出水口，下端通过浮动接头设置有接头A和接头B，该接头A和接头B分别与所述热屏安装。3.根据权利要求2所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：其中，所述密封管为金属焊接波纹管，该金属焊接波纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖章田，贺贤汉，夏孝平，黄保强，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31